下载一种中和器安拆结构的技术资料

文档序号:39871672

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本实用新型属于中和器技术领域,尤其为一种中和器安拆结构,包括真空腔室以及安装在所述真空腔室一侧的离子源主体和固定在所述真空腔室上呈对排列的两组电动推杆,所述真空腔室的内侧壁靠近所述电动推杆一侧固定有支撑架,所述电动推杆和所述支撑架之间设置有...
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