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【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶棒滚圆加工的,具体涉及一种晶棒滚圆加工对中方法。
技术介绍
1、二极管是最早诞生的半导体器件之一,其应用非常广泛,特别是在各种电子电路中,利用二极管和电阻、电容、电感等元器件进行合理的连接,构成不同功能的电路,可以实现对交流电整流、对调制信号检波、限幅和钳位以及对电源电压的稳压等多种功能,半导体器件的制作,对单晶硅的直径及公差范围都有一定的要求,在单晶硅拉制的过程中,无法直接把直径控制到目标公差范围内,通常拉制的晶棒直径比目标直径大3毫米~5毫米,待晶棒拉制完成后,再将晶棒放在滚磨机上,把晶棒直径滚磨加工到目标公差范围内。
2、现有技术中,通过滚圆机对晶棒直径进行滚磨加工,工作人员将晶棒安装在滚圆机的夹头位置,但是滚圆机的夹头位置无法找到晶棒的中心点,需要再使用橡胶锤不停地敲打找中,以使晶棒的中心与滚圆机的夹头中心位于同一水平线上,然而在敲打的过程中,会出现晶棒脱落的情况,造成晶棒的损伤,甚至报废,导致材料的浪费。
技术实现思路
1、有鉴于此,本专利技术提供一种减少晶棒浪费的晶棒滚圆加工对中方法。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
3、一种晶棒滚圆加工对中方法,包括以下步骤:
4、s1:将晶棒放置在对中装置上,再将对中装置放置在滚圆机夹头正下方;
5、s2:将承载晶棒的对中装置上升,使得晶棒的中心与所述滚圆机夹头的中心位于同一水平面,不会偏斜;
6、s3:再使用所述滚圆机夹头将所
7、优选地,所述对中装置包括承载件、导向支撑组件、伸缩组件、驱动组件,所述承载件位于所述导向支撑组件上方,所述伸缩组件位于所述导向支撑组件内,所述承载件与所述导向支撑组件连接,所述伸缩组件与所述导向支撑组件连接,所述驱动组件与所述伸缩组件连接,所述驱动组件驱动所述伸缩组件沿着所述导向支撑组件的滑动,使得伸缩组件伸长、缩短。
8、优选地,所述承载件的截面为u型。
9、优选地,所述导向支撑组件包括第一支撑板、第一导向槽、第二支撑板、第二导向槽,所述第一导向槽为两个,所述第二导向槽为两个,所述第一导向槽与所述第二导向槽的结构相同,两个所述第一导向槽位于所述第一支撑板的上方,且两个所述第一导向槽设置在所述第一支撑板的两侧,所述第二支撑板位于所述第一支撑板的正上方,两个所述第二导向槽位于所述第二支撑板的下方,且两个所述第二导向槽设置在所述第二支撑板的两侧,所述第一导向槽与所述第一支撑板连接,所述第二导向槽与所述第二支撑板连接,所述伸缩组件的一端与所述第一导向槽连接,所述伸缩组件的另一端与所述第二导向槽连接。
10、优选地,所述伸缩组件包括第一滑动架、第二滑动架、铰接杆,所述第一滑动架与所述第二滑动架形状、大小相同,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉设置,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉的中部通过铰接杆连接,所述第一滑动架的一侧与所述第一导向槽固定连接,所述第一滑动架的另一侧与所述第二导向槽滑动连接,所述第二滑动架的相对于第一滑动架与所述第一导向槽固定连接的同侧与所述第二导向槽固定连接,所述第一滑动架的另一侧与所述第一导向槽滑动连接。
11、优选地,所述第一滑动架包括第一滑动杆、第一活动杆,所述第一滑动杆为两个,所述第一活动杆为两个,两个第一滑动杆相互平行,两个第一活动杆相互平行,其中一个第一滑动杆与所述第一导向槽的一侧固定连接,其中一个第一滑动杆的两端分别与两个所述第一活动杆的一端铰接,另一个第一滑动杆与所述第二导向槽滑动连接,另一个第一滑动杆的两端分别与两个所述第一活动杆的另一端铰接。
12、优选地,所述第二滑动架包括第二滑动杆、第二活动杆,所述第二滑动杆为两个,所述第二活动杆为两个,两个第二滑动杆相互平行,两个第二活动杆相互平行,同侧的所述第二活动杆与所述第一活动杆相互交叉,其中一个第二滑动杆与所述第二导向槽的一侧固定连接,其中一个第二滑动杆的两端分别与两个所述第二活动杆的一端铰接,另一个第二滑动杆与所述第一导向槽滑动连接,另一个第二滑动杆的两端分别与两个所述第二活动杆的另一端铰接,所述第二活动杆与所述第一活动杆相互交叉的位置被所述铰接杆穿过与铰接杆的两端铰接。
13、优选地,所述驱动组件包括驱动杆、驱动螺母,所述驱动杆上设置螺纹,所述驱动杆依次穿过同侧的所述第一滑动杆、第二滑动杆与所述第一滑动杆、第二滑动杆螺纹连接,所述驱动杆的另一端与所述驱动螺母连接。
14、优选地,所述驱动杆依次穿过与所述第二导向槽固定连接的第二滑动杆、与所述第二导向槽滑动连接的第一滑动杆。
15、优选地,所述第一导向槽的槽体长度方向、所述第二导向槽的槽体长度方向与所述第一支撑板的长度方向平行。
16、与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:
17、本专利技术提供的一种晶棒滚圆加工对中方法,将晶棒放置在对中装置上,再将对中装置放置在滚圆机夹头正下方,将承载晶棒的对中装置上升,使得晶棒的中心与所述滚圆机夹头的中心位于同一水平面,不会偏斜;再使用所述滚圆机夹头将所述晶棒夹紧,由于对中装置使得晶棒的两端始终处于同一水平面,当滚圆机夹头进行夹持时,晶棒被水平夹起,以使晶棒的中心与滚圆机的夹头中心位于同一水平线上,不用再使用橡胶锤不停地敲打找中,不会造成晶棒损伤甚至破裂,避免材料的浪费,且晶棒与滚圆机夹头对中简单、便捷。
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1.一种晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于,
2.如权利要求1所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述对中装置包括承载件、导向支撑组件、伸缩组件、驱动组件,所述承载件位于所述导向支撑组件上方,所述伸缩组件位于所述导向支撑组件内,所述承载件与所述导向支撑组件连接,所述伸缩组件与所述导向支撑组件连接,所述驱动组件与所述伸缩组件连接,所述驱动组件驱动所述伸缩组件沿着所述导向支撑组件的滑动,使得伸缩组件伸长、缩短。
3.如权利要求2所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述承载件的截面为U型。
4.如权利要求2所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述导向支撑组件包括第一支撑板、第一导向槽、第二支撑板、第二导向槽,所述第一导向槽为两个,所述第二导向槽为两个,所述第一导向槽与所述第二导向槽的结构相同,两个所述第一导向槽位于所述第一支撑板的上方,且两个所述第一导向槽设置在所述第一支撑板的两侧,所述第二支撑板位于所述第一支撑板的正上方,两个所述第二导向槽位于所述第二支撑板的下方,且两个所述第二导向槽设置在所述第二支撑板的两侧,所述第一导向槽与所述第一支
5.如权利要求4所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述伸缩组件包括第一滑动架、第二滑动架、铰接杆,所述第一滑动架与所述第二滑动架形状、大小相同,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉设置,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉的中部通过铰接杆连接,所述第一滑动架的一侧与所述第一导向槽固定连接,所述第一滑动架的另一侧与所述第二导向槽滑动连接,所述第二滑动架的相对于第一滑动架与所述第一导向槽固定连接的同侧与所述第二导向槽固定连接,所述第一滑动架的另一侧与所述第一导向槽滑动连接。
6.如权利要求5所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述第一滑动架包括第一滑动杆、第一活动杆,所述第一滑动杆为两个,所述第一活动杆为两个,两个第一滑动杆相互平行,两个第一活动杆相互平行,其中一个第一滑动杆与所述第一导向槽的一侧固定连接,其中一个第一滑动杆的两端分别与两个所述第一活动杆的一端铰接,另一个第一滑动杆与所述第二导向槽滑动连接,另一个第一滑动杆的两端分别与两个所述第一活动杆的另一端铰接。
7.如权利要求6所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述第二滑动架包括第二滑动杆、第二活动杆,所述第二滑动杆为两个,所述第二活动杆为两个,两个第二滑动杆相互平行,两个第二活动杆相互平行,同侧的所述第二活动杆与所述第一活动杆相互交叉,其中一个第二滑动杆与所述第二导向槽的一侧固定连接,其中一个第二滑动杆的两端分别与两个所述第二活动杆的一端铰接,另一个第二滑动杆与所述第一导向槽滑动连接,另一个第二滑动杆的两端分别与两个所述第二活动杆的另一端铰接,所述第二活动杆与所述第一活动杆相互交叉的位置被所述铰接杆穿过与铰接杆的两端铰接。
8.如权利要求7所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述驱动组件包括驱动杆、驱动螺母,所述驱动杆上设置螺纹,所述驱动杆依次穿过同侧的所述第一滑动杆、第二滑动杆与所述第一滑动杆、第二滑动杆螺纹连接,所述驱动杆的另一端与所述驱动螺母连接。
9.如权利要求8所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述驱动杆依次穿过与所述第二导向槽固定连接的第二滑动杆、与所述第二导向槽滑动连接的第一滑动杆。
10.如权利要求4所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述第一导向槽的槽体长度方向、所述第二导向槽的槽体长度方向与所述第一支撑板的长度方向平行。
...【技术特征摘要】
1.一种晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于,
2.如权利要求1所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述对中装置包括承载件、导向支撑组件、伸缩组件、驱动组件,所述承载件位于所述导向支撑组件上方,所述伸缩组件位于所述导向支撑组件内,所述承载件与所述导向支撑组件连接,所述伸缩组件与所述导向支撑组件连接,所述驱动组件与所述伸缩组件连接,所述驱动组件驱动所述伸缩组件沿着所述导向支撑组件的滑动,使得伸缩组件伸长、缩短。
3.如权利要求2所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述承载件的截面为u型。
4.如权利要求2所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述导向支撑组件包括第一支撑板、第一导向槽、第二支撑板、第二导向槽,所述第一导向槽为两个,所述第二导向槽为两个,所述第一导向槽与所述第二导向槽的结构相同,两个所述第一导向槽位于所述第一支撑板的上方,且两个所述第一导向槽设置在所述第一支撑板的两侧,所述第二支撑板位于所述第一支撑板的正上方,两个所述第二导向槽位于所述第二支撑板的下方,且两个所述第二导向槽设置在所述第二支撑板的两侧,所述第一导向槽与所述第一支撑板连接,所述第二导向槽与所述第二支撑板连接,所述伸缩组件的一端与所述第一导向槽连接,所述伸缩组件的另一端与所述第二导向槽连接。
5.如权利要求4所述的晶棒滚圆加工对中方法,其特征在于:所述伸缩组件包括第一滑动架、第二滑动架、铰接杆,所述第一滑动架与所述第二滑动架形状、大小相同,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉设置,所述第一滑动架与所述第二滑动架交叉的中部通过铰接杆连接,所述第一滑动架的一侧与所述第一导向槽固定连接,所述第一滑动架的另一侧与所述第二导向槽滑动连接,所述第二滑动架的相对于第一滑动架与所述第一导向槽固定连接的同侧与所述第二导向槽固定连接,所述第一滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:马国庆,宋冠军,郭一辰,
申请(专利权)人:宁夏申和新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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