一种自动倒膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动倒膜机，包括底板，所述底板一侧分别设置有进料机构和次品出料机构，所述进料机构的出口端处设置有正面倒膜转盘装置，所述次品出料机构与正面倒膜转盘装置的连接，所述正面倒膜转盘装置一侧设置有背面倒膜转盘装置，所述正面倒膜转盘装置的出料端与背面倒膜转盘装置的入料端之间设置有背面倒膜入料搬运机构，所述背面倒膜转盘装置出口处设置有升降缓存库。本实用新型专利技术的有益效果是：通过进料机构将装有晶圆铁片转运至正面倒膜转盘装置中，正面倒膜转盘装置会对晶圆进行检测，检测合格的会将晶圆表面的白膜撕掉并贴上蓝膜，从而完成对晶圆正面倒膜，如果检测不合格会通过次品出料机构准运出，防止次品向下输送。下输送。下输送。

【技术实现步骤摘要】
一种自动倒膜机


[0001]本技术涉及半导体产品加工
，特别是一种自动倒膜机。

技术介绍

[0002]晶圆加工过程中需要为对晶圆进行倒膜处理，将晶圆从铁环中分离出，通常需要对晶圆进行正面倒膜和背面倒膜，现有的设备自动化程度不高，效率较低，为此我们提供一种自动倒膜机来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种自动倒膜机。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]一种自动倒膜机，包括底板，所述底板一侧分别设置有进料机构和次品出料机构，所述进料机构的出口端处设置有正面倒膜转盘装置，所述次品出料机构与正面倒膜转盘装置的连接，所述正面倒膜转盘装置一侧设置有背面倒膜转盘装置，所述正面倒膜转盘装置的出料端与背面倒膜转盘装置的入料端之间设置有背面倒膜入料搬运机构，所述背面倒膜转盘装置出口处设置有升降缓存库，所述升降缓存库与背面倒膜转盘装置出口之间设置有出料搬运机构。
[0006]优选的，所述进料机构包括位于底板一侧的入料输送带，入料输送带出口处设置有入料升降转运组件，所述底板上安装设置有入料搬运组件，所述入料搬运组件位于入料升降转运组件的接驳位；所述次品出料机构包括位于底板一侧的出料输送带，所述出料输送带入口处设置有出料升降转运组件，所述底板上还安装设置有次品出料搬运组件，所述次品出料搬运组件位于出料升降转运组件的接驳位；所述入料升降转运组件包括固定安装在底板安装槽内的升降运动模组，所述升降运动模组的动力输出端安装有升降架，所述入料升降转运组件与出料升降转运组件的结构相同，其中所述入料搬运组件将位于来自入料输送带的铁环进行转运至正面倒膜转盘装置，所述次品出料搬运组件将来自正面倒膜转盘装置检测的次品转运至出料升降转运组件并通过出料输送带转运出。
[0007]优选的，所述正面倒膜转盘装置包括转动设置在底板上表面的第一转盘，还包括固定安装在底板上表面且关于第一转盘转动方向依次设置的第一检测装置、第一撕膜机构、吹气上片机构、贴膜机构以及转料机构，所述第一检测装置位于进料机构和次品出料机构之间。
[0008]优选的，所述第一撕膜机构包括固定安装在底板上表面的第一二轴驱动模组，所述第一二轴驱动模组动力输出端固定安装有第一旋转电机，所述第一旋转电机输出端安装有旋转架，所述旋转架上安装有撕膜夹取钳、撕膜吸嘴以及撕膜夹爪。
[0009]优选的，所述吹气上片机构包括固定安装在底板上表面的第一直线运动模组，所述第一直线运动模组动力端的固定板上安装有第一升降模组以及抽气罩，所述抽气罩内顶端固定安装有吹气刀，所述第一升降模组动力输出端固定板上设置有若干第一吸嘴。
[0010]优选的，所述贴膜机构包括固定安装在底板上表面的机架，所述机架侧面设置有供膜组件，所述供膜组件上表面设置有三轴驱动模组，所述三轴驱动模组输出端分别设置有吸盘和滚压轮。
[0011]优选的，所述背面倒膜转盘装置包括转动设置在底板上表面的第二转盘，还包括固定安装在底板上表面且关于第二转盘转动方向依次设置的第二撕膜机构、铁环出料搬运组件、隔离片搬运组件、离型膜上料搬运组件和第二检测装置，所述铁环出料搬运组件和上料升降组件的下方分别设置有铁环存储升降组件和上料升降组件，所述隔离片搬运组件和吹气上片机构之间设置有转运带。
[0012]优选的，所述上料升降组件包括固定安装在底板上表面且呈矩形分布的安装柱，每个所述安装柱内滑动设置有导向滑柱，所述导向滑柱的上表面设置有升降板，所述升降板底面的中心处固定连接有驱动柱，所述底板底面固定安装设置有驱动电机，所述驱动电机动力输出端连接有齿轮传动组件，且齿轮传动组件与驱动柱传动连接。
[0013]优选的，所述背面倒膜入料搬运机构包括安装在底板上且位于正面倒膜转盘装置出料端和背面倒膜转盘装置入料端之间的调整装置，所述调整装置一侧设置有用于搬运的横向搬运装置；所述横向搬运装置包括固定安装在底板上表面的第二二轴驱动组件，所述第二二轴驱动组件动力输出端固定安装设置有转运板，所述转运板上安装有若干个第二吸嘴；所述调整装置包括横向搬运装置一侧的承载架，所述承载架上表面设置有若干个支架，所述承载架上方沿着输送方向依次设置有加热组件、刮膜组件、翻转组件和背面倒膜入料转运机构；所述加热组件包括第三二轴驱动组件，所述第三二轴驱动组件动力输出端安装有加热块，所述刮膜组件包括第四二轴驱动组件，所述第四二轴驱动组件动力输出端安装有刮膜头；所述翻转组件包括第五二轴驱动组件，所述第五二轴驱动组件动力输出端固定安装有移动板，所述移动板内壁两侧均设置有夹持旋转组件；所述背面倒膜入料转运机构包括第六二轴驱动组件，所述第六二轴驱动组件动力输出端设置有磁吸板。
[0014]优选的，所述出料搬运机构包括位于升降缓存库与背面倒膜转盘装置出口之间的安装在底板上的升降接驳组件，所述升降接驳组件上表面设置有托盘，所述升降接驳组件的一侧设置有推料气缸，所述升降接驳组件上方设置有下料搬运装置，所述下料搬运装置包括安装在底板上的直线驱动模组，所述直线驱动模组动力输出端安装设置有第二旋转电机，所述第二旋转电机输出端的安装板底部安装有升降气缸，所述升降气缸输出端的固定板上设置有多个第三吸嘴。
[0015]本技术具有以下优点：
[0016]1、本技术通过进料机构将装有晶圆铁片转运至正面倒膜转盘装置中，正面倒膜转盘装置会对晶圆进行检测，检测合格的会将晶圆表面的白膜撕掉并贴上蓝膜，从而完成对晶圆正面倒膜，如果检测不合格会通过次品出料机构准运出，防止次品向下输送，通过背面倒膜入料搬运机构对来自正面倒膜转盘装置的倒完正面的膜的晶圆转运至背面倒膜转盘装置，并通过背面倒膜转盘装置将背面的白膜撕掉并将贴片和隔离片搬运出贴上离型膜，从而完成背面膜的倒膜，在对晶圆正面和背面倒膜过程中不需要人工参与，会自动对晶圆进行检测搬运倒膜，大大提高了倒膜效率，提高了自动化程度。
[0017]2、本技术通过在进料机构和次品出料机构之间设置第一检测装置，通过第一检测装置对输送至正面倒膜转盘装置中的晶圆进行检测，防止次品晶圆输送至正面倒膜转
盘装置中从而进行不必要的操作，通过次品出料机构将次品晶圆输送出去。
附图说明
[0018]图1为本技术的整体俯视示意图。
[0019]图2为本技术的整体立体结构示意图。
[0020]图3为本技术的入料搬运组件和次品出料搬运组件示意图。
[0021]图4为本技术的第一撕膜机构和第二撕膜机构结构示意图。
[0022]图5为本技术的吹气上片机构和隔离片搬运组件结构示意图。
[0023]图6为本技术的抽气罩内部结构示意图。
[0024]图7为本技术的贴膜机构结构示意图。
[0025]图8为本技术的背面倒膜入料搬运就结构示意图。
[0026]图9为本技术的第二转盘结构示意图。
[0027]图10为本技术的下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动倒膜机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)一侧分别设置有进料机构(2)和次品出料机构(3)，所述进料机构(2)的出口端处设置有正面倒膜转盘装置(5)，所述次品出料机构(3)与正面倒膜转盘装置(5)的连接，所述正面倒膜转盘装置(5)一侧设置有背面倒膜转盘装置(7)，所述正面倒膜转盘装置(5)的出料端与背面倒膜转盘装置(7)的入料端之间设置有背面倒膜入料搬运机构(6)，所述背面倒膜转盘装置(7)出口处设置有升降缓存库(4)，所述升降缓存库(4)与背面倒膜转盘装置(7)出口之间设置有出料搬运机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种自动倒膜机，其特征在于：所述进料机构(2)包括位于底板(1)一侧的入料输送带(21)，入料输送带(21)出口处设置有入料升降转运组件(23)，所述底板(1)上安装设置有入料搬运组件(22)，所述入料搬运组件(22)位于入料升降转运组件(23)的接驳位；所述次品出料机构(3)包括位于底板(1)一侧的出料输送带(31)，所述出料输送带(31)入口处设置有出料升降转运组件(33)，所述底板(1)上还安装设置有次品出料搬运组件(32)，所述次品出料搬运组件(32)位于出料升降转运组件(33)的接驳位；所述入料升降转运组件(23)包括固定安装在底板(1)安装槽内的升降运动模组(231)，所述升降运动模组(231)的动力输出端安装有升降架(232)，所述入料升降转运组件(23)与出料升降转运组件(33)的结构相同，其中所述入料搬运组件(22)将位于来自入料输送带(21)的铁环进行转运至正面倒膜转盘装置(5)，所述次品出料搬运组件(32)将来自正面倒膜转盘装置(5)检测的次品转运至出料升降转运组件(33)并通过出料输送带(31)转运出。3.根据权利要求1所述的一种自动倒膜机，其特征在于：所述正面倒膜转盘装置(5)包括转动设置在底板(1)上表面的第一转盘(51)，还包括固定安装在底板(1)上表面且关于第一转盘(51)转动方向依次设置的第一检测装置(56)、第一撕膜机构(52)、吹气上片机构(53)、贴膜机构(54)以及转料机构(55)，所述第一检测装置(56)位于进料机构(2)和次品出料机构(3)之间。4.根据权利要求3所述的一种自动倒膜机，其特征在于：所述第一撕膜机构(52)包括固定安装在底板(1)上表面的第一二轴驱动模组(521)，所述第一二轴驱动模组(521)动力输出端固定安装有第一旋转电机(522)，所述第一旋转电机(522)输出端安装有旋转架(523)，所述旋转架(523)上安装有撕膜夹取钳(524)、撕膜吸嘴(525)以及撕膜夹爪(526)。5.根据权利要求3所述的一种自动倒膜机，其特征在于：所述吹气上片机构(53)包括固定安装在底板(1)上表面的第一直线运动模组(531)，所述第一直线运动模组(531)动力端的固定板上安装有第一升降模组(532)以及抽气罩(534)，所述抽气罩(534)内顶端固定安装有吹气刀(535)，所述第一升降模组(532)动力输出端固定板上设置有若干第一吸嘴(533)。6.根据权利要求3所述的一种自动倒膜机，其特征在于：所述贴膜机构(54)包括固定安装在底板(1)上表面的机架(541)，所述机架(541)侧面设置有供膜组件(545)，所述供膜组件(545)上表面设置有三轴驱动模组(542)，所述三轴驱动模组(542)输出端分别设置有吸盘(543)和滚压轮(544)。7.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉宏，薛联金，杨大鹏，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：