硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺制造技术

本发明专利技术属于多晶硅技术领域，具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去，硅甲烷属特种气体，一般用于科学研究，需求量不大，目前，随着太阳能产业的迅猛发展，硅甲烷不仅提出了纯度的要求，而且需求量日益增大，传统小规模制取硅甲烷工艺操作复杂，成本高，生产效率低，反应放出的热不能及时散去造成工艺安全低下，且在原料流加中造成硅烷和氨的泄露，污染环境。本发明专利技术通过纯化制备硅甲烷气体，且对生产中产生的副产物进行综合回收，实现真正意义上的循环无污染生产。本发明专利技术能实现连续化生产，使自动化程度高，清洁无泄漏，安全可靠，操作方便，维护简单的硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于多晶硅
，具体涉及硅甲垸低温生产及副产物综合回收 工艺。
技术介绍
高纯度特种气体硅垸(SiH4)广泛应用于电子行业、太阳能电池、移动通 讯、汽车导航、航空航天、军事工业等方面。目前我国工业化只能生产3N 4N 的硅垸，在许多重要领域如电子行业，太阳能电池、航空航天等领域所急需的 6N及以上纯度的高纯硅烷气体大多只能依靠进口。现有的制取硅甲烷生产工艺 由于技术方面的原因，多采用小规模间歇式操作，操作复杂，成本较高，生产 效率低下，不能满足工业规模生产需要；还有一些硅烷生产工艺，虽然也采用 较大的釜式反应器进行较大规模生产硅垸，但由于反应是在-4(TC液氨环境中进 行，且反应放热，往往不能及时移去多余的热量，造成工艺安全性能低下；另 外，由于反应为连续操作，在原料流加过程中往往造成硅垸及氨的泄漏，既污 染环境又给生产带来安全隐患，最后，虽然一些硅烷制取工艺也采用了电控技 术，但自动关联程度不高，特别是当遇到紧急停电的情况是，釜内及氨冷机内 会出现憋压，对生产安全带来很大隐患。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能实现连续化生产、自动化程度高、清洁无泄漏、 安全可本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺，其特征在于采用两段工艺进行硅甲烷－４０℃条件下的低温生产纯化并进行副产物的综合回收；　　（１）反应提纯段：该段核心设备为反应釜（２５）、反应物料通过加料斗（２７）添加，反应产物通过氨回流冷凝器（２６）冷凝回流进行初步纯化、反应釜－４０℃低温环境冷量由双级氨冷机（２４）提供；　　（２）副产物回收段：该段核心设备为氯化镁干燥器（２９）、反应后得到的副产物在氯化镁干燥器（２９）后经过液固分离后，液氨进入液氨缓冲罐（３２）得到回收，剩余液固混合物经蒸发，蒸汽通过填料塔（３６）过滤后进入隔膜压缩机（３５）液化、经液氨冷凝器（３７）进入液氨储罐（３３）而得到回收。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范清春，郭建全，杨鹏，赵仕哲，郭浩，刘建锋，尚立伟，
申请(专利权)人：西安航天华威化工生物工程有限公司，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]