硅片品质检测用工装制造技术

本实用新型专利技术提供的硅片品质检测用工装，属于硅片承载工装领域，包括支撑架、可调式组件，支撑架包括数个支撑板，支撑板至少为两个，支撑板的两侧对称设置通槽，两个支撑板上的通槽位于同一水平面，可调式组件包括调节件，调节件上设置数个第一卡槽，支撑板形状相同且相互平行，两个支撑板之间有两个调节件，其中一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的同侧的通槽滑动连接，另一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的另一侧的通槽滑动连接，当需要将硅片进行放置时，两个调节件沿着相邻两个支撑板上的通槽滑动，再将硅片放置在第一卡槽内，使得对于不同尺寸的硅片，通过调节两个所述调节件之间的距离，即可适用所有硅片，适用范围广。适用范围广。适用范围广。

【技术实现步骤摘要】
硅片品质检测用工装


[0001]本技术涉及硅片承载工装
，具体涉及一种硅片品质检测用工装。

技术介绍

[0002]硅片通常由硅碇切割获得，硅片在进一步加工前需要对硅片进行品质检测，（品质检测指对硅片的性能或参数进行检测），现有技术中，使用如申请号为 CN201710265950.0的中国专利技术承载硅片，该专利公开了一种硅片检测方法及其所用的硅片承载装置，具体公开了承载架1，承载架1中的支撑杆12、插片杆13的设置数量还可进一步优选，例如，在承载架1的两端板11之间设置三根支撑杆12和四根插片杆13，其中一根支撑杆12连接于两端板11的基部112中心处，另两根支撑杆12均匀分布在位于基部112中心处的支撑杆12的两侧，在两端板11的侧部111各均匀连接两根插片杆13。如此设置，该专利虽然硅片整片在承载架1上的容纳需求，又增加了承载架1的牢固性，但是由于所述插片杆无法移动，无法满足不同尺寸的硅片的盛放。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供了一种适用于不同尺寸硅片盛放的硅片品质检测用工装。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种硅片品质检测用工装，包括支撑架、可调式组件，所述支撑架包括数个支撑板，所述支撑板至少为两个，所述支撑板的两侧对称设置通槽，两个支撑板上的通槽位于同一水平面，所述可调式组件包括调节件，所述调节件上设置数个第一卡槽，所述支撑板形状相同且相互平行，两个支撑板之间有两个所述调节件，其中一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的同侧的通槽滑动连接，另一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的另一侧的通槽滑动连接。
[0006]优选地，所述支撑架还包括连接件，所述连接件的两端分别与相邻两个所述支撑板连接。
[0007]优选地，所述通槽为多个，所述通槽沿所述支撑板的高度方向依次设置。
[0008]优选地，所述通槽的长度从上向下依次增长。
[0009]优选地，所述支撑板为三个，相邻两个支撑板间均设置两个所述调节件，所述调节件的两端分别与相邻支撑板上同一水平面上的同侧通槽滑动连接。
[0010]优选地，所述调节件为长方体。
[0011]优选地，所述可调式组件还包括所述固定件，所述固定件上设置第二卡槽，所述固定件相邻支撑板之间设置两个所述固定件，所述固定件的两端与相邻的两个支撑板连接，两个所述固定件的第二卡槽相对设置，所述固定件位于所述调节件的下方，且相邻支撑板之间的两个所述固定件之间的距离小于两个所述调节件之间的距离。
[0012]优选地，所述固定件为长方体，所述第二卡槽与水平面的夹角为30
°‑
40
°
。
[0013]优选地，所述可调式组件还包括紧固部，所述紧固部包括连接杆、紧固螺母，所述连接杆的一端设置螺纹，所述调节件的两端分别与所述连接杆未设置螺纹的一端连接，所述连接杆设置螺纹的一端穿过所述通槽与所述紧固螺母连接。
[0014]优选地，所述硅片品质检测用工装还包括连接把手，所述连接把手包括两个竖杆、横杆，其中一个所述竖杆的一端与所述支撑板连接，其中一个所述竖杆的另一端与所述横杆的一端连接，所述横杆的另一端与另一个竖杆的一端连接，所述另一个竖杆的另一端与另一个所述支撑板连接。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0016]本技术提供一种硅片品质检测用工装中，当需要将硅片进行放置时，两个所述调节件沿着相邻两个支撑板上的通槽滑动，使得两个所述调节件之间的距离小于硅片的直径，再将硅片放置在第一卡槽内，使得对于不同尺寸的硅片，通过调节两个所述调节件之间的距离，即可适用所有硅片，适用范围广，并且所述第一调节板、第二调节板上设置数个第一卡槽，使得容量增大，可放置多个硅片。
附图说明
[0017]图1为硅片品质检测用工装的结构示意图。
[0018]图2为去除连接把手的硅片品质检测用工装的另一角度结构示意图。
[0019]图3为调节件与紧固部的示意图。
[0020]图4为调节件与圆形硅片的贴合示意图一。
[0021]图5为调节件与圆形硅片的贴合示意图二。
[0022]图6为调节件与扇形硅片的贴合示意图一。
[0023]图7为调节件与扇形硅片的贴合示意图二。
[0024]图中：硅片品质检测用工装10、支撑架100、支撑板110、通槽111、连接件120、可调式组件200、调节件210、第一卡槽211、固定件220、第二卡槽221、紧固部230、连接杆231、紧固螺母232、连接把手300、竖杆310、横杆320。
具体实施方式
[0025]以下结合本技术的附图，对本技术实施例的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。
[0026]请参看图1至图3，一种硅片品质检测用工装10，包括支撑架100、可调式组件200，所述支撑架100包括数个支撑板110，所述支撑板110至少为两个，所述支撑板110的两侧对称设置通槽111，两个支撑板110上的通槽111位于同一水平面，所述可调式组件200包括调节件210，所述调节件210上设置数个第一卡槽211，所述支撑板110形状相同且相互平行，两个支撑板110之间有两个所述调节件210，其中一个所述调节件210的两端分别与两个所述支撑板110的同侧的通槽111滑动连接，另一个所述调节件210的两端分别与两个所述支撑板110的另一侧的通槽111滑动连接。
[0027]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0028]本技术提供一种硅片品质检测用工装10中，当需要将硅片进行放置时，两个所述调节件210沿着相邻两个支撑板110上的通槽111滑动，使得两个所述调节件210之间的
距离小于硅片的直径，再将硅片放置在第一卡槽211内，使得对于不同尺寸的硅片，通过调节两个所述调节件210之间的距离，即可适用所有硅片，适用范围广，并且所述第一调节板、第二调节板上设置数个第一卡槽211，使得容量增大，可放置多个硅片。
[0029]进一步的，所述支撑架100还包括连接件120，所述连接件120的两端分别与相邻两个所述支撑板110连接。
[0030]进一步的，所述通槽111为多个，所述通槽111沿所述支撑板110的高度方向依次设置，由于硅片的形状有圆形也有扇形，根据硅片不同形状及大小，将所述调节件210放在对应高度的通槽111内进行滑动。
[0031]进一步的，所述通槽111的长度从上向下依次增长。
[0032]进一步的，所述支撑板110为三个，相邻两个支撑板110间均设置两个所述调节件210，所述调节件210的两端分别与相邻支撑板110上同一水平面上的同侧通槽111滑动连接，相邻两个支撑板110之间形成一个放置空间，以形成两个放置空间，以方便同时放置两种不同规格的硅片。
[0033]进一步的，所述可调式组件200还包括所述固定件220，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片品质检测用工装，其特征在于，包括支撑架、可调式组件，所述支撑架包括数个支撑板，所述支撑板至少为两个，所述支撑板的两侧对称设置通槽，两个支撑板上的通槽位于同一水平面，所述可调式组件包括调节件，所述调节件上设置数个第一卡槽，所述支撑板形状相同且相互平行，两个支撑板之间有两个所述调节件，其中一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的同侧的通槽滑动连接，另一个所述调节件的两端分别与两个所述支撑板的另一侧的通槽滑动连接。2.根据权利要求1所述的硅片品质检测用工装，其特征在于，所述支撑架还包括连接件，所述连接件的两端分别与相邻两个所述支撑板连接。3.根据权利要求1所述的硅片品质检测用工装，其特征在于，所述通槽为多个，所述通槽沿所述支撑板的高度方向依次设置。4.根据权利要求3所述的硅片品质检测用工装，其特征在于，所述通槽的长度从上向下依次增长。5.根据权利要求1所述的硅片品质检测用工装，其特征在于，所述支撑板为三个，相邻两个支撑板间均设置两个所述调节件，所述调节件的两端分别与相邻支撑板上同一水平面上的同侧通槽滑动连接。6.根据权利要求1所述的硅片品质检测用工装，其特征在于，所述调节件为长方体。7.根据权利要求5所述的硅片品质检...

【专利技术属性】
技术研发人员：白炎，苏鹏，
申请(专利权)人：宁夏申和新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：