【技术实现步骤摘要】
传感器
[0001]本申请是申请日为2017年10月18日、专利技术名称为“传感器”的申请号为201780004411.X的专利申请的分案申请。
[0002]本技术涉及光电探测器,例如,涉及一种适合应用于雪崩光电二极管的光电探测器。
技术介绍
[0003]雪崩光电二极管(APD)具有盖革模式(Geiger mode)和线性模式,在盖革模式中,雪崩光电二极管在低于击穿电压的偏置电压下工作,而在线性模式中,它在击穿电压附近以稍高的偏置电压工作。盖革模式下的雪崩光电二极管也被称为单光子雪崩光电二极管(SPAD)。
[0004]SPAD是一种能够通过如下处理以像素为基础检测单个光子的设备,在该处理中,通过光电转换产生的载流子在以像素为基础设置的高电场PN结区域中被倍增。
[0005]在专利文献1中,为了提高SPAD像素的灵敏度,提出了一种用于形成高电场区域的层被嵌入并且被偏压耗尽的技术。在专利文献2中,提出了一种通过具有像素之间的隔离的结构来实现减少由于高电场区域中的光发射而对相邻像素的串扰的技术。
[0006][引用列表][0007][专利文献][0008][专利文献1]:JP 2015
‑
41746A
[0009][专利文献2]:JP 2013
‑
48278A
技术实现思路
[0010]技术问题
[0011]在专利文献1中,在载流子倍增时,像素中的高电场区域中的光发射可能导致光子入射到相邻像素上,从而可能意外地在相邻像素中 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种传感器,其包括:第一基板,所述第一基板包括:第一半导体层,所述第一半导体层包括:第一雪崩光电二极管,所述第一雪崩光电二极管包括第一阴极区域和第一阳极区域;和第一隔离区域,第一配线层,所述第一配线层包括:第一配线;第一通孔,其中,所述第一阴极区域通过所述第一通孔电连接至所述第一配线;第二配线;和第二通孔,其中,所述第一阳极区域通过所述第二通孔电连接至所述第二配线;以及第二基板,所述第二基板层叠在所述第一基板上,所述第二基板包括:第二配线层,所述第二配线层包括:第三配线,所述第三配线直接接合至所述第一配线;和第四配线,所述第四配线直接接合至所述第二配线;和第二半导体层,其中,所述第一阳极区域位于所述第一阴极区域和所述第一隔离区域之间。2.根据权利要求1所述的传感器,其中,所述第一配线和所述第三配线与所述第一雪崩光电二极管重叠。3.根据权利要求2所述的传感器,其中,所述第二配线和所述第四配线至少部分地与所述第一雪崩光电二极管重叠。4.根据权利要求1所述的传感器,其中,所述第一隔离区域包括第一金属膜。5.根据权利要求4所述的传感器,其中,所述第一隔离区域包括间隙区域,所述第一金属膜至少部分地围绕所述间隙区域。6.根据权利要求1所述的传感器,还包括片上透镜,所述片上透镜位于所述第一半导体层上。7.根据权利要求6所述的传感器,其中,所述片上透镜位于所述第一半导体层的光入射面上。8.根据权利要求6所述的传感器,其中,所述片上透镜位于附接至所述第一隔离区域的第一膜上。9.根据权利要求4所述的传感器,其中,所述第一隔离区域包括附接至所述第一金属膜的第二膜。10.根据权利要求9所述的传感器,其中,所述第一膜附接至所述第二膜。11.根据权利要求7所述的传感器,其中,所述第一隔离区域穿透所述第一半导体层的所述光入射面。12.一种传感器,其包括:第一基板,所述第一基板包括:第一半导体层,所述第一半导体层包括:第一雪崩光电二极管,所述第一雪崩光电二极管包括第一接触区域和第二接触区域;
和第一隔离区域;第一配线层,所述第一配线层包括:第一配线;第一通孔,其中,所述第一接触区域通过所述第一通孔电连接至所述第一配线;第二配线;和第二通孔,其中,所述第二接触区域通过所述第二通孔电连接至所述第二配线;以及第二基板,所述第二基板层叠在所述第一基板上,所述第二基板包括:第二配线层,所述第二配线层包括:第三配线,所述第三配线直接接合至所述第一配线;和第四配线,所述第四配线直接接合至所述第二配线;和第二半导体层,其中,所述第一接触区域位于所述第二接触区域和所述第一隔离区域之间。13.根据权利要求12所述的传感器,其中,所述第一配线和所述第三配线与所述第一雪崩光电二极管重叠。14.根据权利要求13所述的传感器,其中,所述第二配线和所述第四配线至少部分地与所述第一雪崩光电二极管重叠。15.根据权利要求12所述的传感器,其中,所述第一隔离区域包括第一金属膜。16.根据权利要求15所述的传感器,其中,所述第一隔离区域包括间隙区域,所述第一金属膜至少部分地围绕所...
【专利技术属性】
技术研发人员:大竹悠介,松本晃,山元纯平,内藤隆诚,中沟正彦,若野寿史,
申请(专利权)人:索尼半导体解决方案公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。