本技术公开了一种导流筒和具有其的晶体生长设备，导流筒包括分隔导流装置、第一驱动装置和第二驱动装置；第一驱动装置用于驱动分隔导流装置的部分适于沿坩埚的轴向方向在初始位置和预设位置之间运动，在初始位置，分隔导流装置位于硅熔汤液面的上方，在预...

本技术公开了一种过滤系统及具有其的晶体生长装置，过滤系统包括过滤罐、抽气机构和吹气机构和排尘机构，过滤罐设有多个且至少存在两个过滤罐之间连接有通断阀，每个过滤罐的进气端均与长晶炉连接，且每个过滤罐和长晶炉之间分别设置有一个进气开关阀，抽...

本技术公开了一种晶圆倒角设备，包括机台、定位组件、承载组件、打磨组件、测量组件、第一搬运组件和调整组件，定位组件用于定位待打磨晶圆的缺口位置，打磨组件用于打磨置于承载组件的待打磨晶圆，测量组件用于测量待打磨晶圆的尺寸和打磨后的晶圆的尺寸...

本技术公开了一种清洗设备，包括：机体及喷淋组件，机体内具有清洗腔，清洗腔用于放置被清洗件，喷淋组件包括喷淋主体、喷淋板及分水件，喷淋板设于喷淋主体内且与喷淋主体限定出容纳腔，喷淋板上形成有均匀分布的多个喷淋孔，喷淋组件通过喷淋孔与清洗腔...

本技术公开了一种校准安装支架和长晶装置，校准安装支架包括底座、支架、校准板和调节锁定机构，支架设于底座，且支架具有安装部，安装部相对于竖直方向倾斜设置且用于安装被校准结构，校准板设于底座且位于安装部的下方，校准板的上表面具有校准标识，校...

本技术公开一种用于监测清洗过程中晶片状态的装置，包括导轨、机械臂及其控制机台、报警器、横杆、数字CMOS激光传感器和计算机；机械臂设置在导轨上；横杆安装在机械臂上；激光传感器通过传动机构安装在横杆上，且能够沿横杆移动，以检测夹爪夹取晶片...

本技术公开了一种用于脱胶清洗机的上棒车，上棒车包括：主体支架；着座机构，着座机构与主体支架相连，着座机构为两个，两个着座机构沿第一方向间隔开设于主体支架，每个着座机构沿第二方向延伸，每个着座机构的自由端设有顶部敞开的固定槽，固定槽用于定...

本技术公开了一种支撑片外圆的定位机构，包括不少于三个的定位组件，不少于三个的定位组件圆周间隔固定在贴片盘的侧壁上，贴片盘的下表面的边沿垂直向上开设有与定位组件相配适的第一矩形槽，第一矩形槽的高度低于贴片盘的厚度；定位组件包括固定块和滑块...

本实用新型提供了一种晶圆边缘保护装置和快速热退火炉

本实用新型公开了一种晶棒取棒车的定位调平系统，包括：支腿调平组件，支腿调平组件至少有四个，每个支腿调平组件均包括升降机，四个升降机分别安装在车体四个拐角处，支腿调平组件通过升降机的升降运动对车体位置进行调平；激光定位组件，激光定位组件有...

本实用新型公开了一种晶棒取棒车的定位调平系统，包括：支腿调平组件，支腿调平组件至少有四个，每个支腿调平组件均包括升降机，四个升降机分别安装在车体四个拐角处，支腿调平组件通过升降机的升降运动对车体位置进行调平；激光定位组件，激光定位组件有...

本实用新型公开了一种用于单晶炉的导流筒及单晶炉，单晶炉包括：导流筒、炉体和坩埚，导流筒包括：储料部，储料部限定出储料腔；弯曲部，弯曲部设于储料部的径向内侧，弯曲部限定出U形通道，U形通道的入口和出口均开口向下，且U形通道的入口与储料腔的...

本实用新型开了一种加料装置和晶体生长装置，加料装置包括加料管、阀体和遮挡组件，阀体可运动地设于出料口处以开关出料口，且在阀体运动至打开出料口的位置时，阀体的外周沿与出料口的外周沿上下至少部分间隔以限定出预设出料区，遮挡组件包括至少一个遮...

本实用新型公开了一种单晶炉，单晶炉包括：炉本体；坩埚，坩埚设于炉本体内，坩埚用于容纳熔汤；第一驱动组件，第一驱动组件设于炉本体上，第一驱动组件与第一掺杂件配合且用于驱动第一掺杂件沿上下方向移动以使第一掺杂件的下端伸入熔汤内，第一掺杂件包...

本实用新型公开了一种航空插头用防松防插反机构，防松防插反机构包括：沟槽组件，沟槽组件包括沟槽接头板，沟槽接头板上开设有安装孔一，沟槽接头板的左右两侧对称开设有挂钩槽，沟槽接头板上还开设有防插反孔；挂钩组件，挂钩组件包括挂钩接头板、挂钩和...

本实用新型公开了一种拉晶炉坩埚吊装装置，吊装装置包括：吊装框架，包括上支撑环、下支撑环和连接板，上支撑环和下支撑环上下设置，且中心轴线重合，上支撑环和下支撑环通过周向间隔设置的连接板固定连接，上支撑板的上方垂直固定有连杆；旋转锁定机构，...

本实用新型公开了一种用于自动翻转加粉装置的夹紧机构，包括两个对称布置在翻转加粉装置中桶体放置架两侧的夹紧组件，每个夹紧组件包括支撑座、夹紧板和伸缩机构，支撑座安装在桶体放置架的立柱上；夹紧板为弧形板，夹紧板的一端与桶体放置架的立柱铰接；...

本实用新型公开了一种导流筒组件和具有其的晶体生长装置，导流筒组件包括：导流筒；石英组件，石英组件包括支架和设于支架上的石英件，支架沿导流筒的轴向方向可移动以使石英件的至少部分位于晶体生长装置的坩埚内的熔汤液面以下。根据本实用新型的导流筒...

本实用新型公开了一种单晶生长炉，包括：炉体；坩埚；底部保温结构，所述底部保温结构具有反射部和吸收部，所述底部保温结构设于所述炉室内且位于所述坩埚的下方，所述反射部和所述吸收部交替相连，所述反射部的热反射率高于所述吸收部的热反射率，所述吸...

本实用新型公开了一种籽晶夹，籽晶夹包括：重锤；连接套，连接套连接于重锤的下端，连接套具有在上下方向上贯穿连接套的盛放腔，籽晶的上端适于位于盛放腔内，连接套的径向内侧具有与盛放腔间隔开的吹扫通道，吹扫通道在上下方向上贯穿连接套，吹扫通道用...