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本实用新型公开了一种硅片清洗转运装置，属于硅片清洗技术领域，包括底座，所述底座的顶部设置有活动座，本实用新型通过第一电机带动第一链条轮转动，然后第一链条轮通过链条带动第二链条轮转动，同时第二链条轮带动第一旋转轴转动，然后第一旋转轴带动第一齿...
该专利属于江西玖匠科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西玖匠科技有限公司授权不得商用。

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