本申请提供了一种暖机片分配方法及装置，其中，该方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。的机台腔室。的机台腔室。
【技术实现步骤摘要】
一种暖机片分配方法及装置
[0001]本申请涉及芯片制造
，尤其涉及一种暖机片分配方法及装置。
技术介绍
[0002]在芯片制造的过程中会有一些机台EQP暂停工作，若需要重新启动该机台时，则需要用暖机片Season为机台及机台中的机台腔室Chamber进行暖机，以使机台达到一定状态后才可以继续工作。
[0003]现有技术中对机台腔室进行暖机时，工作人员手动将暖机片添加至需要暖机的机台腔室，从而可能导致机台腔室选择错误或者暖机片添加错误等问题，影响机台暖机进度，从而影响机台正常工作。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本申请的目的在于至少提供一种暖机片分配方法及装置，通过确定目标机台需要加工的待加工产品的加工步骤中是否包括未执行暖机操作，若包括未执行暖机操作则依据未执行暖机操作对应的暖机片种类及数量对未执行暖机操作对应的机台腔室分配暖机片，解决了现有技术中人工分配暖机片而导致的分配错误且分配效率低的技术问题，达到了提高暖机片分配准确率及提高分配效率的技术效果。
[0005]本申请主要包括以下几个方面：
[0006]第一方面，本申请实施例提供一种暖机片分配方法，方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。
[0007]可选地，所述在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片之前，所述方法还包括：统计待加工产品列表对应的至少一种目标暖机片及所述至少一种目标暖机片中每种目标暖机片的总数量；依据每种目标暖机片的总数量，在暖机片库中确定每种目标暖机片对应的目标暖机片盒。
[0008]可选地，依据每种目标暖机片的总数量，在暖机片库中确定每种目标暖机片对应的目标暖机片盒，包括：针对每种目标暖机片，筛选出装有该种目标暖机片且该种目标暖机片的数量大于或者等于该种目标暖机片的总数量的暖机片盒；将每种目标暖机片对应的所述暖机片盒按照该种目标暖机片的数量进行升序排列，将排列后的首个暖机片盒作为该种目标暖机片的目标暖机片盒。
[0009]可选地，在所述确定目标机台对应的待加工产品列表之前，所述方法还包括：确定
芯片制造厂中包含待加工产品列表的至少一个机台；将所述至少一个机台中未处于停机状态或维护状态的机台作为所述目标机台。
[0010]第二方面，本申请实施例还提供一种暖机片分配装置，装置包括：第一确定模块，用于确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；第二确定模块，用于针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；第三确定模块，用于若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；提取模块，用于在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；分配模块，用于将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。
[0011]可选地，装置还包括：统计模块，用于统计待加工产品列表对应的至少一种目标暖机片及所述至少一种目标暖机片中每种目标暖机片的总数量；第四确定模块，用于依据每种目标暖机片的总数量，在暖机片库中确定每种目标暖机片对应的目标暖机片盒。
[0012]可选地，第四确定模块，还用于针对每种目标暖机片，筛选出装有该种目标暖机片且该种目标暖机片的数量大于或者等于该种目标暖机片的总数量的暖机片盒；将每种目标暖机片对应的所述暖机片盒按照该种目标暖机片的数量进行升序排列，将排列后的首个暖机片盒作为该种目标暖机片的目标暖机片盒。
[0013]可选地，装置还包括：第五确定模块，用于确定芯片制造厂中包含待加工产品列表的至少一个机台；第六确定模块，用于将所述至少一个机台中未处于停机状态或维护状态的机台作为所述目标机台。
[0014]第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过所述总线进行通信，所述机器可读指令被所述处理器运行时执行上述第一方面或第一方面中任一种可能的实施方式中所述的暖机片分配方法的步骤。
[0015]第四方面，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面或第一方面中任一种可能的实施方式中所述的暖机片分配步骤。
[0016]本申请实施例提供的一种暖机片分配方法及装置，该方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。通过确定目标机台需要加工的待加工产品的加工步骤中是否包括未执行暖机操作，若包括未执行暖机操作则依据未执行暖机操作对应的暖机片种类及数量对未执行暖机操作对应的机台腔室分配暖机片，解决了现有技术中人工分配暖机片而导致的分配错误且分配效率低的技术问题，达到了提高分配准确率及提高分配效率技术效果。
[0017]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1示出了本申请实施例所提供的一种暖机片分配方法的流程图。
[0020]图2示出了本申请实施例所提供的另一种暖机片分配方法的流程图。
[0021]图3示出了本申请实施例所提供的一种暖机片分配装置的功能模块图。
[0022]图4示出了本申请实施例所提供的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种暖机片分配方法，其特征在于，所述方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片之前，所述方法还包括：统计待加工产品列表对应的至少一种目标暖机片及所述至少一种目标暖机片中每种目标暖机片的总数量；依据每种目标暖机片的总数量，在暖机片库中确定每种目标暖机片对应的目标暖机片盒。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述依据每种目标暖机片的总数量，在暖机片库中确定每种目标暖机片对应的目标暖机片盒，包括：针对每种目标暖机片，筛选出装有该种目标暖机片且该种目标暖机片的数量大于或者等于该种目标暖机片的总数量的暖机片盒；将每种目标暖机片对应的所述暖机片盒按照该种目标暖机片的数量进行升序排列，将排列后的首个暖机片盒作为该种目标暖机片的目标暖机片盒。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述确定目标机台对应的待加工产品列表之前，所述方法还包括：确定芯片制造厂中包含待加工产品列表的至少一个机台；将所述至少一个机台中未处于停机状态或维护状态的机台作为所述目标机台。5.一种暖机片分配装置，其特征在于，所述装置包括：第一确定模块，用于确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；第二确定模块，用于针对每个待加工产品，确定...
【专利技术属性】
技术研发人员：张超，戎迪，
申请(专利权)人：上海赛美特软件科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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