一种等离子刻蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于等离子刻蚀技术领域，尤其为一种等离子刻蚀装置，包括主体，所述主体的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘。通过旋转限位环使其上下移动可经顶环带动导杆旋转，调整相邻导杆之间的夹持范围，此时即可直接将物料搁置于上端，操作简单可有效防止搁置槽的固定防止引起反应物堆积的同时，物料搁置稳定还可经复位弹簧带动导杆施加夹持力防止松动；通过下压拖盘使其搁置于主体的内部并经定位销定位后，可带动弹性三角块卡合连接于定位槽的内部形成预限位，进而拨动压环使限位卡块卡合连接于主体的内部并经弹性折板形成顶紧力防止松动，操作简单可通过此结构便捷对拖盘进行拆卸更换操作，保障后续使用时的稳定性能。保障后续使用时的稳定性能。保障后续使用时的稳定性能。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀装置


[0001]本技术属于等离子刻蚀
，具体涉及一种等离子刻蚀装置。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀，一种采用等离子的干法蚀刻技术。通常使用较高压力及较小的射频功率，芯片表面层原子或分子与等离子气氛中的活性原子接触并发生反应，形成气态生成物而离开晶面造成蚀刻。
[0003]原有的刻蚀过程中发现以下不足：
[0004]1、目前的刻蚀机往往通过拖盘搁置物料进行刻蚀，然而此时的拖盘其搁置槽颞部容易在刻蚀过程中堆积反应物，此时再将物料搁置内部就会与反应物接触影响整体的刻蚀效果降低质量；
[0005]2、目前的拖盘在长久使用后其表面会残余部分反应物，难以直接进行清理，进而影响后续的刻蚀效果。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种等离子刻蚀装置，为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种等离子刻蚀装置，具有可避免反应物堆积于一处以及可便捷更换拖盘的特点。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子刻蚀装置，包括主体，所述主体的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘，所述拖盘的上端设置有支座，所述支座的上外侧位置设置有可便捷调整夹持范围的导杆，所述支座的上端还设置有用于带动导杆旋转的顶环，所述支座的外侧位置设置有用于将顶环的下端限位的环座，所述顶环的下端设置有用于旋合连接于环座外侧的限位环，所述限位环的上端设置有用于与顶环连接的连杆。
[0008]作为本技术的一种等离子刻蚀装置优选技术方案，所述拖盘的下端靠近外侧位置设置有可向外拨动的压环，所述拖盘的下端靠近外侧位置还设置有用于与主体内部凸出机构连接形成限位的定位销。
[0009]作为本技术的一种等离子刻蚀装置优选技术方案，所述压环的内侧设置有用于与主体内部凸出机构外侧位置连接的弹性三角块，所述主体内部凸出机构的外侧位置开设有用于弹性三角块卡合连接的定位槽。
[0010]作为本技术的一种等离子刻蚀装置优选技术方案，所述压环的外侧设置有用于与拖盘的外壁连接并对压环形成顶紧作用力的弹性折板，所述压环的内侧靠近下端位置设置有用于与主体连接增加稳定性能的限位卡块。
[0011]作为本技术的一种等离子刻蚀装置优选技术方案，所述导杆的下端设置有用于与支座转动连接的环套。
[0012]作为本技术的一种等离子刻蚀装置优选技术方案，所述环套的两端外侧设置
有用于与支座的转轴连接并带动导杆自动复位形成夹紧力的复位弹簧。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]通过旋转限位环使其上下移动可经顶环带动导杆旋转，调整相邻导杆之间的夹持范围，此时即可直接将物料搁置于上端，操作简单可有效防止搁置槽的固定防止引起反应物堆积的同时，物料搁置稳定还可经复位弹簧带动导杆施加夹持力防止松动；
[0015]通过下压拖盘使其搁置于主体的内部并经定位销定位后，可带动弹性三角块卡合连接于定位槽的内部形成预限位，进而拨动压环使限位卡块卡合连接于主体的内部并经弹性折板形成顶紧力防止松动，操作简单可通过此结构便捷对拖盘进行拆卸更换操作，保障后续使用时的稳定性能。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0017]图1为本技术的主体内部部分结构示意图；
[0018]图2为本技术中的整体外观结构示意图；
[0019]图3为本技术中的拖盘上端部分结构示意图；
[0020]图4为本技术中的A部分局部放大结构示意图；
[0021]图5为本技术中的导杆与拖盘连接部分结构示意图；
[0022]图6为本技术中的环套与托盘连接部分结构示意图；
[0023]图中：1、主体；2、拖盘；3、支座；4、导杆；5、顶环；6、环座；7、限位环；8、连杆；9、压环；10、弹性三角块；11、定位槽；12、弹性折板；13、限位卡块；14、定位销；15、环套；16、复位弹簧。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例
[0026]请参阅图1
‑
6，本技术提供以下技术方案：一种等离子刻蚀装置，包括主体1，主体1的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘2，拖盘2的上端设置有支座3，支座3的上外侧位置设置有可便捷调整夹持范围的导杆4，支座3的上端还设置有用于带动导杆4旋转的顶环5，支座3的外侧位置设置有用于将顶环5的下端限位的环座6，顶环5的下端设置有用于旋合连接于环座6外侧的限位环7，限位环7的上端设置有用于与顶环5连接的连杆8，本实施例中环座6的外侧为螺纹结构。
[0027]具体的，拖盘2的下端靠近外侧位置设置有可向外拨动的压环9，拖盘2的下端靠近外侧位置还设置有用于与主体1内部凸出机构连接形成限位的定位销14，本实施例中压环9的下端外侧设置有拉环机构。
[0028]具体的，压环9的内侧设置有用于与主体1内部凸出机构外侧位置连接的弹性三角
块10，主体1内部凸出机构的外侧位置开设有用于弹性三角块10卡合连接的定位槽11，本实施例中弹性三角块10的上下两端为倾斜的导向结构。
[0029]具体的，压环9的外侧设置有用于与拖盘2的外壁连接并对压环9形成顶紧作用力的弹性折板12，压环9的内侧靠近下端位置设置有用于与主体1连接增加稳定性能的限位卡块13，本实施例中限位卡块13采用弹性橡胶机构。
[0030]具体的，导杆4的下端设置有用于与支座3转动连接的环套15。
[0031]具体的，环套15的两端外侧设置有用于与支座3的转轴连接并带动导杆4自动复位形成夹紧力的复位弹簧16，本实施例中复位弹簧16用于对导杆4施加作用力使其向内收缩。
[0032]本技术的工作原理及使用流程：本技术通过旋转设置于环座6外侧的限位环7使其上下移动，可经设置于环座6上端经连杆8连接限位的顶环5带动导杆4旋转，调整相邻导杆4之间的夹持范围，此时即可直接将物料搁置于上端，操作简单可有效防止搁置槽的固定防止引起反应物堆积的同时，物料搁置稳定还可经设置于导杆4下端环套15一侧的复位弹簧16带动导杆4施加夹持力防止松动；通过下压拖盘2使其搁置于主体1的内部并经拖盘2下端靠近外侧位置的定位销14定位后，可带动设置于拖盘2下端压环9内侧的弹性三角块10卡合连接于主体1内部凸出结构外侧的定位槽11内部形成预限位，进而拨动压环9使限位卡块13卡合连接于主体1的内部凸出结构的外侧内部，并经位于压环9外侧位置的弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀装置，其特征在于：包括主体(1)，所述主体(1)的内部设置有可便捷拆卸更换的拖盘(2)，所述拖盘(2)的上端设置有支座(3)，所述支座(3)的上外侧位置设置有可便捷调整夹持范围的导杆(4)，所述支座(3)的上端还设置有用于带动导杆(4)旋转的顶环(5)，所述支座(3)的外侧位置设置有用于将顶环(5)的下端限位的环座(6)，所述顶环(5)的下端设置有用于旋合连接于环座(6)外侧的限位环(7)，所述限位环(7)的上端设置有用于与顶环(5)连接的连杆(8)。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀装置，其特征在于：所述拖盘(2)的下端靠近外侧位置设置有可向外拨动的压环(9)，所述拖盘(2)的下端靠近外侧位置还设置有用于与主体(1)内部凸出机构连接形成限位的定位销(14)。3.根据权利要求2所述的一种等离子刻蚀装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彦章，于非非，
申请(专利权)人：沈阳麦科诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：