一种连接组件及单晶炉制造技术

技术编号:37016674 阅读:54 留言:0更新日期:2023-03-25 18:48
本申请涉及一种连接组件及单晶炉,连接组件包括挂接件、第一连接件和第二连接件,第一连接件用于和水冷屏的横杆连接,第一连接件设置有贯穿孔,第一连接件具有承载面;第二连接件的一端用于和导流筒连接,另一端穿过贯穿孔,且与挂接件连接,挂接件挂接于承载面;其中,承载面设置有限位件,限位件用于限制挂接件相对于第一连接件运动。该种单晶炉包括该种连接组件。本申请中,导流筒通过该种连接组件与水冷屏连接,能够降低导流筒在安装及使用过程中相对于水冷屏产生的位置偏移,进而减小对液口距捕捉带来的影响,避免液口距计算不准确,而对自动化产生不利影响,同时降低导流筒因位置偏移而造成晶棒碰撞产生破碎的风险。因位置偏移而造成晶棒碰撞产生破碎的风险。因位置偏移而造成晶棒碰撞产生破碎的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种连接组件及单晶炉


[0001]本申请涉及单晶炉设备
,尤其涉及一种连接组件及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉包括导流筒和水冷屏,导流筒通过连接结构悬挂于水冷屏上,随水冷屏升降移动。导流筒通过现有技术中的连接结构与水冷屏连接后,会导致导流筒容易受到其他方向力的影响,进而导致安装后导流筒可能存在位置偏移,导致单晶晶棒拉制过程中单晶炉液口距不一致,同时导流筒位置偏移存在造成晶棒碰撞而破碎的风险。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种连接组件及单晶炉,能够降低导流筒在安装及使用过程中相对于水冷屏产生的位置偏移。
[0004]第一方面,本申请提供一种连接组件,用于连接导流筒和水冷屏,所述连接组件包括:
[0005]挂接件;
[0006]第一连接件,用于和所述水冷屏的横杆连接,所述第一连接件设置有贯穿孔,所述第一连接件具有承载面;
[0007]第二连接件,所述第二连接件的一端用于和所述导流筒连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连接组件,用于连接导流筒(20)和水冷屏(30),其特征在于,所述连接组件(10)包括:挂接件(3);第一连接件(1),用于和所述水冷屏(30)的横杆连接,所述第一连接件(1)设置有贯穿孔(11),所述第一连接件(1)具有承载面(12);第二连接件(2),所述第二连接件(2)的一端用于和所述导流筒(20)连接,另一端穿过所述贯穿孔(11),且与所述挂接件(3)连接,所述挂接件(3)挂接于所述承载面(12);其中,所述承载面(12)设置有限位件(13),所述限位件(13)用于限制所述挂接件(3)相对于所述第一连接件(1)运动。2.根据权利要求1所述的连接组件,其特征在于,沿所述挂接件(3)的周向,所述限位件(13)包围所述挂接件(3)。3.根据权利要求1所述的连接组件,其特征在于,所述限位件(13)包括多个第一限位挡块(131)和多个第二限位挡块(132),多个所述第一限位挡块(131)分别位于所述挂接件(3)沿第一方向(X)的两侧,多个所述第二限位挡块(132)分别位于所述挂接件(3)沿第二方向(Y)的两侧,以限制所述挂接件(3)相对于所述第一连接件(1)沿所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)运动。4.根据权利要求1所述的连接组件,其特征在于,所述限位件(13)包括多个第三限位挡块(133),多个所述第三限位挡块(133)分别位于所述挂接件(3)沿第一方向(X)的两侧,以限制所述挂接件(3)相对于所述第一连接件(1)沿所述第一方向(X)运动;所述连接组件(10)还包括限位块(4),所述限位块(4)连接于所述挂接件(3)面向所述贯穿孔(11)的一侧,所述限位块(4)位于所述贯穿孔(11),且与所述贯穿孔(11)沿第二方向(Y)相对的两个侧壁配合,以限...

【专利技术属性】
技术研发人员:林雨生龙昭钦徐涛李含李凤春郭敬
申请(专利权)人:四川晶科能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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