【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆挑选设备，特别是一种晶圆ng挑选机。
技术介绍
1、晶圆在生产过程中，晶圆切割完毕后并非每个晶圆都是合格品，例如出现叠晶、立晶、无背镀等不良现象，由于晶圆体积较小，现有通常利用人工在显微镜下进行对晶圆挑选，不便于人工挑选排出，为此我们提供一种晶圆ng挑选机来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种晶圆ng挑选机。
2、本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：
3、一种晶圆ng挑选机，包括机架，所述机架上安装有底座，所述底座的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组，所述二轴移动模组的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件，以及用于挑选的晶圆挑选装置和用于实时放大的显微组件所述晶圆挑选装置包括用于晶圆挑选的挑针，所述底座上表面安装设置有移动载台。
4、优选的，所述晶圆挑选装置包括固定安装在二轴移动模组动力输出端的微调位移平台，所述微调位移平台上安装有挑选组件，所述挑选组件包括所述微调位移平台动力输出端固定安装的挑选座，所述挑选座内部交叉开设有安装孔和吸取孔，所述安装孔内部设置有挑针，所述吸取孔外端部安装有吸取管，且吸取管通过气管连接有存储装置。
5、优选的，所述存储装置包括固定安装在用于安装的固定板，所述固定板上开设的通孔内设置有存储筒，所述存储筒外表面套设有可收缩和扩张的环套，且所述环套位于所述存储筒外表面和通孔内壁之间，所述固定板侧壁螺纹连接有定位螺栓，且定位螺栓端部延
6、优选的，所述显微组件包括固定安装在二轴移动模组动力输出端的安装板，所述安装板侧面安装有电子显微镜。
7、优选的，所述安装板侧面安装有旋转微调座，所述旋转微调座上安装有安装座，所述电子显微镜安装在安装座上。
8、优选的，所述移动载台包括安装在底座上表面的直线移动模组，所述直线移动模组上安装设置有dd马达，所述dd马达动力输出端设置有载台本体。
9、优选的，所述直线移动模组上还安装有对刀组件，所述对刀组件包括固定安装在所述直线移动模组上的立座，所述立座的一侧壁上固定安装有用于对刀的对刀仪，所述立座的另一侧壁上固定安装有对刀相机。
10、优选的，所述晶圆挑选装置包括固定安装在二轴移动模组动力输出端的微调位移平台，所述微调位移平台移动端固定安装有安装杆，所述安装杆底部气孔处连接有吸嘴，气孔另一端安装有连接管。
11、优选的，所述底座为大理石材质。
12、优选的，所述二轴移动模组动力输出端还固定安装有位移传感器。
13、本专利技术具有以下优点：
14、1、本专利技术通过二轴移动模组带动拍照组件移动至移动载台的上方对切割好的晶圆进行拍照，并通过处理器将得到的照片进行检测分析，从而判断次品晶圆和良品晶圆，判定后在显微组件实时放大的同时通过晶圆挑选装置对次品晶圆进行挑选，将次品晶圆挑选出去，与现有的人工用显微镜进行挑选的方式相比，效率更高，更加准确。
15、2、本专利技术在直线移动模组上安装的对刀组件对挑针的位置高度进行判定检测，防止因为高度不确定而导致挑针不能够达到预定位置，从而方便挑针对晶圆进行挑选。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆NG挑选机，包括机架（1），所述机架（1）上安装有底座（2），其特征在于：所述底座（2）的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组（3），所述二轴移动模组（3）的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件（4），以及用于挑选的晶圆挑选装置（5）和用于实时放大的显微组件（6），所述晶圆挑选装置（5）包括用于晶圆挑选的挑针（54），所述底座（2）上表面安装设置有移动载台（7）；
2.根据权利要求1所述的晶圆NG挑选机，其特征在于：所述存储装置（57）包括固定安装在用于安装的固定板（571），所述固定板（571）上开设的通孔内设置有存储筒（572），所述存储筒（572）外表面套设有可收缩和扩张的环套（573），且所述环套（573）位于所述存储筒（572）外表面和通孔内壁之间，所述固定板（571）侧壁螺纹连接有定位螺栓（574），且定位螺栓（574）端部延伸至通孔内。
3.根据权利要求1所述的晶圆NG挑选机，其特征在于：所述显微组件（6）包括固定安装在二轴移动模组（3）动力输出端的安装板（61），所述安装板（61）侧面安装有电子显微镜（64）。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆ng挑选机，包括机架（1），所述机架（1）上安装有底座（2），其特征在于：所述底座（2）的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组（3），所述二轴移动模组（3）的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件（4），以及用于挑选的晶圆挑选装置（5）和用于实时放大的显微组件（6），所述晶圆挑选装置（5）包括用于晶圆挑选的挑针（54），所述底座（2）上表面安装设置有移动载台（7）；
2.根据权利要求1所述的晶圆ng挑选机，其特征在于：所述存储装置（57）包括固定安装在用于安装的固定板（571），所述固定板（571）上开设的通孔内设置有存储筒（572），所述存储筒（572）外表面套设有可收缩和扩张的环套（573），且所述环套（573）位于所述存储筒（572）外表面和通孔内壁之间，所述固定板（571）侧壁螺纹连接有定位螺栓（574），且定位螺栓（574）端部延伸至通孔内。
3.根据权利要求1所述的晶圆ng挑选机，其特征在于：所述显微组件（6）包括固定安装在二轴移动模组（3）动力输出端的安装板（61），所述安装板（61）侧面安装有电子显微镜（64）。
4.根据权利要求3所述的晶圆ng挑选机，其特征在于：所述安装板（61）侧面安装有旋转微调座（62），所述旋转微调座（62）上安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：王志峰，刘利锋，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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