一种晶圆盒立体存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。设置环形立体的存储架，并在其上开设多个存储位用于放置晶圆存储盒，通过机械手实现环形存储架的自动存取，人工只需要将晶圆存储盒放置在中转载台上即可，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，增加存储架的存储数量，自动化存储提高晶圆盒取放效率。自动化存储提高晶圆盒取放效率。自动化存储提高晶圆盒取放效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒立体存储装置


[0001]本技术涉及晶圆存储设备
，特别是一种晶圆盒立体存储装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路的制造中，半导体晶圆的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，并按照产品的生产工艺、环境要求、厂务要求等因素将工厂划分成数个生产区域。在制造过程中半成品必须在不同的生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内放置半成品，并且在生产物料的缓存区里安置用于存放半成品的存储货架，从而确保生产物料的正确快速流动，并且保证不会由于人为因素、设备或者厂务维修等突发状况，造成生产线缺料而停顿生产的重大事故发生。然后再通过传输手段，将“半成品”从上一个工段的生产区域自动传输到下一个工段的生产区域，为了在存放和运输的过程中保护晶圆，通常会将晶圆放置在专用的晶圆盒(晶圆卡塞)内，晶圆盒(晶圆卡塞)是专门用于存放晶圆片的器具。
[0003]但是现有的晶圆盒存储货架存取晶圆盒都是人工存取放，这样就使得存储货架的高度不能太高，不然存储不便可能造成坠落等的问题，导致空间利用率低，占用相同地面面积的情况下存储的数量较少，并且取放效率也比较低。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术的目的是提供一种晶圆盒立体存储装置，设置环形立体的存储架，实现存储量的增加，通过机械手实现晶圆盒在环形存储架内的自动存取，人工只需要将晶圆存储盒放置在中转载台上即可，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，进一步增加存储架的存储数量，自动化存储提高晶圆盒取放效率。
[0005]本技术采用以下方法来实现：一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。
[0006]本技术一实施例中，所述机械手包括旋转座，所述旋转座上安装Z轴移动组件，所述Z轴移动组件上安装X轴移动组件，所述X轴移动组件上安装有取放叉，用于叉取放置晶圆盒。
[0007]本技术一实施例中，所述存取窗口处设置有中转载台，所述中转载台上设置有转盘，所述转盘上设置有晶圆盒放置板，用于放置晶圆盒，所述转盘由第一电机驱动。
[0008]本技术一实施例中，所述中转载台上共设置有两个所述转盘，每个所述转盘上均设置有所述晶圆盒放置板。
[0009]本技术一实施例中，所述晶圆盒放置板上设置有定位柱，所述晶圆盒的下表面设置相应的定位块，与所述定位柱配合实现晶圆盒在所述晶圆盒放置板上的定位放置。
[0010]本技术一实施例中，所述晶圆盒放置板上设置有感应开关。
[0011]本技术一实施例中，所述存储架和所述机械手安装在底座上，所述底座上设置有外罩，用于罩住所述存储架和机械手，所述外罩在中转载台相对的位置开口，便于放入或取走晶圆盒。
[0012]本技术一实施例中，每个所述存储位内均设置有对射光电传感器，用于检测该存储位内是否放置有晶圆盒。
[0013]本技术的有益效果在于：本技术提供一种晶圆盒立体存储装置，相较于现有技术，本技术至少具有如下技术效果：设置环形立体的存储架，并在其上开设多个存储位用于放置晶圆存储盒，通过机械手实现环形存储架的自动存取，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，只需要增架机械手纵向的移动距离即可，显著增加了存储架的存储数量，人工只需要将晶圆盒放置在中转载台上，无需因为每次晶圆盒存放的位置不同在不同的位置跑动，降低了人工的工作强度，由机械手将晶圆盒放入存储架对应的存储盒之内，大大提高了生产的效率。通过在存储架的存储位设置传感器，以及在晶圆盒放置板上设置感应开关，用于判断该存储位或者晶圆盒放置板上是否存放有晶圆盒，便于机械手将晶圆盒准确放置到指定的位置。
附图说明
[0014]图1是本技术的一种晶圆盒立体存储装置内部结构示意图。
[0015]图2是图1中A
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A向的剖面结构示意图。
[0016]图3是本技术的一种晶圆盒立体存储装置机械手叉取晶圆盒的示意图。
[0017]图4是本技术的一种晶圆盒立体存储装置存储架的结构示意图。
[0018]图5是本技术的一种晶圆盒立体存储装置的外部结构示意图。
[0019]图6是中转载台安装转盘、晶圆放置板的示意图。
[0020]图7是转盘、晶圆放置板、第一电机的分立示意图。
[0021]图8是晶圆盒的结构示意图。
[0022]附图标号说明：1
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存储架，11
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存储位，12
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存取窗口，2
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机械手，21
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Z轴移动组件，22
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X轴移动组件，23
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取放叉，24
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旋转座，25
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第二电机，3
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晶圆盒，31
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定位块，4
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中转载台，41
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转盘，42
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晶圆盒放置板，43
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第一电机，44
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定位柱，5
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底座，6
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外罩。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步说明。
[0024]请参阅图1至图8，一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手2和存储架1，所述存储架1环绕所述机械手2设置，存储架1上设置有多个存储位11，用于放置晶圆盒3；所述存储架1的侧面开设有存取窗口12，所述存取窗口12处连接有中转载台4，所述机械手2可绕所述存储架1的中轴线转动，从所述中转载台4取晶圆盒3放置到对应的存储位11中，或者从所述存储位11取晶圆盒3放置到所述中转载台4上。人工将需要存放到存储架1上的晶圆盒3放置在中转载台4上，机械手2从中转载台4上取晶圆盒3，然后运转至存储架1对应的存储位11放入晶圆盒3，即可完成晶圆盒3的存储；反之，则机械手2运转至存储架1对应的存储位11取晶圆盒3，之后运转至存取窗口12处将取出的晶圆盒3放置到中转载台4上，等待人工取走。人工
只需要在固定位置进行上下料，存放至具体的位置由机械手2完成，大大降低了人工的工作强度，同时也大大提高了存储和取放的效率。设计成环形的存储架1有助于增加存储的数量，减少占用的面积，通过机械手2取放晶圆盒3，可以增加整个存储架1的高度，无需考虑人的身高因素，有助于存储量的进一步增加。存储位11阵列开设在存储架1上，避开存取窗口12。
[0025]请参阅图1至图3，本技术一实施例中，所述机械手2包括旋转座24，旋转座24由第二电机25驱动旋转，所述旋转座24本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，所述存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述机械手包括旋转座，所述旋转座上安装有Z轴移动组件，所述Z轴移动组件上安装有X轴移动组件，所述X轴移动组件上安装有取放叉，用于叉取、放置晶圆盒。3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述中转载台上设置有转盘，所述转盘上设置有晶圆盒放置板，用于放置晶圆盒，所述转盘由第一电机驱动。4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒立体存...

【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉宏，薛联金，杨大鹏，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：