下载一种晶圆NG挑选机的技术资料

文档序号:40647222

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本发明公开了一种晶圆NG挑选机,包括机架,所述机架上安装有底座,所述底座的两个立柱之间的横梁上安装有二轴移动模组,所述二轴移动模组的动力输出端侧板上固定安装有用于拍照的拍照组件,以及用于挑选的晶圆挑选装置和用于实时放大的显微组件,所述底座上...
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