【技术实现步骤摘要】
本技术属于射频离子源，具体涉及一种射频离子源装置。
技术介绍
1、离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，射频离子源通过射频电离产生等离子体，再通过栅网电场加速，使正离子加速产生离子束；
2、经查公开(公告)号：cn210467753u公开了一种射频离子源装置，此技术中公开了“所述射频线圈螺旋缠绕于绝缘电离罩的外壁上，且两端通过射频感抗匹配网络与射频电源相连；所述绝缘底座与绝缘电离罩底部固定；所述离子源盖板盖在绝缘电离罩上方，离子源盖板上设有盖板通孔；所述绝缘电离罩的顶部开设有离子发射口；所述射频线圈的外侧套接有屏蔽罩；所述屏蔽罩的外侧螺旋缠绕有天线等技术方案，使得两边都是真空环境压差基本一致，从而不会因压差过大造成绝缘筒破碎的现象等技术效果”；
3、虽然该设计能够使得两边都是真空环境压差基本一致，从而不会因压差过大造成绝缘筒破碎的现象，但是射频离子源装置在进行工作的过程中，射频离子源装置容易受到外力而产生晃动或者发生偏移，进而使得射频离子源装置的射频效果；
4、为此，设计一种射频离子源装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种射频离子源装置，可以有效的吸收安装箱传导过来的力，进而削弱射频离子源本体产生的震动，大大削弱了射频离子源本体产生的震动，进而使得该装置的能够稳定的进行射频，减少了对射频离子源本体本身造成伤害，增加了射频离子源本体的使用寿命的特点。
2、为实现上述目的
3、所述缓震组件包括通过铰接轴a对称铰接在所述安装箱底面的缓冲杆以及通过铰接轴b铰接在所述缓冲杆表面远离所述安装箱一端的固定块和设置在所述底板上方靠近所述固定块一侧的阻尼器，且所述固定块和所述阻尼器的输出端固定连接。
4、作为本技术一种射频离子源装置优选的，所述底板上表面靠近所述阻尼器的一侧对称固定连接有缓冲箱，且所述阻尼器安装在所述缓冲箱表面靠近所述固定块的一侧，所述缓冲箱的内部设置有呈t型结构的缓冲块，所述缓冲箱内部靠近所述缓冲块的一侧开设有和所述缓冲块相匹配的滑槽，所述缓冲块和所述缓冲箱通过此滑槽滑动连接，所述缓冲箱和所述缓冲块之间固定连接有若干个弹簧。
5、作为本技术一种射频离子源装置优选的，两组所述缓冲箱之间靠近所述固定块的一侧固定连接有滑杆，且所述固定块内部靠近所述滑杆的一侧开设有和所述滑杆相匹配的贯通槽，所述固定块和所述滑杆通过此贯通槽滑动连接。
6、作为本技术一种射频离子源装置优选的，所述固定块底面靠近所述底板的一侧固定连接有导向块，所述底板内部靠近所述导向块的一侧开设有和所述导向块相匹配的导向槽，所述导向块和所述底板通过所述导向槽滑动连接。
7、作为本技术一种射频离子源装置优选的，还包括设置在所述安装箱内部的安装组件；
8、所述安装组件包括对称插设在所述基座内部的若干个插块以及固定连接在所述插块表面远离所述基座一侧呈t型结构的连接板和固定连接在所述连接板底端的螺套。
9、作为本技术一种射频离子源装置优选的，所述基座内部靠近所述插块的一侧开设有和所述插块相匹配的插槽，所述安装箱内部靠近所述螺套的一侧通过轴承转动连接有双向螺杆，所述螺套对称螺纹连接在所述双向螺杆的表面，所述安装箱内部靠近所述连接板的一侧开设有和所述连接板相匹配的限位槽，所述连接板和所述安装箱通过此限位槽滑动连接。
10、作为本技术一种射频离子源装置优选的，所述安装箱的表面一侧通过底座安装有电机，所述双向螺杆的一端贯穿所述安装箱的内侧，并延伸至所述安装箱的外侧，并与所述电机的输出端固定连接。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：在本申请上加入缓震组件，能够有效的吸收安装箱传导过来的力，进而削弱射频离子源本体产生的震动，大大削弱了射频离子源本体产生的震动，进而使得该装置的能够稳定的进行射频，减少了对射频离子源本体本身造成伤害，增加了射频离子源本体的使用寿命，与此同时加入了安装组件，能够简化了射频离子源本体的安装步骤，降低了工作人员的劳动强度，使得该装置的实用性大大增强。
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1.一种射频离子源装置，包括底板(1)以及设置在所述底板(1)上方的安装箱(13)和设置在所述安装箱(13)内部的基座(11)，所述基座(11)的上表面固定连接有射频离子源本体(12)，其特征在于：还包括设置在所述底板(1)和所述安装箱(13)之间的缓震组件(2)；
2.根据权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于：所述底板(1)上表面靠近所述阻尼器(26)的一侧对称固定连接有缓冲箱(21)，且所述阻尼器(26)安装在所述缓冲箱(21)表面靠近所述固定块(29)的一侧，所述缓冲箱(21)的内部设置有呈T型结构的缓冲块(22)，所述缓冲箱(21)内部靠近所述缓冲块(22)的一侧开设有和所述缓冲块(22)相匹配的滑槽，所述缓冲块(22)和所述缓冲箱(21)通过此滑槽滑动连接，所述缓冲箱(21)和所述缓冲块(22)之间固定连接有若干个弹簧(23)。
3.根据权利要求2所述的射频离子源装置，其特征在于：两组所述缓冲箱(21)之间靠近所述固定块(29)的一侧固定连接有滑杆(24)，且所述固定块(29)内部靠近所述滑杆(24)的一侧开设有和所述滑杆(24)相匹配的贯
4.根据权利要求3所述的射频离子源装置，其特征在于：所述固定块(29)底面靠近所述底板(1)的一侧固定连接有导向块(28)，所述底板(1)内部靠近所述导向块(28)的一侧开设有和所述导向块(28)相匹配的导向槽(27)，所述导向块(28)和所述底板(1)通过所述导向槽(27)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的射频离子源装置，其特征在于：还包括设置在所述安装箱(13)内部的安装组件(3)；
6.根据权利要求5所述的射频离子源装置，其特征在于：所述基座(11)内部靠近所述插块(38)的一侧开设有和所述插块(38)相匹配的插槽，所述安装箱(13)内部靠近所述螺套(31)的一侧通过轴承转动连接有双向螺杆(33)，所述螺套(31)对称螺纹连接在所述双向螺杆(33)的表面，所述安装箱(13)内部靠近所述连接板(36)的一侧开设有和所述连接板(36)相匹配的限位槽，所述连接板(36)和所述安装箱(13)通过此限位槽滑动连接。
7.根据权利要求6所述的射频离子源装置，其特征在于：所述安装箱(13)的表面一侧通过底座安装有电机(35)，所述双向螺杆(33)的一端贯穿所述安装箱(13)的内侧，并延伸至所述安装箱(13)的外侧，并与所述电机(35)的输出端固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种射频离子源装置，包括底板(1)以及设置在所述底板(1)上方的安装箱(13)和设置在所述安装箱(13)内部的基座(11)，所述基座(11)的上表面固定连接有射频离子源本体(12)，其特征在于：还包括设置在所述底板(1)和所述安装箱(13)之间的缓震组件(2)；
2.根据权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于：所述底板(1)上表面靠近所述阻尼器(26)的一侧对称固定连接有缓冲箱(21)，且所述阻尼器(26)安装在所述缓冲箱(21)表面靠近所述固定块(29)的一侧，所述缓冲箱(21)的内部设置有呈t型结构的缓冲块(22)，所述缓冲箱(21)内部靠近所述缓冲块(22)的一侧开设有和所述缓冲块(22)相匹配的滑槽，所述缓冲块(22)和所述缓冲箱(21)通过此滑槽滑动连接，所述缓冲箱(21)和所述缓冲块(22)之间固定连接有若干个弹簧(23)。
3.根据权利要求2所述的射频离子源装置，其特征在于：两组所述缓冲箱(21)之间靠近所述固定块(29)的一侧固定连接有滑杆(24)，且所述固定块(29)内部靠近所述滑杆(24)的一侧开设有和所述滑杆(24)相匹配的贯通槽，所述固定块(29)和所述滑杆(24)通过此贯通槽滑动连接。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨彦章，于非非，
申请(专利权)人：沈阳麦科诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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