一种单晶炉用石英加料器制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种单晶炉用石英加料器，包括单晶炉炉体，单晶炉炉体的内部侧壁上安装石英加料管，石英加料管用于储存待添加的物料，石英加料管的底部设置有控制器下料的下料阀；石英加料管中部左右两侧均设有外扩部，外扩部内为中空结构，石英加料管内安装分料器，分料器将石英加料管分为上下两个供料腔。本实用新型专利技术中通过在石英加料管中部设置外扩部以及分料器，在两者配合作用下，能将石英加料管分为两个部分储存物料，并且对单晶炉加料时能分两次进行，实现二次加料，增加了单晶炉的使用效率。增加了单晶炉的使用效率。增加了单晶炉的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用石英加料器


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，具体涉及一种单晶炉用石英加料器。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。经检索，中国专利公开了一种种单晶炉用石英加料器(授权号：CN218115668U)，其包括石英筒，其上部连有上石英法兰和上四氟法兰、中部连有中石英法兰和下四氟法兰；上石英法兰的上表面与石英筒的上沿齐平，上四氟法兰的外径大于上石英法兰的外径，且其上连有四氟横梁；下四氟法兰为锥形圆环结构，其横截面由上至下逐渐增大，且其上表面的外径不小于中石英法兰的外径；石英筒的下部设有加厚筒壁，加厚筒壁与其上方的筒壁之间通过平滑斜面过渡连接。本技术的优点是降低石英筒制作成本和石英法兰碎裂风险，有效控制四氟法兰滑脱的风险，提高工作效率，避免安全事故发生。
[0003]上述专利解决了现有法兰制作成本高的问题，对于现在的单晶炉，还存在着其他问题，比如，单晶炉用加料器在加料时，为保持炉内气压和稳定不能打开进行二次加料，降低了单晶炉的使用效率。因此，本领域技术人员提供了一种单晶炉用石英加料器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种单晶炉用石英加料器，包括单晶炉炉体，单晶炉炉体的内部侧壁上安装石英加料管，石英加料管用于储存待添加的物料，石英加料管的底部设置有控制器下料的下料阀；
[0005]石英加料管中部左右两侧均设有外扩部，外扩部内为中空结构，石英加料管内安装分料器，分料器将石英加料管分为上下两个供料腔。
[0006]优选的：两个所述外扩部内壁之间的距离大于石英加料管左右内侧壁之间的距离。
[0007]优选的：所述石英加料管上部一侧安装有进料管，进料管顶部设置管盖。
[0008]优选的：所述下料阀包括伸缩杆，伸缩杆的上端固定在单晶炉炉体上，其下端安装有密封板，密封板的一侧堵住石英加料管底部的出料口。
[0009]优选的：所述密封板上设置有密封斜面，密封斜面与石英加料管底部管口设置的管底斜面的斜度相适配，两者配合密封。
[0010]优选的：所述石英加料管内一侧侧壁上位于外扩部的下侧设置有限位块，限位块的上侧抵住分料器的下端。
[0011]优选的：所述分料器包括滑杆，滑杆的底部设置有与石英加料管内壁滑动连接的分料板，分料板倾斜设置，其与限位块的斜度相适配。
[0012]优选的：所述滑杆的顶部穿过石英加料管顶部并设置顶板，滑杆与石英加料管之
间滑动连接，顶板的下侧设有拉伸弹簧，拉伸弹簧的下端固定在石英加料管的顶端，拉伸弹簧套在滑杆上并拉住顶板对其有向下的拉力。
[0013]优选的：所述顶板上端还安装有拉环。
[0014]本技术的技术效果和优点：
[0015]本技术中通过在石英加料管中部设置外扩部以及分料器，在两者配合作用下，能将石英加料管分为两个部分储存物料，并且对单晶炉加料时能分两次进行，实现二次加料，增加了单晶炉的使用效率。
附图说明
[0016]图1是本申请实施例提供的一种单晶炉用石英加料器的结构示意图；
[0017]图2是本申请实施例提供的一种单晶炉用石英加料器的主视图；
[0018]图3是本申请实施例提供的一种单晶炉用石英加料器中下料阀的结构示意图；
[0019]图4是本申请实施例提供的一种单晶炉用石英加料器中石英加料管内部的结构示意图；
[0020]图5是本申请实施例提供的一种单晶炉用石英加料器中二次下料时分料器的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]1、单晶炉炉体；2、石英加料管；3、下料阀；4、外扩部；5、进料管；6、分料器；21、管底斜面；22、限位块；31、伸缩杆；32、密封板；33、密封斜面；61、滑杆；62、分料板；63、顶板；64、拉伸弹簧。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0024]实施例
[0025]请参阅图1～图5，在本实施例中提供一种单晶炉用石英加料器，包括单晶炉炉体1，单晶炉炉体1的内部侧壁上安装石英加料管2，石英加料管2用于储存待添加的物料，石英加料管2的底部设置有控制器下料的下料阀3，下料阀3开启后，石英加料管2内的物料添加至单晶炉内；
[0026]而且，石英加料管2中部左右两侧均设有外扩部4，外扩部4内为中空结构，从而使得两个外扩部4内壁之间的距离大于石英加料管2左右内侧壁之间的距离，进而使得石英加料管2内安装的分料器6能在移动至外扩部4位置后，其与外扩部4内壁之间留有缝隙，由于分料器6将石英加料管2分为上下两个供料腔，两个供料腔内均添加物料，在下侧的供料腔内物料添加完后，可打开分料器6，使得上侧供料腔内的物料再次添加，实现二次供料；
[0027]石英加料管2上部一侧安装有进料管5，进料管5顶部设置管盖，打开管盖，可将外部的物料添加至石英加料管2内，完成上料；
[0028]下料阀3包括伸缩杆31，伸缩杆31的上端固定在单晶炉炉体1上，其下端安装有密封板32，密封板32的一侧堵住石英加料管2底部的出料口，实现对下料的控制，为方便物料的下落，密封板32上设置有密封斜面33，密封斜面33使得物料在其表面容易下落，密封斜面33与石英加料管2底部管口设置的管底斜面21的斜度相适配，两者配合密封，下料阀3在启动后，其伸缩杆31伸长，进而带动密封板32下移，则这时会打开石英加料管2底部的管口，下侧供料腔内的物料就可下落至单晶炉内，完成物料的添加，添加结束后，伸缩杆31恢复原状，密封板32再次密封石英加料管2，然后再打开分料器6，石英加料管2内上、下两个供料腔连通，从而上侧的物料落下至下侧的供料腔内，为下移物料添加做准备；
[0029]石英加料管2内一侧侧壁上位于外扩部4的下侧设置有限位块22，限位块22的上侧抵住分料器6的下端，分料器6包括滑杆61，滑杆61的底部设置有与石英加料管2内壁滑动连接的分料板62，分料板62倾斜设置，其与限位块22的斜度相适配，在平时，分料板62位于限位块22上侧，同时分料板62密封住石英加料管2，通过分料板62将石英加料管2的内部空间分为上下两个部分，构成两个供料腔；
[0030]滑杆61的顶部穿过石英加料管2顶部并设置顶板63，滑杆61与石英加料管2之间滑动连接，顶板63的下侧设有拉伸弹簧64，拉伸弹簧64的下端固定在石英加料管2的顶端，拉伸弹簧64套在滑杆61上并拉住顶板63对其有向下的拉力，进而滑杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用石英加料器，包括单晶炉炉体(1)，单晶炉炉体(1)的内部侧壁上安装石英加料管(2)，石英加料管(2)用于储存待添加的物料，其特征在于：石英加料管(2)的底部设置有控制器下料的下料阀(3)；石英加料管(2)中部左右两侧均设有外扩部(4)，外扩部(4)内为中空结构，石英加料管(2)内安装分料器(6)，分料器(6)将石英加料管(2)分为上下两个供料腔。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英加料器，其特征在于，两个所述外扩部(4)内壁之间的距离大于石英加料管(2)左右内侧壁之间的距离。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英加料器，其特征在于，所述石英加料管(2)上部一侧安装有进料管(5)，进料管(5)顶部设置管盖。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用石英加料器，其特征在于，所述下料阀(3)包括伸缩杆(31)，伸缩杆(31)的上端固定在单晶炉炉体(1)上，其下端安装有密封板(32)，密封板(32)的一侧堵住石英加料管(2)底部的出料口。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用石英加料器，其特征在于，所述密封板(32)上设置有密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：严才根，尹厚斌，
申请(专利权)人：杭州顶星电子有限公司，
类型：新型
国别省市：