一种晶圆盒立体存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。设置环形立体的存储架，并在其上开设多个存储位用于放置晶圆存储盒，通过机械手实现环形存储架的自动存取，人工只需要将晶圆存储盒放置在中转载台上即可，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，增加存储架的存储数量，自动化存储提高晶圆盒取放效率。自动化存储提高晶圆盒取放效率。自动化存储提高晶圆盒取放效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒立体存储装置


[0001]本技术涉及晶圆存储设备
，特别是一种晶圆盒立体存储装置。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路的制造中，半导体晶圆的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，并按照产品的生产工艺、环境要求、厂务要求等因素将工厂划分成数个生产区域。在制造过程中半成品必须在不同的生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内放置半成品，并且在生产物料的缓存区里安置用于存放半成品的存储货架，从而确保生产物料的正确快速流动，并且保证不会由于人为因素、设备或者厂务维修等突发状况，造成生产线缺料而停顿生产的重大事故发生。然后再通过传输手段，将“半成品”从上一个工段的生产区域自动传输到下一个工段的生产区域，为了在存放和运输的过程中保护晶圆，通常会将晶圆放置在专用的晶圆盒(晶圆卡塞)内，晶圆盒(晶圆卡塞)是专门用于存放晶圆片的器具。
[0003]但是现有的晶圆盒存储货架存取晶圆盒都是人工存取放，这样就使得存储货架的高度不能太高，不然存储不便可能造成坠落等的问题，导致空间利用率低，占用相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，所述存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述机械手包括旋转座，所述旋转座上安装有Z轴移动组件，所述Z轴移动组件上安装有X轴移动组件，所述X轴移动组件上安装有取放叉，用于叉取、放置晶圆盒。3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述中转载台上设置有转盘，所述转盘上设置有晶圆盒放置板，用于放置晶圆盒，所述转盘由第一电机驱动。4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒立体存...

【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉宏，薛联金，杨大鹏，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：