一种中和器安拆结构制造技术

本实用新型专利技术属于中和器技术领域，尤其为一种中和器安拆结构，包括真空腔室以及安装在所述真空腔室一侧的离子源主体和固定在所述真空腔室上呈对排列的两组电动推杆，所述真空腔室的内侧壁靠近所述电动推杆一侧固定有支撑架，所述电动推杆和所述支撑架之间设置有中和器主体，所述电动推杆和所述支撑架上安装有安拆组件，所述中和器主体包括分别设置在所述电动推杆和所述支撑架一端的安装座以及固定在所述安装座上表面的固定板和设置在所述固定板上的插杆，通过设置了安拆组件，能够便于快速的对中和器主体进行安装拆卸维护，操作简单，提高工作效率以及使用效果，满足实际使用需求

【技术实现步骤摘要】
一种中和器安拆结构


[0001]本技术属于中和器
，具体涉及一种中和器安拆结构
。

技术介绍

[0002]随着现代工业的发展，目前的离子源主要采用正离子源，即通过不同的电离原理把气体电离成离子，然后采用引束系统把正离子引出，形成具有一定能量的束流
。
在这些领域的离子源应用中，需要的是中性的等离子体束流，而不是带正电或负电的束流，因此，在离子源系统中需要增加一个中和器，用于发射电子并与离子束流形成正负电荷相同的等离子体束流，从而应用于所需要的刻蚀
、
镀膜或加工；
[0003]经查公开
(
公告
)
号；
CN211719555U
公开了一种可调式离子源用中和器，此技术中公开了“包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动伸缩杆的伸缩端等技术方案，具有避免受离子束强烈轰击，寿命长；通过气动伸缩杆推拉动中和器的下端，进而调整中和器的角度位置，提高中和的效率等技术效果”；
[0004]上述设计在使用时，虽然避免受离子束强烈轰击，寿命长；通过气动伸缩杆推拉动中和器的下端，进而调整中和器的角度位置，提高中和的效率，但是在对离子源中和器进行拆卸维护时，操作繁琐，不便于快速进行安装拆卸，降低此装置的使用效果；
[0005]为解决上述问题，本申请中提出一种中和器安拆结构
。

技术实现思路

[0006]为解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
本技术提供了一种中和器安拆结构，具有能够便于快速的对中和器主体进行安装拆卸维护，操作简单，提高工作效率以及使用效果，满足实际使用需求的特点
。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种中和器安拆结构，包括真空腔室以及安装在所述真空腔室一侧的离子源主体和固定在所述真空腔室上呈对排列的两组电动推杆，所述真空腔室的内侧壁靠近所述电动推杆一侧固定有支撑架，所述电动推杆和所述支撑架之间设置有中和器主体，所述电动推杆和所述支撑架上安装有安拆组件；
[0008]所述中和器主体包括分别设置在所述电动推杆和所述支撑架一端的安装座以及固定在所述安装座上表面的固定板和设置在所述固定板上的插杆，所述插杆的顶端固定有挡盘，所述挡盘和所述固定板之间固定有压缩弹簧，所述中和器主体的表面开设有与所述插杆相适配的插槽
。
[0009]作为本技术一种中和器安拆结构优选的，所述电动推杆的输出端和其中一组所述安装座铰接，所述支撑架的靠近所述中和器主体的一端铰接有滑轨，且滑轨和另一组所述安装座固定连接，所述压缩弹簧绕设在所述插杆的表面，所述固定板的表面靠近所述插杆的一侧开设有与所述插杆相互配的通槽，所述插杆和所述固定板通过此通槽滑动连
接
。
[0010]作为本技术一种中和器安拆结构优选的，所述安装座的内侧壁粘接有防护垫
。
[0011]作为本技术一种中和器安拆结构优选的，所述插杆远离所述挡盘的一端固定有锥形块
。
[0012]作为本技术一种中和器安拆结构优选的，还包括按安装在所述挡盘上的辅助组件，所述辅助组件包括设置在两组所述挡盘之间的拉板以及固定在所述挡盘下表面的定位柱
。
[0013]作为本技术一种中和器安拆结构优选的，所述固定板的表面开设有与所述定位柱相适配的滑槽，所述定位柱和所述固定板通过所述滑槽滑动连接，所述挡盘远离所述插杆一侧通过轴承转动连接在所述拉板的表面
。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]通过设置了安拆组件，能够便于快速的对中和器主体进行安装拆卸维护，操作简单，提高工作效率以及使用效果，满足实际使用需求，并且在此机构上加入了辅助组件，能够同时拉动两组插杆进行移动，而且在对插杆在插槽移出后，能够进行位置锁定，进一步提高装置的使用效果
。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制
。
在附图中：
[0017]图1为本技术整体的结构示意图；
[0018]图2为本技术中真空腔室的结构剖视图；
[0019]图3为本技术中安拆组件的结构示意图；
[0020]图4为本技术中插杆和锥形块等连接件的结构示意图；
[0021]图中：
[0022]1、
真空腔室；
2、
离子源主体；
3、
电动推杆；
4、
支撑架；
5、
中和器主体；
[0023]6、
安拆组件；
61、
安装座；
62、
固定板；
63、
插杆；
64、
压缩弹簧；
65、
挡盘；
66、
插槽；
67、
锥形块；
68、
防护垫；
[0024]7、
辅助组件；
71、
拉板；
72、
定位柱；
73、
滑槽
。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0026]实施例1[0027]如图1所示：
[0028]一种中和器安拆结构，包括真空腔室1以及安装在真空腔室1一侧的离子源主体2和固定在真空腔室1上呈对排列的两组电动推杆3，真空腔室1的内侧壁靠近电动推杆3一侧
固定有支撑架4，电动推杆3和支撑架4之间设置有中和器主体
5。
[0029]本实施方案中：现有的装置
{
公开
(
公告
)
号
}
：
CN211719555U
公开了一种可调式离子源用中和器，关于此现有的主体本申请进行进一步改进，详情参阅下文公开技术；为解决此现有技术中存在的技术问题，如上文
技术介绍
公开的“该上述设计在使用时，虽然避免受离子束强烈轰击，寿命长；通过气动伸缩杆推拉动中和器的下端，进而调整中和器的角度位置，提高中和的效率，但是在对离子源中和器进行拆卸维护时，操作繁琐，不便于快速进行安装拆卸，降低此装置的使用效果”，结合使用而言，此问题显然是现实存在且比较难以解决的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种中和器安拆结构，包括真空腔室
(1)
以及安装在所述真空腔室
(1)
一侧的离子源主体
(2)
和固定在所述真空腔室
(1)
上呈对排列的两组电动推杆
(3)
，所述真空腔室
(1)
的内侧壁靠近所述电动推杆
(3)
一侧固定有支撑架
(4)
，所述电动推杆
(3)
和所述支撑架
(4)
之间设置有中和器主体
(5)
，其特征在于：所述电动推杆
(3)
和所述支撑架
(4)
上安装有安拆组件
(6)
；所述中和器主体
(5)
包括分别设置在所述电动推杆
(3)
和所述支撑架
(4)
一端的安装座
(61)
以及固定在所述安装座
(61)
上表面的固定板
(62)
和设置在所述固定板
(62)
上的插杆
(63)
，所述插杆
(63)
的顶端固定有挡盘
(65)
，所述挡盘
(65)
和所述固定板
(62)
之间固定有压缩弹簧
(64)
，所述中和器主体
(5)
的表面开设有与所述插杆
(63)
相适配的插槽
(66)。2.
根据权利要求1所述的中和器安拆结构，其特征在于：所述电动推杆
(3)
的输出端和其中一组所述安装座
(61)
铰接，所述支撑架
(4)
的靠近所述中和器主体
(5)

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彦章，于非非，
申请(专利权)人：沈阳麦科诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：