本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗转运装置，属于硅片清洗技术领域，包括底座，所述底座的顶部设置有活动座，本实用新型专利技术通过第一电机带动第一链条轮转动，然后第一链条轮通过链条带动第二链条轮转动，同时第二链条轮带动第一旋转轴转动，然后第一旋转轴带动第一齿轮转动，随后第一齿轮与硅片清洗机上的硅片载运设备连接对硅片进行输送，同时第二电机通过减速器带动第二旋转轴转动，然后第二旋转轴带动第二齿轮转动，然后第二齿轮在齿条板的表面转动，带动移动座在活动座的上方上下移动，调节移动座的高度，同时活动座在第一滑座的配合下在第一滑轨的表面进行左右移动，调节移动座的位置，使该装置适配于多数硅片清洗机，方便对硅片进行转运。片进行转运。片进行转运。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗转运装置
[0001]本技术涉及硅片清洗
，具体为一种硅片清洗转运装置。
技术介绍
[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]在硅片清洗时，需要对清洗后的硅片进行准运，硅片转运装置需要根据硅片清洗机的高度进行调节，传统的转运装置适配于某一种型号的硅片清洗机，根据硅片清洗机进行特制，无法适用于多种型号的硅片清洗机，导致多种硅片清洗机需要配备多种硅片转运装置，导致装置种类的繁多，同时增加采购支出。
技术实现思路
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片清洗转运装置，包括底座，所述底座的顶部设置有活动座，所述活动座在底座的顶部可左右滑动，所述活动座顶部的两侧均固定有齿条板，所述齿条板的表面活动连接有移动座，所述齿条板的顶部贯穿移动座并向上延伸，所述移动座的顶部设置有升降组件，所述升降组件与齿条板的表面活动连接，所述移动座的顶部固定有支架，所述支架的左侧固定有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿支架并固定有第一链条轮，所述移动座顶部的两侧均固定有第一轴承座，所述第一轴承座的内腔通过轴承转动连接有第一旋转轴，所述第一旋转轴的表面固定有第二链条轮，所述第一链条轮与第二链条轮通过链条传动连接，所述第一旋转轴的两端均固定有第一齿轮，装置移动座的两侧均通过活动轴活动连接有支撑轮。
[0005]优选的，所述升降组件包括固定在移动座顶部两侧的第二轴承座，所述第二轴承座的内腔通过轴承转动连接有第二旋转轴，所述第二旋转轴的表面固定有第二齿轮，所述第二齿轮与齿条板相向的一侧啮合，所述第二旋转轴的表面设置有减速器，所述减速器固定于移动座的顶部，所述减速器的顶部安装有第二电机。
[0006]优选的，所述底座包括底框，所述底框的顶部固定有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定有第一滑座，所述第一滑座位于活动座的上方。
[0007]优选的，所述活动座的顶部固定有第一滑轨，所述第一滑座滑动连接于第一滑轨的表面。
[0008]优选的，所述移动座底部的两侧均固定有固定框，所述固定框的顶部贯穿移动座并向上延伸，所述齿条板位于固定框的内腔，所述齿条板的背面设置有第二滑轨，所述第二滑轨的表面滑动连接有第二滑座，所述第二滑座固定于固定框的内腔。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0010]1、本技术通过第一电机带动第一链条轮转动，然后第一链条轮通过链条带动
第二链条轮转动，同时第二链条轮带动第一旋转轴转动，然后第一旋转轴带动第一齿轮转动，随后第一齿轮与硅片清洗机上的硅片载运设备连接对硅片进行输送，同时第二电机通过减速器带动第二旋转轴转动，然后第二旋转轴带动第二齿轮转动，然后第二齿轮在齿条板的表面转动，带动移动座在活动座的上方上下移动，调节移动座的高度，同时活动座在第一滑座的配合下在第一滑轨的表面进行左右移动，调节移动座的位置，使该装置适配于多数硅片清洗机，方便对硅片进行转运。
[0011]2、本技术通过固定框、第二滑座和第二滑轨的配合，方便保持移动座与齿条板之间的稳定性，防止移动座发生晃动。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构示意图；
[0013]图2为本技术底座的立体结构示意图；
[0014]图3为本技术局部立体结构示意图。
[0015]图中标号：1、底座；101、底框；102、支撑杆；103、第一滑座；2、活动座；3、齿条板；4、移动座；5、升降组件；51、第二轴承座；52、第二旋转轴；53、第二齿轮；54、减速器；55、第二电机；6、支架；7、第一电机；8、第一链条轮；9、第一轴承座；10、第一旋转轴；11、第二链条轮；12、第一齿轮；13、支撑轮；14、第一滑轨；15、固定框；16、第二滑轨；17、第二滑座。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]本技术提供了如图1～3所示的一种硅片清洗转运装置，包括底座1，底座1的顶部设置有活动座2，活动座2在底座1的顶部可左右滑动，活动座2顶部的两侧均固定有齿条板3，齿条板3的表面活动连接有移动座4，齿条板3的顶部贯穿移动座4并向上延伸，移动座4的顶部设置有升降组件5，升降组件5与齿条板3的表面活动连接，移动座4的顶部固定有支架6，支架6的左侧固定有第一电机7，第一电机7的输出轴贯穿支架6并固定有第一链条轮8，移动座4顶部的两侧均固定有第一轴承座9，第一轴承座9的内腔通过轴承转动连接有第一旋转轴10，第一旋转轴10的表面固定有第二链条轮11，第一链条轮8与第二链条轮11通过链条传动连接，第一旋转轴10的两端均固定有第一齿轮12，装置移动座4的两侧均通过活动轴活动连接有支撑轮13，通过第一电机7带动第一链条轮8转动，然后第一链条轮8通过链条带动第二链条轮11转动，同时第二链条轮11带动第一旋转轴10转动，然后第一旋转轴10带动第一齿轮12转动，随后第一齿轮12与硅片清洗机上的硅片载运设备连接对硅片进行输送，同时第二电机55通过减速器54带动第二旋转轴52转动，然后第二旋转轴52带动第二齿轮53转动，然后第二齿轮53在齿条板3的表面转动，带动移动座4在活动座2的上方上下移动，调节移动座4的高度，同时活动座2在第一滑座103的配合下在第一滑轨14的表面进行左右移动，调节移动座4的位置，使该装置适配于多数硅片清洗机，方便对硅片进行转运。
[0018]升降组件5包括固定在移动座4顶部两侧的第二轴承座51，第二轴承座51的内腔通
过轴承转动连接有第二旋转轴52，第二旋转轴52的表面固定有第二齿轮53，第二齿轮53与齿条板3相向的一侧啮合，第二旋转轴52的表面设置有减速器54，减速器54可以保障第二电机55的输出转速保持稳定，减速器54固定于移动座4的顶部，减速器54的顶部安装有第二电机55，通过第二电机55驱动减速器54，然后利用减速器54带动第二旋转轴52转动，然后第二旋转轴52带动第二齿轮53转动，此时第二齿轮53在齿条板3的表面转动，使移动座4在齿条板3的表面进行上下移动，调节第一齿轮12和支撑轮13的高度，方便适配于不同的硅片清洗机。
[0019]底座1包括底框101，底框101的顶部固定有支撑杆102，支撑杆102的顶部固定有第一滑座103，第一滑座103位于活动座2的上方，通过对底框101结构的设置，方便利用支撑杆102对活动座2进行支撑，方便利用第一滑轨14和第一滑座103对活动座2进行本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗转运装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部设置有活动座(2)，所述活动座(2)在底座(1)的顶部可左右滑动，所述活动座(2)顶部的两侧均固定有齿条板(3)，所述齿条板(3)的表面活动连接有移动座(4)，所述齿条板(3)的顶部贯穿移动座(4)并向上延伸，所述移动座(4)的顶部设置有升降组件(5)，所述升降组件(5)与齿条板(3)的表面活动连接，所述移动座(4)的顶部固定有支架(6)，所述支架(6)的左侧固定有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出轴贯穿支架(6)并固定有第一链条轮(8)，所述移动座(4)顶部的两侧均固定有第一轴承座(9)，所述第一轴承座(9)的内腔通过轴承转动连接有第一旋转轴(10)，所述第一旋转轴(10)的表面固定有第二链条轮(11)，所述第一链条轮(8)与第二链条轮(11)通过链条传动连接，所述第一旋转轴(10)的两端均固定有第一齿轮(12)，装置移动座(4)的两侧均通过活动轴活动连接有支撑轮(13)。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗转运装置，其特征在于：所述升降组件(5)包括固定在移动座(4)顶部两侧的第二轴承座(51)，所述第二轴承座(51)的内腔通过轴承转...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄淑虎，黄海波，刘智敏，
申请(专利权)人：江西玖匠科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。