本发明专利技术涉及离子注入机技术，用于解决离子源固定机构拆卸耗费时间，固定结构易遗失，拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题，具体为一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板；本发明专利技术通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查，通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使对离子源的拆卸时间得到缩短，且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失的情况。况。况。
【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机用离子源固定机构
[0001]本专利技术涉及离子注入机技术，具体为一种离子注入机用离子源固定机构。
技术介绍
[0002]离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件；
[0003]现有技术中，在进行对离子源的维护操作时，需依次进行模块板二上对离子源进行限定的固定机构上松紧螺栓的拆卸，为保证离子源的稳定性，固定机构多采用多个松紧螺栓进行限定，多个松紧螺栓的依次拆卸和安装花费较多的时间，且拆卸下的松紧螺栓因尺寸较小易发生遗失的情况；工作人员在对离子源进行拆卸维护的过程中，需先将与离子源固定机构连接的连接线进行逐一解除，连接线的数量较多，导致解除后的连接线占用空间较大，影响工作人员维护工作的顺利进行，且完成维护后，数量众多的连接线重新安装易发生差错，导致离子注入机设备无法正常进行工作；
[0004]针对上述技术问题，本申请提出一种解决方案。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就在于通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查，通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使对离子源的拆卸时间得到缩短，且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失，解决离子源固定机构拆卸耗费时间，固定结构易遗失，拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题，而提出一种离子注入机用离子源固定机构。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0007]一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板，所述旋转底板外侧壁一侧安装有模块板一，所述旋转底板外侧壁靠近所述模块板一一侧安装有模块板二，所述旋转底板外侧壁靠近所述模块板二一侧安装有模块板三，所述旋转底板外侧壁对应连接线位置处安装有滑动架，所述滑动架外侧壁两侧安装有限位挡板，所述滑动架外侧壁滑动连接有接头板，所述接头板外侧壁安装有若干个均匀分布的连线接头，连接线外侧壁套设有若干个均匀分布的捆扎节，所述旋转底板外侧壁靠近所述滑动架一侧安装有调节板，所述调节板外侧壁两侧开设有滑动槽，所述调节板外侧壁对应所述滑动槽一侧滑动连接有上滑动块，所述调节板外侧壁对应所述滑动槽另一侧滑动连接有下滑动块，所述上滑动块和所述下滑动块上表面转动连接有转动框，所述调节板外侧壁中间位置处转动连接有同步插板。
[0008]作为本专利技术的一种优选实施方式，同步插板上表面中间位置处转动连接有复位齿
轮，所述下滑动块外侧壁套设有降速插杆，所述旋转底板外侧壁对应所述降速插杆位置处安装有降速箱，降速箱内部填充有非牛顿流体，所述旋转底板外侧壁对应所述复位齿轮位置处设置有调节机构一。
[0009]作为本专利技术的一种优选实施方式，旋转底板外侧壁靠近所述模块板三下方安装有调温箱，所述调温箱外侧壁一侧安装有驱动电机，驱动电机输出端连接有驱动转轴，所述驱动转轴外侧壁中间位置处连接有旋转磁铁，所述调温箱内部对应所述旋转磁铁上下两侧均安装有固定磁铁，所述固定磁铁外侧壁远离所述旋转磁铁的一侧套设有套设环管，所述套设环管外侧壁两侧一体成型有传输管，所述驱动转轴外侧壁一侧安装有两个制热箱，所述驱动转轴外侧壁另一侧安装有两个制冷箱，所述制热箱和所述制冷箱内部对应所述驱动转轴位置处安装有转动板。
[0010]作为本专利技术的一种优选实施方式，制冷箱和所述制热箱外侧壁均安装有支撑框架，所述支撑框架外侧壁转动连接有往复丝杠，所述往复丝杠外侧壁上下两侧滑动连接有往复板，所述往复丝杠上端安装有往复转轮，所述支撑框架外侧壁靠近所述往复丝杠一侧安装有伸缩软管，所述支撑框架外侧壁对应所述伸缩软管位置处安装有限位杆。
[0011]作为本专利技术的一种优选实施方式，往复转轮外侧壁一侧通过调节机构二传动连接有驱动转轮，所述旋转底板外侧壁对应所述模块板二位置处安装有升降框架，所述旋转底板外侧壁对应所述升降框架外侧中间位置处安装有限位板，所述升降框架外侧壁四个拐角位置处转动连接有传动转轮，所述传动转轮上表面中间位置处开设有六角孔，所述传动转轮和所述驱动转轮外侧连接有传动齿带，所述升降框架下表面中间位置处一体成型有卡位框架，所述传动转轮下表面对应所述卡位框架位置处安装有松紧螺栓。
[0012]作为本专利技术的一种优选实施方式，调节机构二包括调节转轮一，所述调节转轮一外侧壁一侧设有调节转轮二，所述调节转轮二外侧壁一侧设有调节转轮三，所述调节转轮一、所述调节转轮二和所述调节转轮三通过传动带传动连接，所述调节转轮二外侧壁通过连接框架连接有电动推杆，调节机构一与调节机构二的结构相同。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0014]1、通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查；
[0015]2、通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使对离子源的拆卸时间得到缩短，且拆卸下的松紧螺栓受到卡位框架的限制不会发生遗失的情况。
附图说明
[0016]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0017]图1为本专利技术的主体结构图；
[0018]图2为本专利技术的调节板结构图；
[0019]图3为本专利技术的降速插杆结构图；
[0020]图4为本专利技术的旋转磁铁结构图；
[0021]图5为本专利技术图4的A部放大结构图；
[0022]图6为本专利技术的调节机构二结构图；
[0023]图7为本专利技术的升降框架结构图；
[0024]图中：1、旋转底板；2、模块板一；3、模块板二；4、模块板三；51、限位挡板；52、滑动架；53、接头板；54、捆扎节；55、上滑动块；56、转动框；57、调节板；58、复位齿轮；59、滑动槽；510、同步插板；511、下滑动块；512、连线接头；513、降速插杆；61、调温箱；62、传输管；63、驱动转轴；64、制热箱；65、旋转磁铁；66、套设环管；67、固定磁铁；68、制冷箱；69、支撑框架；610、转动板；611、往复转轮；612、往复板；613、限位杆；614、往复丝杠；615、伸缩软管；71、升降框架；72、传动齿带；73、传动转轮；74、限位板；75、六角孔；76、驱动转轮；77、松紧螺栓；78、卡位框架；81、调节机构一；82、调节机构二；821、调节转轮一；822、调节转轮二；823、传动带；824、调节转轮三。
具体实施方式
[0025]下面将结本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板(1)，所述旋转底板(1)外侧壁一侧安装有模块板一(2)，所述旋转底板(1)外侧壁靠近所述模块板一(2)一侧安装有模块板二(3)，所述旋转底板(1)外侧壁靠近所述模块板二(3)一侧安装有模块板三(4)，其特征在于，所述旋转底板(1)外侧壁对应连接线位置处安装有滑动架(52)，所述滑动架(52)外侧壁两侧安装有限位挡板(51)，所述滑动架(52)外侧壁滑动连接有接头板(53)，所述接头板(53)外侧壁安装有若干个均匀分布的连线接头(512)，连接线外侧壁套设有若干个均匀分布的捆扎节(54)，所述旋转底板(1)外侧壁靠近所述滑动架(52)一侧安装有调节板(57)，所述调节板(57)外侧壁两侧开设有滑动槽(59)，所述调节板(57)外侧壁对应所述滑动槽(59)一侧滑动连接有上滑动块(55)，所述调节板(57)外侧壁对应所述滑动槽(59)另一侧滑动连接有下滑动块(511)，所述上滑动块(55)和所述下滑动块(511)上表面转动连接有转动框(56)，所述调节板(57)外侧壁中间位置处转动连接有同步插板(510)。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源固定机构，其特征在于，所述同步插板(510)上表面中间位置处转动连接有复位齿轮(58)，所述下滑动块(511)外侧壁套设有降速插杆(513)，所述旋转底板(1)外侧壁对应所述降速插杆(513)位置处安装有降速箱，降速箱内部填充有非牛顿流体，所述旋转底板(1)外侧壁对应所述复位齿轮(58)位置处设置有调节机构一(81)。3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源固定机构，其特征在于，所述旋转底板(1)外侧壁靠近所述模块板三(4)下方安装有调温箱(61)，所述调温箱(61)外侧壁一侧安装有驱动电机，驱动电机输出端连接有驱动转轴(63)，所述驱动转轴(63)外侧壁中间位置处连接有旋转磁铁(65)，所述调温箱(61)内部对应所述旋转磁铁(65)上下两侧均安装有固定磁铁(67)，所述固定磁铁(67)外侧壁远离所述旋转磁铁(65)的一侧套设有套设环管(66)，所述套设环管(66)外侧壁两侧一体成型有传输管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙小冬，王维，宋振海，
申请(专利权)人：无锡翔域半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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