【技术实现步骤摘要】
一种仓储装置
[0001]本技术涉及半导体晶圆盒存放
，特别是一种仓储装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，OHT搬运系统需要对foup进行转运，由于OHT搬运系统对整条线中的各个foup或者其他部件进行转运，如果全部用来转运foup需要占用OHT搬运系统大量时间，使整体的转运效率大大折扣，为此我们提供一种仓储装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种仓储装置。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]一种仓储装置，包括两个固定连接的存取架，两个所述存取架上相互靠近的一侧均安装有若干存放板，两个所述存取架之间设置有升降行走装置，所述升降行走装置上设置有转运机构，其中一个存取架的外侧分别设置有第一移载装置和第二移载装置，所述第一移载装置位于第二移载装置的上方，所述第一移载装置和第二移载装置的联动用来存取晶圆盒。
[0006]优选的，所述升降行走装置包括位于两个存取架之间的行走导轨，所述行走导轨上可移动设置有...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种仓储装置，其特征在于：包括两个固定连接的存取架(1)，两个所述存取架(1)上相互靠近的一侧均安装有若干存放板(6)，两个所述存取架(1)之间设置有升降行走装置(4)，所述升降行走装置(4)上设置有转运机构(5)，其中一个存取架(1)的外侧分别设置有第一移载装置(2)和第二移载装置(3)，所述第一移载装置(2)位于第二移载装置(3)的上方，所述第一移载装置(2)和第二移载装置(3)的联动用来存取晶圆盒(7)。2.根据权利要求1所述的一种仓储装置，其特征在于：所述升降行走装置(4)包括位于两个存取架(1)之间的行走导轨(41)，所述行走导轨(41)上可移动设置有移动板(42)，所述移动板(42)上固定安装设置有侧板(43)，所述侧板(43)的侧面固定安装有升降导轨(45)，所述升降导轨(45)上滑动设置有升降架(47)；所述侧板(43)侧面上下两端均设置有链轮(48)，所述移动板(42)上还安装有第三电机(44)，且第三电机(44)动力输出端与位于下方的链轮(48)进行传动连接，两个所述链轮(48)上设置有链条(46)，且升降架(47)与链条(46)进行传动连接，所述转运机构(5)位于所述升降架(47)上。3.根据权利要求2所述的一种仓储装置，其特征在于：所述移动板(42)底面设置有两组动力机构(410)，所述动力机构(410)能够带动移动板(42)和侧板(43)在行走导轨(41)上移动，所述动力机构(410)包括移动板(42)底面固定连接的底架(4101)，所述底架(4101)内设置有滚动轮(4102)，所述底架(4101)一侧面安装设置第四电机(4103)，且所述第四电机(4103)动力输出端与滚动轮(4102)进行传动连接，所述底架(4101)的底部分别设置有横向限位轮(4104)和纵向限位轮(4105)，通过所述横向限位轮(4104)和纵向限位轮(4105)将底架(4101)限制在行走导轨(41)上从而不发生侧翻。4.根据权利要求2或3所述的一种仓储装置，其特征在于：所述移动板(42)上还设置有用于攀爬的攀爬架(49)。5.根据权利要求1所述的一种仓储装置，其特征在于：所述第一移载装置(2)和第二移载装置(3)结构相同，所述第一移载装置(2)包括固定安装在其中一个存取架(1)的外侧的存取安装架(21)，所述存取安装架(21)上表面两侧设置有限制晶圆盒(7)的限位板(22)，所述存取安装架(21)的内部安装有移动升降机构(23)，所述移动升降机构(23)包括用于晶圆盒(7)移动的移动机构(231)和升降的升降机构(232)以及安装在升降机构(232)上的承载板(233)。6.根据权利要求5所述的一种仓储装置，其特征在于：所述移动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉宏，薛联金，王志峰，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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