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本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去，硅甲烷属特种气体，一般用于科学研究，需求量不大，目前，随着太阳能产业的迅猛发展，硅甲烷不仅提出了纯度的要求，而且需求量日益增大，传统小规模制取硅甲烷工艺操作复杂，成...
该专利属于西安航天华威化工生物工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安航天华威化工生物工程有限公司授权不得商用。

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