一种立体缓存设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立体缓存设备，包括存放架，所述存放架内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒的放置架，所述存放架的内壁固定安装有搬运晶圆盒的搬运装置，所述存放架的下方设置有放置台。本实用新型专利技术的有益效果是：通过搬运装置将位于放置台上的晶圆盒搬运至位与存放架固定连接的放置架上，从而实现对晶圆盒进行暂时缓存起来，当需要用到的时候再通过搬运装置将晶圆盒搬运至放置台上，从而实现自动存取，减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的时间，提高搬运效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种立体缓存设备


[0001]本技术涉及半导体晶圆盒存放
，特别是一种立体缓存设备。

技术介绍

[0002]在半导体产品生产过程中，需要使用OHT转运系统对产品在多个工序之间进行搬运，但是由于设备较多，全部需要OHT系统来搬运的话会增大其工作强度以及使用时间，所以需要一些缓存装置暂时将这些进行加工的产品进行存放来缓解OHT系统的占用时间，为此我们提供一种立体缓存设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种立体缓存设备。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]一种立体缓存设备，包括存放架，所述存放架内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒的放置架，所述存放架的内壁固定安装有搬运晶圆盒的搬运装置，所述存放架的下方设置有放置台。
[0006]优选的，所述搬运装置包括固定安装在存放架内壁两侧的安装板，每个所述安装板上均固定安装有第一直线运动模组，两个所述第一直线运动模组动力输出端之间固定安装有连接板，所述连接板侧面安装设置第二直线运动模组，所述第二直线运动模组动力输出端安装有搬运架。
[0007]优选的，所述搬运架包括与第二直线运动模组输出端连接的固定板，所述固定板上部侧面固定安装顶板，所述顶板底面的放置槽的底部边缘固定安装有承载板，位于放置槽内的所述承载板的上表面固定设置有多个第一定位销。
[0008]优选的，所述晶圆盒的上表面设置有与放置槽适配的转运板，所述转运板侧边开设有与第一定位销适配的定位口。
[0009]优选的，所述放置架包括与存放架固定连接的放置板，所述放置板的上表面固定安装设置有第二定位销，所述放置板的侧边固定连接有护板。
[0010]优选的，所述晶圆盒的底面开设有与第二定位销适配的定位槽。
[0011]优选的，所述放置台上表面也安装有与定位槽适配的第二定位销。
[0012]优选的，所述安装板侧面固定安装有若干个定位板，所述第一直线运动模组动力输出端侧面安装有与定位板适配的定位开关。
[0013]优选的，所述第二定位销呈三角分布。
[0014]优选的，所述定位槽呈腰型孔形。
[0015]本技术具有以下优点：
[0016]1、本技术通过搬运装置将位于放置台上的晶圆盒搬运至位与存放架固定连接的放置架上，从而实现对晶圆盒进行暂时缓存起来，当需要用到的时候再通过搬运装置将晶圆盒搬运至放置台上，从而实现自动存取，减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的
时间，提高搬运效率。
[0017]2、本技术通过在承载板上安装设置第一定位销使其与转运板上的定位口进行定位，防止在对晶圆盒搬运过程中发生相对移动，使搬运更加平稳。
[0018]3、本技术在放置板的上表面固定设置第二定位销以及在晶圆盒的底面设置与第二定位销适配的定位槽，能够在放置板放置的时候使晶圆盒完全固定在上面，防止晶圆盒发生相对移动而发生掉落。
附图说明
[0019]图1为本技术的晶圆盒放置状态下整体示意图。
[0020]图2为本技术的无晶圆盒放置状态下整体示意图。
[0021]图3为本技术的搬运装置示意图。
[0022]图4为本技术的搬运架结构示意图。
[0023]图5为本技术的晶圆盒整体示意图。
[0024]图6为本技术的放置架结构示意图。
[0025]图7为本技术的晶圆盒底面结构示意图。
[0026]图8为本技术的图3中A处放大结构示意图。
[0027]图中，1、存放架；2、搬运装置；21、安装板；22、第一直线运动模组；23、连接板；24、第二直线运动模组；25、搬运架；251、固定板；252、顶板；253、承载板；254、第一定位销；3、放置台；4、晶圆盒；5、放置架；51、放置板；52、第二定位销；53、护板；6、转运板；7、定位口；8、定位槽；9、定位开关；10、定位板。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0029]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0030]如图1—8所示的实施例：
[0031]一种立体缓存设备，包括存放架1，所述存放架1内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒4的放置架5，所述存放架1的内壁固定安装有搬运晶圆盒4的搬运装置2，所述存放架1的下方设置有放置台3。
[0032]参见图1和图2所述，在本实施例中，通过搬运装置2将位于放置台3上的晶圆盒4搬运至位与存放架1固定连接的放置架5上，从而实现对晶圆盒4进行暂时缓存起来，当需要用到的时候再通过搬运装置2将晶圆盒4搬运至放置台3上，从而实现自动存取，减少搬运系统的搬运路程从而减少占用的时间，提高搬运效率。
[0033]所述搬运装置2包括固定安装在存放架1内壁两侧的安装板21，每个所述安装板21
上均固定安装有第一直线运动模组22，两个所述第一直线运动模组22动力输出端之间固定安装有连接板23，所述连接板23侧面安装设置第二直线运动模组24，所述第二直线运动模组24动力输出端安装有搬运架25。
[0034]参见图3所示，两个第一直线运动模组22能够带动位于二者之间的连接板23和第二直线运动模组24进行上下运动，从而能够使位于搬运架25承接的晶圆盒4进行上下运动，由于搬运架25位于第二直线运动模组24的动力输出端，所以第二直线运动模组24能够带动搬运架25进行横向移动，通过第二直线运动模组24以及两个第一直线运动模组22之间的联动下能够带动搬运架25承载的晶圆盒4进行上下左右进行移动，第一直线运动模组22和第二直线运动模组24可以采用电机同步带组成的直线运动模组，也可以采用电机丝杆组成的直线运动模组，具体在本实施例中采用的是前者。
[0035]所述搬运架25包括与第二直线运动模组24输出端连接的固定板251，所述固定板251上部侧面固定安装顶板252，所述顶板252底面的放置槽的底部边缘固定安装有承载板253，位于放置槽内的所述承载板253的上表面固定设置有多个第一定位销254。
[0036]所述晶圆盒4的上表面设置有与放置槽适配的转运板6，所述转运板6侧边开设有与第一定位销254适配的定位口7。
[0037]参见图4和图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立体缓存设备，包括存放架(1)，其特征在于：所述存放架(1)内设置多个存放位，每个存放位边框固定安装有用于存放晶圆盒(4)的放置架(5)，所述存放架(1)的内壁固定安装有搬运晶圆盒(4)的搬运装置(2)，所述存放架(1)的下方设置有放置台(3)。2.根据权利要求1所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述搬运装置(2)包括固定安装在存放架(1)内壁两侧的安装板(21)，每个所述安装板(21)上均固定安装有第一直线运动模组(22)，两个所述第一直线运动模组(22)动力输出端之间固定安装有连接板(23)，所述连接板(23)侧面安装设置第二直线运动模组(24)，所述第二直线运动模组(24)动力输出端安装有搬运架(25)。3.根据权利要求2所述的一种立体缓存设备，其特征在于：所述搬运架(25)包括与第二直线运动模组(24)输出端连接的固定板(251)，所述固定板(251)上部侧面固定安装顶板(252)，所述顶板(252)底面的放置槽的底部边缘固定安装有承载板(253)，位于放置槽内的所述承载板(253)的上表面固定设置有多个第一定位销(254)。4.根据权利要求3所述的一种立体缓存设备，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉宏，薛联金，王志峰，
申请(专利权)人：厦门普诚半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：