一种硅片排片花篮装运装置制造方法及图纸

技术编号:38041370 阅读:9 留言:0更新日期:2023-06-30 11:07
本实用新型专利技术涉及一种硅片排片花篮装运装置,包括装运送台及所述装运送台内部设置的两个输送带,两个所述输送带内壁的两侧均固定套接有旋转轮,所述旋转轮的轴心处固定安装有旋转杆,所述旋转杆转动安装在所述装运送台内壁的正面与背面之间,两个所述红外检测仪分别设置在排片花篮本体的正面与背面,当排片花篮本体经过阻挡两个红外检测仪,红外线被阻挡,其传递信号给驱动电机,驱动电机停止工作,避免排片花篮本体脱落;启动驱动电机带动输出端的旋转杆旋转,并迫使旋转轮带动表面的输送带进行转动,进而实现摆放在输送带顶部的排片花篮本体移动,支撑轮的表面与所述输送带的内壁相贴合,起到对输送带进行支撑。起到对输送带进行支撑。起到对输送带进行支撑。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片排片花篮装运装置


[0001]本技术涉及硅片排片成套设备
,具体为一种硅片排片花篮装运装置。

技术介绍

[0002]硅片花篮作为硅片的载体,通常有干湿花篮两种,运送的硅片依次历经从前到后的工艺机台,人工装运移动硅片排片花篮不够自动化,缺少定向装运移动功能,及无法自我控制停止装运,导致硅片排片花篮移动掉落。
[0003]一种适用于大尺寸硅片的湿花篮装置(申请号:201922374969.6)。所述左侧杆和右侧杆的内侧凸设有若干个相互等间隔分布的侧卡齿,后侧杆的前侧凸设有若干个相互等间隔分布的后卡齿,且相邻后卡齿为左右错开设置,每个侧卡齿和对应的后卡齿的位置分布在同一水平面上。
[0004]以上专利缺少定向装运移动功能,及无法自我控制停止装运,导致硅片排片花篮移动掉落,因此我们需要提供一种硅片排片花篮装运装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种硅片排片花篮装运装置,解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片排片花篮装运装置,包括装运送台及所述装运送台内部设置的两个输送带,两个所述输送带内壁的两侧均固定套接有旋转轮,所述旋转轮的轴心处固定安装有旋转杆,所述旋转杆转动安装在所述装运送台内壁的正面与背面之间,且所述输送带的内部设置有支撑组件,所述支撑组件用于对输送带进行支撑,防止松弛的作用,且两个所述输送带的顶部设置有多个排片花篮本体,所述旋转杆的一端贯穿所述装运送台的正面并固定安装有驱动电机,所述驱动电机的顶部设置有红外控制件,所述红外控制件用与控制驱动电机工作状态。
[0007]优选的,所述支撑组件包括转动安装在所述装运送台内壁正面与背面的支撑杆,所述支撑杆的表面固定安装有支撑轮,且所述支撑轮的表面与所述输送带的内壁相贴合。
[0008]优选的,还包括限位套环,所述限位套环固定安装在所述支撑杆的表面,且所述限位套环的一侧与装运送台的表面相贴合。
[0009]优选的,所述红外控制件包括通过固定块固定安装在所述装运送台顶部的两个红外检测仪,两个所述红外检测仪的内部与所述驱动电机电性连接,两个所述红外检测仪分别设置在排片花篮本体的正面与背面。
[0010]优选的,还包括支撑脚座,所述支撑脚座固定安装在所述驱动电机的底部,且所述支撑脚座的一侧通过螺栓固定安装在装运送台的正面。
[0011]优选的,所述输送带的正面与背面均设置有圆形凸部,两个所述圆形凸部分别固定安装在所述旋转轮的正面与背面。
[0012]优选的,所述装运送台底部的两侧均固定安装有支撑架,且所述支撑架设置为“工”字型。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0014]1、本技术两个所述红外检测仪分别设置在排片花篮本体的正面与背面,当排片花篮本体经过阻挡两个红外检测仪,红外线被阻挡,其传递信号给驱动电机,驱动电机停止工作,避免排片花篮本体脱落。
[0015]2、本技术启动驱动电机带动输出端的旋转杆旋转,并迫使旋转轮带动表面的输送带进行转动,进而实现摆放在输送带顶部的排片花篮本体移动,支撑轮的表面与所述输送带的内壁相贴合,起到对输送带进行支撑。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构立体示意图;
[0017]图2为本技术的支撑组件立体示意图;
[0018]图3为本技术的排片花篮本体立体图。
[0019]图中:1、装运送台;2、输送带;3、旋转轮;4、旋转杆;5、支撑组件;51、支撑杆;52、支撑轮;6、排片花篮本体;7、驱动电机;8、红外控制件;81、固定块;82、红外检测仪;9、限位套环;10、支撑脚座;11、圆形凸部;12、支撑架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1

3,本技术提供一种技术方案:一种硅片排片花篮装运装置,包括装运送台1及装运送台1内部设置的两个输送带2,两个输送带2内壁的两侧均固定套接有旋转轮3,旋转轮3的轴心处固定安装有旋转杆4,旋转杆4转动安装在装运送台1内壁的正面与背面之间,且输送带2的内部设置有支撑组件5,支撑组件5用于对输送带2进行支撑,防止松弛的作用,且两个输送带2的顶部设置有多个排片花篮本体6,旋转杆4的一端贯穿装运送台1的正面并固定安装有驱动电机7,驱动电机7的顶部设置有红外控制件8,红外控制件8用与控制驱动电机7工作状态。
[0022]支撑组件5包括转动安装在装运送台1内壁正面与背面的支撑杆51,支撑杆51的表面固定安装有支撑轮52,且支撑轮52的表面与输送带2的内壁相贴合。在本实施例中,通过设置支撑杆51的表面固定安装有支撑轮52,且支撑轮52的表面与输送带2的内壁相贴合,起到对输送带2进行支撑,防止松弛的作用。
[0023]还包括限位套环9,限位套环9固定安装在支撑杆51的表面,且限位套环9的一侧与装运送台1的表面相贴合,需要说明的是,利用限位套环9固定安装在支撑杆51的表面,进而对支撑杆51的旋转具有起到限位防脱的目的。
[0024]红外控制件8包括通过固定块81固定安装在装运送台1顶部的两个红外检测仪82,两个红外检测仪82的内部与驱动电机7电性连接,两个红外检测仪82分别设置在排片花篮
本体6的正面与背面,需要说明的是,两个红外检测仪82分别设置在排片花篮本体6的正面与背面,当排片花篮本体6经过阻挡两个红外检测仪82,红外线被阻挡,其传递信号给驱动电机7,驱动电机7停止工作。
[0025]还包括支撑脚座10,支撑脚座10固定安装在驱动电机7的底部,且支撑脚座10的一侧通过螺栓固定安装在装运送台1的正面,值得注意的是,驱动电机7为慢速电机,其输出端转动速度较为缓慢,同时利用支撑脚座10对驱动电机7起到较好的支撑效果。
[0026]输送带2的正面与背面均设置有圆形凸部11,两个圆形凸部11分别固定安装在旋转轮3的正面与背面,在本实施例中,两个圆形凸部11分别固定安装在旋转轮3的正面与背面,对输送带2具有限位防脱的效果。
[0027]装运送台1底部的两侧均固定安装有支撑架12,且支撑架12设置为“工”字型,在本实施例中,设置“工”字型支撑架12对装运送台1进行支撑。
[0028]本装置两个红外检测仪82分别设置在排片花篮本体6的正面与背面,当排片花篮本体6经过阻挡两个红外检测仪82,红外线被阻挡,其传递信号给驱动电机7,驱动电机7停止工作,避免排片花篮本体6脱落;
[0029]启动驱动电机7带动输出端的旋转杆4旋转,并迫使旋转轮3带动表面的输送带2进行转动,进而实现摆本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片排片花篮装运装置,包括装运送台(1)及所述装运送台(1)内部设置的两个输送带(2),其特征在于:两个所述输送带(2)内壁的两侧均固定套接有旋转轮(3),所述旋转轮(3)的轴心处固定安装有旋转杆(4),所述旋转杆(4)转动安装在所述装运送台(1)内壁的正面与背面之间,且所述输送带(2)的内部设置有支撑组件(5),所述支撑组件(5)用于对输送带(2)进行支撑,防止松弛的作用,且两个所述输送带(2)的顶部设置有多个排片花篮本体(6),所述旋转杆(4)的一端贯穿所述装运送台(1)的正面并固定安装有驱动电机(7),所述驱动电机(7)的顶部设置有红外控制件(8),所述红外控制件(8)用与控制驱动电机(7)工作状态。2.根据权利要求1所述的一种硅片排片花篮装运装置,其特征在于:所述支撑组件(5)包括转动安装在所述装运送台(1)内壁正面与背面的支撑杆(51),所述支撑杆(51)的表面固定安装有支撑轮(52),且所述支撑轮(52)的表面与所述输送带(2)的内壁相贴合。3.根据权利要求2所述的一种硅片排片花篮装运装置,其特征在于:还包括限位套环(9),所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐永平黄淑虎魏永跃刘智敏黄海波
申请(专利权)人:江西玖匠科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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