一种防止腔室倒灌的真空管道制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防止腔室倒灌的真空管道，包括真空管，所述真空管的一端与真空工艺腔室相连，真空管的另一端与抽气泵相连，真空管上设有真空阀，所述真空管的管壁上设有一组挡片结构，挡片结构包括设在管壁一侧的一组固定内挡片和设在管壁另一侧的一组弹性内挡片。真空管道内一侧设有固定内挡片，另一侧设有弹性内挡片，弹性内挡片可随着气流改变而改变朝向，当发生倒灌时弹性内挡片摆动与固定内挡片贴合可有效阻挡粉尘倒灌，并且当真空抽气泵抽真空时，弹性内挡片可向下弯曲，此时管道内抽气的气路空间变到最大，不影响抽气效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种防止腔室倒灌的真空管道


[0001]本技术涉及PECVD工艺
，尤其是涉及一种防止腔室倒灌的真空管道。

技术介绍

[0002]在硅基OLED制造行业中的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强型化学气相沉积法)工艺中，其设备的主要组成为:一个真空传送腔室、一个装卸载腔室、五个工艺腔室。各个腔室均由真空管道与真空抽气泵进行连接，进而进行抽气的动作，使得腔室的真空值保持在规格内。实际生产中，工艺腔室会发生倒灌现象，倒灌现象发生后会造成产品报废、设备宕机及更换零配件。倒灌原理：由于真空抽气泵宕机，腔室失去抽气动力。真空阀与抽气泵之间的真空值瞬间升高、达到大气压状态，但真空阀与工艺腔室之间的真空值保持不变。人员处理设备宕机时，由于疏忽或经验不足未将工艺腔室进行破真空处理而直接将真空阀打开，由于巨大的压力差真空管道底部残存的粉尘(腔室内多余的化学反应物)会倒灌到工艺腔室内，会对腔室造成污染，影响良品率和设备的稼动率，并且还需对腔室进行清洁或更换。
[0003]真空工艺腔室、真空阀、真空管道及真空抽气泵可组成一个完整工艺单元；现有的真空管道内壁是中空的，对防止倒灌没有帮助；或者内壁设置固定的一组挡板，对防止倒灌改善较小；如中国专利CN202830164U公开的一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分；进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板。

技术实现思路

[0004]针对现有技术不足，本技术是提供一种防止腔室倒灌的真空管道，以达到有效阻挡粉尘倒灌的目的。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案为：
[0006]该防止腔室倒灌的真空管道，包括真空管，所述真空管的一端与真空工艺腔室相连，真空管的另一端与抽气泵相连，真空管上设有真空阀，所述真空管的管壁上设有一组挡片结构，挡片结构包括设在管壁一侧的一组固定内挡片和设在管壁另一侧的一组弹性内挡片。
[0007]进一步的：
[0008]所述固定内挡片和弹性内挡片错位设置。
[0009]所述固定内挡片和弹性内挡片均为倾斜设置，倾斜朝向一致。
[0010]所述固定内挡片和弹性内挡片均为弧形挡片。
[0011]所述弹性内挡片的挡片边缘到管壁的垂直距离为真空管半径的1.7
‑
1.8倍。
[0012]所述弹性内挡片为橡胶挡片。
[0013]所述一组固定内挡片和一组弹性内挡片均为均匀间隔沿真空管轴向并排设置。
[0014]所述固定内挡片及弹性内挡片与真空管的管壁夹角为40
‑
50
°
。
[0015]本技术与现有技术相比，具有以下优点：
[0016]该防止腔室倒灌的真空管道结构设计合理，真空管道内一侧设有固定内挡片，另一侧设有弹性内挡片，弹性内挡片可随着气流改变而改变朝向，当发生倒灌时弹性内挡片摆动与固定内挡片贴合可有效阻挡粉尘倒灌，并且当真空抽气泵抽真空时，弹性内挡片可向下弯曲，此时管道内抽气的气路空间变到最大，不影响抽气效率。
附图说明
[0017]下面对本说明书各幅附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
[0018]图1为本技术工艺单元示意图。
[0019]图2为本技术真空管道截面示意图。
[0020]图3为本技术管道俯视示意图。
[0021]图中：
[0022]1.真空工艺腔室、2.真空阀、3.真空管、301.管壁、302.弹性内挡片、303.固定内挡片、4.抽气泵。
具体实施方式
[0023]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0024]如图1至图3所示，该防止腔室倒灌的真空管道结构，包括真空管3，其真空管的一端与真空工艺腔室1相连，真空管的另一端与抽气泵4相连，真空管上设有真空阀2，真空管的管壁上设有一组用于阻挡粉尘倒灌的挡片结构，挡片结构包括设在管壁301一侧的一组固定内挡片303和设在管壁另一侧的一组弹性内挡片302。
[0025]进一步的，固定内挡片303和弹性内挡片302错位设置；固定内挡片和弹性内挡片均为倾斜设置，倾斜朝向一致；固定内挡片及弹性内挡片与真空管的管壁夹角为40
‑
50
°
。
[0026]本技术中，弹性内挡片可随着气流改变而改变朝向，当发生倒灌时弹性内挡片摆动与固定内挡片贴合可有效阻挡粉尘倒灌；并且当真空抽气泵抽真空时，弹性内挡片可向下弯曲，此时管道内抽气的气路空间变到最大，不影响抽气效率。
[0027]一组固定内挡片和一组弹性内挡片均为均匀间隔沿真空管轴向并排设置，可有效提高阻挡效果。
[0028]弹性内挡片为耐高温耐腐蚀的橡胶挡片；优选固定内挡片和弹性内挡片均为弧形挡片，弹性内挡片的挡片边缘到管壁的垂直距离为真空管半径的1.7
‑
1.8倍。
[0029]本技术优选具体实例为：
[0030]在空管道内部有规律的排列若干弧形挡片，排列在管道左侧的挡片是耐高温、耐腐蚀的材质，质地较硬，一直保持示意图中的角度，不会受气流的影响而改变。
[0031]挡片边缘到管道内壁的垂直距离等于管道的半径，与管道的夹角约为45度。排列在管道右侧的挡片也是耐高温、耐腐蚀的材质，但质地较软，可随着气流方向的改变而改变朝向。无气流时挡片不发生任何形变。挡片边缘到内壁的垂直距离等于管道半径的1.75倍，
夹角同为45
°
。
[0032]上述两种挡片在无气流时在管道内壁上的排列示意图如图2所示。右侧挡片受气流方向的影响，可上下摆动。当真空抽气泵抽真空时，右侧挡片可向下弯曲，此时管道内抽气的气路空间变到最大，不影响抽气效率。右侧挡片在停止抽气后恢复原状、发生倒灌时可阻隔粉尘。真空管道内部安装挡片的真空管的侧视示意图如图2所示、俯视示意图如图3所示。
[0033]本技术原理为：当真空抽气泵抽真空时，右侧挡片可向下弯曲，此时管道内抽气的气路空间变到最大，不影响抽气效率。由于工艺腔室的粉尘集中在管道底部，当发生倒灌时，气流方向变为由下到上，此时右侧的挡片也会随着气流变为向上摆动，并与左侧的硬质挡片结合，至此便形成了一个闭合的“开关”，真空管道底部的粉尘自下而上逐层经过这些开关时，每经过一对挡片(闭合的开关)时就会将大多数粉尘阻隔，层层挡片全部经过后，粉尘已被阻隔完毕。此方案不但能阻隔全部粉尘，还可以减少由此带来的产品报废，减少零配件更换的费用和人力，降低了清洁腔室的时间和人力，提升了设备的稼动率和产能。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止腔室倒灌的真空管道，包括真空管，所述真空管的一端与真空工艺腔室相连，真空管的另一端与抽气泵相连，真空管上设有真空阀，其特征在于：所述真空管的管壁上设有一组挡片结构，挡片结构包括设在管壁一侧的一组固定内挡片和设在管壁另一侧的一组弹性内挡片。2.如权利要求1所述防止腔室倒灌的真空管道，其特征在于：所述固定内挡片和弹性内挡片错位设置。3.如权利要求1所述防止腔室倒灌的真空管道，其特征在于：所述固定内挡片和弹性内挡片均为倾斜设置，倾斜朝向一致。4.如权利要求1所述防止腔室倒灌的真空管道，其特征在于：所述固定内挡片和弹性内挡片均为弧形挡片。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄大凯，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：