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本实用新型提供了一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中...
该专利属于厦门普诚半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门普诚半导体科技有限公司授权不得商用。

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