一种功能材料生长单晶炉制造技术

技术编号:37523132 阅读:7 留言:0更新日期:2023-05-12 15:46
本实用新型专利技术公开了一种功能材料生长单晶炉,包括副炉和压紧环机构,所述副炉的底部安装有炉盖,且炉盖的外侧设置有压紧环机构,所述压紧环机构的底部设置有主炉,所述压紧环机构包括有粘合圈、连接柱和密封胶圈,所述压紧环机构的中部设置有密封胶圈,且密封胶圈的顶部安装有连接柱,所述连接柱的顶部安装有粘合圈。该功能材料生长单晶炉,使得连接柱通过密封胶圈与炉盖的紧密连接作用,连接柱可对炉盖施加压力,带动炉盖抬起,同时将粘合圈固定设置于连接柱的顶部,粘合圈可与U形锁架构相稳定粘合,从而使得U形锁架构可对密封胶圈施加提拉力,可使单晶炉炉盖开启完全脱离人工操作,保证工人生产操作环境安全。保证工人生产操作环境安全。保证工人生产操作环境安全。

【技术实现步骤摘要】
一种功能材料生长单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
,具体为一种功能材料生长单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,直拉法是运用熔体的冷凝结晶驱动原理,在固液界面处,通过熔体温度下降,将产生由液态转换成固态的相变化,为了生长质量合格的单晶硅棒,首先就要选择合乎技术要求的单晶炉,直拉单晶炉由立柱、主炉体、副炉体、隔离阀、升降机构等部分组成,副炉体主要用于取晶棒,副炉体与炉盖相连接,但副炉体与炉盖的开启目前都是依靠人力进行的,人工劳动成本加大。
[0003]市场上的单晶炉炉盖与副炉体的开启大多依靠人力来进行,且炉盖与主炉体的密封性机较差,影响晶体生成生长,晶体生长过程中人工劳动力耗损严重,降低生产效率,为此,我们提供一种功能材料生长单晶炉。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种功能材料生长单晶炉,以解决上述
技术介绍
中提出的市场上的单晶炉炉盖与副炉体的开启大多依靠人力来进行,且炉盖与主炉体的密封性机较差,影响晶体生成生长,晶体生长过程中人工劳动力耗损严重,降低生产效率的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种功能材料生长单晶炉,包括副炉和压紧环机构,所述副炉的底部安装有炉盖,且炉盖的外侧设置有压紧环机构,所述压紧环机构的底部设置有主炉,所述压紧环机构的顶部一侧设置有U形锁架构,且U形锁架构的底侧中部设置有支撑柱机构,所述压紧环机构包括有粘合圈、连接柱和密封胶圈,所述压紧环机构的中部设置有密封胶圈,且密封胶圈的顶部安装有连接柱,所述连接柱的顶部安装有粘合圈。
[0006]进一步的,所述压紧环机构与U形锁架构相贴合,且U形锁架构与支撑柱机构之间为活动连接。
[0007]进一步的,所述密封胶圈与连接柱相贴合,且连接柱通过密封胶圈与炉盖构成收紧连接结构。
[0008]进一步的,所述支撑柱机构包括有连通孔、升降柱和液压组件,所述支撑柱机构的中部设置有升降柱,且升降柱的顶侧中部开设有连通孔,所述升降柱的底侧安装有液压组件。
[0009]进一步的,所述液压组件与升降柱之间为固定连接,且升降柱通过液压组件带动进行升降活动。
[0010]进一步的,所述U形锁架构包括有锁紧环、锁架和固定杆,所述U形锁架构的中部设置有锁紧环,且锁紧环的两侧安装有锁架,所述锁架的中部设置有固定杆。
[0011]进一步的,所述锁架与固定杆之间为活动连接,且固定杆可贯穿连通于锁架和锁
紧环的中部。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该功能材料生长单晶炉使得连接柱通过密封胶圈与炉盖的紧密连接作用,连接柱可对炉盖施加压力,带动炉盖抬起,同时将粘合圈固定设置于连接柱的顶部,粘合圈可与U形锁架构相稳定粘合,从而使得U形锁架构可对密封胶圈施加提拉力,可使单晶炉炉盖开启完全脱离人工操作,保证工人生产操作环境安全。
[0013]1.本技术使得U形锁架构与支撑柱机构顶部位置稳定进行连接,紧接着在升降柱的对应底部稳定设置有液压组件,液压组件的配套设置有液压气缸,液压组件受力带动升降柱进行升降活动,U形锁架构跟随支撑柱机构的升降位置进行活动,给单晶炉炉体开启提供辅助外力结构。
[0014]2.本技术使得支撑柱机构可带动U形锁架构对压紧环机构提供提拉压力,从而带动炉盖开启,形成机械化运行操作,提高生产效率。
附图说明
[0015]图1为本技术立体结构示意图;
[0016]图2为本技术压紧环机构的内部结构示意图;
[0017]图3为本技术支撑柱机构的内部结构示意图;
[0018]图4为本技术U形锁架构的内部结构示意图。
[0019]图中:1、副炉;2、压紧环机构;201、粘合圈;202、连接柱;203、密封胶圈;3、炉盖;4、主炉;5、支撑柱机构;501、连通孔;502、升降柱;503、液压组件;6、U形锁架构;601、锁紧环;602、锁架;603、固定杆。
具体实施方式
[0020]如图1

2所示,本技术提供一种技术方案:一种功能材料生长单晶炉,包括副炉1和压紧环机构2,副炉1的底部安装有炉盖3,且炉盖3的外侧设置有压紧环机构2,压紧环机构2的底部设置有主炉4,压紧环机构2的顶部一侧设置有U形锁架构6,且U形锁架构6的底侧中部设置有支撑柱机构5,压紧环机构2包括有粘合圈201、连接柱202和密封胶圈203,压紧环机构2的中部设置有密封胶圈203,且密封胶圈203的顶部安装有连接柱202,连接柱202的顶部安装有粘合圈201,根据以往单晶体装置模块相同,将炉盖3贴合安装于副炉1的底部,另外在炉盖3的外侧贴合设置有压紧环机构2,压紧环机构2的中部包括有密封胶圈203,使用者在安装时,密封胶圈203可紧密与炉盖3进行连接,同时根据密封胶圈203的紧固弹性作用,既可将炉盖3与主炉4的开合连接处填紧,进一步增强两者的连接密封性,又可使得连接柱202通过密封胶圈203与炉盖3的紧密连接作用,连接柱202可对炉盖3施加压力,带动炉盖3抬起,同时将粘合圈201固定设置于连接柱202的顶部,粘合圈201可与U形锁架构6相稳定粘合,从而使得U形锁架构6可对密封胶圈203施加提拉力,可使单晶炉炉盖开启完全脱离人工操作,保证工人生产操作环境安全。
[0021]如图3所示,本技术提供一种技术方案:一种功能材料生长单晶炉,支撑柱机构5包括有连通孔501、升降柱502和液压组件503,支撑柱机构5的中部设置有升降柱502,且升降柱502的顶侧中部开设有连通孔501,升降柱502的底侧安装有液压组件503,将支撑柱
机构5固定安装于副炉1与主炉4的一侧,升降柱502为支撑柱机构5的支撑主体,将连通孔501连通设置于升降柱502的顶侧中部,可使U形锁架构6中的贯穿连接部件穿入进连通孔501内部,从而使得U形锁架构6与支撑柱机构5顶部位置稳定进行连接,紧接着在升降柱502的对应底部稳定设置有液压组件503,液压组件503的配套设置有液压气缸,液压组件503受力带动升降柱502进行升降活动,U形锁架构6跟随支撑柱机构5的升降位置进行活动,给单晶炉炉体开启提供辅助外力结构。
[0022]如图4所示,本技术提供一种技术方案:一种功能材料生长单晶炉,U形锁架构6包括有锁紧环601、锁架602和固定杆603,U形锁架构6的中部设置有锁紧环601,且锁紧环601的两侧安装有锁架602,锁架602的中部设置有固定杆603,将锁紧环601固定设置为U形锁架构6与压紧环机构2相组装的连接部件,锁紧环601可稳定贴合组装于压紧环机构2的顶部外侧,同时将锁架602固定焊接于锁紧环601的两侧,将固定杆603贯穿设置于锁架602和锁紧环601的中部,可便使用者在组装时,锁架602环绕于支撑柱机构5的顶部外侧,固定杆603可同时穿过于支撑柱机构5的顶侧中部,从而使本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功能材料生长单晶炉,包括副炉(1)和压紧环机构(2),其特征在于;所述副炉(1)的底部安装有炉盖(3),且炉盖(3)的外侧设置有压紧环机构(2),所述压紧环机构(2)的底部设置有主炉(4),所述压紧环机构(2)的顶部一侧设置有U形锁架构(6),且U形锁架构(6)的底侧中部设置有支撑柱机构(5),所述压紧环机构(2)包括有粘合圈(201)、连接柱(202)和密封胶圈(203),所述压紧环机构(2)的中部设置有密封胶圈(203),且密封胶圈(203)的顶部安装有连接柱(202),所述连接柱(202)的顶部安装有粘合圈(201)。2.根据权利要求1所述的一种功能材料生长单晶炉,其特征在于:所述压紧环机构(2)与U形锁架构(6)相贴合,且U形锁架构(6)与支撑柱机构(5)之间为活动连接。3.根据权利要求1所述的一种功能材料生长单晶炉,其特征在于:所述密封胶圈(203)与连接柱(202)相贴合,且连接柱(202)通过密封胶圈(203)与炉盖(3)构成收紧连接结构。4.根据权利要求1所述的一种功能材料...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨彦章于非非
申请(专利权)人:沈阳麦科诺科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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