籽晶夹制造技术

本实用新型专利技术公开了一种籽晶夹，籽晶夹包括：重锤；连接套，连接套连接于重锤的下端，连接套具有在上下方向上贯穿连接套的盛放腔，籽晶的上端适于位于盛放腔内，连接套的径向内侧具有与盛放腔间隔开的吹扫通道，吹扫通道在上下方向上贯穿连接套，吹扫通道用于使气体吹向籽晶与连接套连接的端部。根据本实用新型专利技术的籽晶夹，通过设置连接套，在连接套的径向内侧设置在上下方向上贯穿连接套的吹扫通道，气体可以通过吹扫通道吹向籽晶与连接套连接的端部，从而避免籽晶的上端发生氧化，进而保证籽晶的结构强度和晶棒的生长品质。结构强度和晶棒的生长品质。结构强度和晶棒的生长品质。

【技术实现步骤摘要】
籽晶夹


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种籽晶夹。

技术介绍

[0002]相关技术中，籽晶固定在籽晶夹上，通过籽晶夹控制籽晶旋转和上下移动。实际熔接、调温过程中，由于籽晶夹头阻碍了氩气气流，籽晶与籽晶夹连接处(即籽晶的根部位置)处于气流流动的死角，容易发生氧化，最终会影响拉出的晶棒的品质。此外，连接处的氧化还会降低籽晶结构的强度，存在断裂和掉棒的风险。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种籽晶夹，所述籽晶夹可以避免籽晶的上端发生氧化，进而保证籽晶的结构强度和晶棒的生长品质。
[0004]根据本技术实施例的籽晶夹，包括：重锤；连接套，所述连接套连接于所述重锤的下端，所述连接套具有在上下方向上贯穿所述连接套的盛放腔，籽晶的上端适于位于所述盛放腔内，所述连接套的径向内侧具有与所述盛放腔间隔开的吹扫通道，所述吹扫通道在上下方向上贯穿所述连接套，所述吹扫通道用于使气体吹向籽晶与所述连接套连接的端部。
[0005]根据本技术实施例的籽晶夹，通过设置连接套和重锤，连接套连接于重锤的下端，在连接套中设置盛放腔，籽晶的上端位于盛放腔内，在连接套的径向内侧设置在上下方向上贯穿连接套的吹扫通道，气体可以通过吹扫通道吹向籽晶与连接套连接的端部，从而避免籽晶的上端发生氧化，进而保证籽晶的结构强度和晶棒的生长品质。
[0006]在本技术的一些实施例中，所述吹扫通道包括：第一通道，在自上至下的方向上，所述第一通道朝向背离所述盛放腔的方向倾斜；第二通道，所述第二通道的上端与所述第一通道的下端连通，在自上至下的方向上，所述第二通道朝向靠近所述盛放腔的方向倾斜；转向通道，所述转向通道连接于所述第一通道和第二通道之间，所述转向通道为弧形通道。
[0007]在本技术的一些实施例中，所述连接套的下表面包括导流斜面，所述导流斜面设于所述连接套的径向内端且形成为环形，在自上至下的方向上，所述导流斜面朝向背离所述盛放腔轴线的方向倾斜，所述吹扫通道的下端敞开口位于所述导流斜面上。
[0008]在本技术的一些实施例中，所述重锤包括自上至下依次连接的第一柱段、第二柱段和第三柱段，所述第三柱段伸入所述盛放腔内，在自上至下的方向上，所述第一柱段和所述第二柱段的外周壁逐渐朝向所述重锤的轴线倾斜，且所述第一柱段的外周壁的截面形状为朝向所述重锤径向外侧凸出的弧形，所述第二柱段的外周壁的截面形状为朝向所述重锤径向内侧凸出的弧形，所述第三柱段的外周壁为柱面。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述连接套的上端面具有环绕盛放腔的凸台，所
述凸台的远离所述盛放腔轴线的表面在自上至下的方向上朝向远离所述盛放腔轴线的方向倾斜，且所述凸台的远离所述盛放腔轴线的表面的截面为朝向所述盛放腔轴线凸出的弧形，所述凸台的远离所述盛放腔轴线的表面的上端与所述重锤的外周壁拼接，下端延伸至所述吹扫通道上端敞开口的靠近所述盛放腔轴线的一侧。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述凸台的远离所述盛放腔轴线的表面的下端切线的延伸方向与所述吹扫通道上端的延伸方向相同。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述连接套的上端面具有沿所述连接套的周向方向延伸的环形凸筋，所述环形凸筋位于所述吹扫通道上端敞开口的径向外侧且延伸至所述连接套的径向外端。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述连接套的最大外径为D，所述重锤的最大外径为d，且满足：0.95≤D/d≤1.15。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述连接套的外周壁的上端部在自上至下的方向上朝向远离盛放腔轴线的方向倾斜，且截面形状为朝向远离所述盛放腔轴线方向凸出的弧形。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述吹扫通道为沿所述连接套的周向方向间隔开的多个。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1是根据本技术实施例一的籽晶夹的剖面图；
[0018]图2是根据本技术实施例一的籽晶夹的连接套的俯视图；
[0019]图3是根据本技术实施例二的籽晶夹的剖面图；
[0020]图4是图3中A处放大图；
[0021]图5是根据本技术实施例二的籽晶夹的连接套的俯视图。
[0022]附图标记：
[0023]10、籽晶夹；
[0024]1、连接套；
[0025]11、吹扫通道；111、第一通道；112、第二通道；113转向通道；12、盛放腔；121、第一段；122、第二段；13、上端面；131、凸台；132、环形凸筋；133、上端敞开口；14、导流斜面；141、下端敞开口；15、轴线；16、上端部；
[0026]2、重锤；
[0027]21、第一柱段；211、第一柱段的外周壁；22、第二柱段；221、第二柱段的外周壁；23、第三柱段；
[0028]3、籽晶。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]下面参考图1
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图5描述根据本技术实施例的籽晶夹10。
[0033]如图1和图3所示，根据本技术实施例的籽晶夹10，包括重锤2和连接套1。
[0034]具体地，参考图1和图3，重锤2为籽晶3生长时的稳定装置，减少籽晶3在生长时的晃动。
[0035]进一步地，如图1和图3所示，连接套1连接于重锤2的下端，连接套1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶夹，其特征在于，包括：重锤；连接套，所述连接套连接于所述重锤的下端，所述连接套具有在上下方向上贯穿所述连接套的盛放腔，籽晶的上端适于位于所述盛放腔内，所述连接套的径向内侧具有与所述盛放腔间隔开的吹扫通道，所述吹扫通道在上下方向上贯穿所述连接套，所述吹扫通道用于使气体吹向籽晶与所述连接套连接的端部。2.根据权利要求1所述的籽晶夹，其特征在于，所述吹扫通道包括：第一通道，在自上至下的方向上，所述第一通道朝向背离所述盛放腔的方向倾斜；第二通道，所述第二通道的上端与所述第一通道的下端连通，在自上至下的方向上，所述第二通道朝向靠近所述盛放腔的方向倾斜；转向通道，所述转向通道连接于所述第一通道和第二通道之间，所述转向通道为弧形通道。3.根据权利要求1所述的籽晶夹，其特征在于，所述连接套的下表面包括导流斜面，所述导流斜面设于所述连接套的径向内端且形成为环形，在自上至下的方向上，所述导流斜面朝向背离所述盛放腔轴线的方向倾斜，所述吹扫通道的下端敞开口位于所述导流斜面上。4.根据权利要求1所述的籽晶夹，其特征在于，所述重锤包括自上至下依次连接的第一柱段、第二柱段和第三柱段，所述第三柱段伸入所述盛放腔内，在自上至下的方向上，所述第一柱段和所述第二柱段的外周壁逐渐朝向所述重锤的轴线倾斜，且所述第一柱段的外周壁的截面形状为朝向所述重锤径向外侧凸出的弧形，所述第二柱段...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，
申请(专利权)人：中环领先徐州半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：