【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种清洗设备。
技术介绍
1、相关技术中，半导体硅片线切后的油基切削液可利用清洗设备进行清洗。然而，相关技术中的清洗设备中的喷淋结构是直接在喷淋管上设置喷淋孔，该喷淋结构导致向半导体硅片上喷淋清洗液喷淋不均匀，喷淋面积较小，从而导致对被清洗件的清洗效果不好。因此，有待改进。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种清洗设备，通过将喷淋组件设置为包括喷淋主体、喷淋板以及分水件的结构，通过喷淋板与喷淋主体限定出容纳腔，分水件设于容纳腔，清洗液可以通过分水件进行分流之后流入容纳腔内，而后通过喷淋板喷洒至清洗腔内的被喷淋件上，这样可以增大喷淋面积，使得被清洗件的各个部分均得到有效喷淋，可以使清洗液可以较均匀地喷淋至被清洗件上，从而可以使清洗设备对被清洗件的清洗效果较好。
2、根据本技术实施例的清洗设备，包括：机体，所述机体内具有清洗腔，所述清洗腔用于放置被清洗件；喷淋组件，所述喷淋组件设于所述机体且位于所述清洗腔的上方，所述喷淋组件包括喷淋主体、喷淋板以及分水件，所述喷淋板设于所述喷淋主体内且与所述喷淋主体限定出容纳腔，所述喷淋板上形成有均匀分布的多个喷淋孔，所述喷淋组件通过所述喷淋孔与所述清洗腔连通，所述分水件设于所述容纳腔内且位于所述喷淋板的上方，所述分水件形成有分水腔，所述分水件的侧壁上形成有多个均匀设置的分流孔，所述分水腔内的清洗液适于通过所述分流孔溢流至所述容纳腔内，经由所
3、根据本技术的清洗设备，通过将喷淋组件设置为包括喷淋主体、喷淋板以及分水件的结构，通过喷淋板与喷淋主体之间限定出容纳腔，分水件设于容纳腔，清洗液可以通过分水件进行分流之后流入容纳腔内，而后通过喷淋板喷洒至清洗腔内的被喷淋件上，这样可以增大喷淋面积，使得被清洗件的各个部分均得到有效喷淋，可以使清洗液可以较均匀地喷淋至被清洗件上，从而可以使清洗设备对被清洗件的清洗效果较好。
4、根据本技术的一些实施例，所述喷淋板为多个，多个所述喷淋板沿上下方向间隔排布，多个所述喷淋板与所述喷淋主体之间限定出多层子容纳腔，所述分水件设置于最上层的所述子容纳腔内。
5、根据本技术的一些实施例，所述分水腔沿第一方向延伸，所述分水件的沿所述第一方向的一端与进液管连接，所述进液管用于向所述分水腔内输送清洗液，所述分流孔形成在所述分水件的沿第二方向相对设置的两个侧壁上，且至少部分所述分流孔沿所述第一方向间隔排布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述分水腔内设有缓冲板，所述缓冲板上形成有连通孔。
6、根据本技术的一些可选实施例，所述分水件为沿所述第二方向间隔设置的多个。
7、根据本技术的一些可选实施例，所述喷淋板上设有支撑架，所述分水件支撑于所述支撑架，以使所述分水件的底壁与所述喷淋板间隔开。
8、根据本技术的一些可选实施例，所述机体的顶部形成有安装口，所述安装口与所述清洗腔连通，所述喷淋组件安装于所述安装口。
9、根据本技术的一些实施例，所述机体还具有与所述清洗腔连通的储液腔，所述储液腔位于所述清洗腔的下方，所述清洗腔的底壁形成有连通所述清洗腔与所述储液腔的排液孔；所述清洗设备还包括循环泵，所述循环泵与所述喷淋组件通过所述进液管连接。
10、根据本技术的一些可选实施例，所述清洗腔的侧壁形成有取放口，所述被清洗件适于通过所述取放口放入所述清洗腔内或从所述清洗腔内取出；所述清洗设备包括溢流盒，所述溢流盒设于所述机体的形成有所述取放口的一侧，所述溢流盒位于所述清洗腔外且靠近所述取放口的底壁，经所述取放口溢流出的清洗液适于流入所述溢流盒内。
11、根据本技术的一些可选实施例，所述溢流盒与所述储液腔之间通过连接管连接，所述溢流盒高于所述储液腔，所述溢流盒内的清洗液适于通过所述连接管流入所述储液腔内。
12、根据本技术的一些可选实施例，还包括：液位传感器，所述液位传感器设于所述溢流盒或连接管；
13、其中，所述清洗设备包括溢流报警器，所述液位传感器与所述溢流报警器电连接，在所述液位传感器检测的液位值高于预设值时，所述溢流报警器报警；和/或，所述液位传感器与所述循环泵电连接，在所述液位传感器检测的液位值高于预设值时，所述循环泵停止工作。
14、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种清洗设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述喷淋板为多个，多个所述喷淋板沿上下方向间隔排布，多个所述喷淋板与所述喷淋主体之间限定出多层子容纳腔，所述分水件设置于最上层的所述子容纳腔内。
3.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述分水腔沿第一方向延伸，所述分水件的沿所述第一方向的一端与进液管连接，所述进液管用于向所述分水腔内输送清洗液，所述分流孔形成在所述分水件的沿第二方向相对设置的两个侧壁上，且至少部分所述分流孔沿所述第一方向间隔排布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述分水腔内设有缓冲板，所述缓冲板上形成有连通孔。
4.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，所述分水件为沿所述第二方向间隔设置的多个。
5.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，所述喷淋板上设有支撑架，所述分水件支撑于所述支撑架，以使所述分水件的底壁与所述喷淋板间隔开。
6.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述机体的顶部形成有安装口，所述安装口与所述清洗腔连通，所述喷淋组件安装于所述安装
7.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述机体还具有与所述清洗腔连通的储液腔，所述储液腔位于所述清洗腔的下方，所述清洗腔的底壁形成有连通所述清洗腔与所述储液腔的排液孔；所述清洗设备还包括循环泵，所述循环泵与所述喷淋组件通过进液管连接。
8.根据权利要求7所述的清洗设备，其特征在于，所述清洗腔的侧壁形成有取放口，所述被清洗件适于通过所述取放口放入所述清洗腔内或从所述清洗腔内取出；
9.根据权利要求8所述的清洗设备，其特征在于，所述溢流盒与所述储液腔之间通过连接管连接，所述溢流盒高于所述储液腔，所述溢流盒内的清洗液适于通过所述连接管流入所述储液腔内。
10.根据权利要求9所述的清洗设备，其特征在于，还包括：液位传感器，所述液位传感器设于所述溢流盒或连接管；
...【技术特征摘要】
1.一种清洗设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述喷淋板为多个，多个所述喷淋板沿上下方向间隔排布，多个所述喷淋板与所述喷淋主体之间限定出多层子容纳腔，所述分水件设置于最上层的所述子容纳腔内。
3.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述分水腔沿第一方向延伸，所述分水件的沿所述第一方向的一端与进液管连接，所述进液管用于向所述分水腔内输送清洗液，所述分流孔形成在所述分水件的沿第二方向相对设置的两个侧壁上，且至少部分所述分流孔沿所述第一方向间隔排布，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述分水腔内设有缓冲板，所述缓冲板上形成有连通孔。
4.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，所述分水件为沿所述第二方向间隔设置的多个。
5.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，所述喷淋板上设有支撑架，所述分水件支撑于所述支撑架，以使所述分水件的底壁与所述喷淋板间隔开。
【专利技术属性】
技术研发人员：娄海峰，
申请(专利权)人：中环领先徐州半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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