【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅单晶，更具体地，涉及一种单晶炉过滤罐及单晶炉。
技术介绍
1、目前，单晶硅的生长过程处于密闭且有惰性气体保护的炉室内。由于硅单晶直拉过程中熔体温度很高，熔融的硅会和石英坩埚发生反应生成大量的氧化硅等挥发物，真空泵将含有氧化硅的氩气抽出炉室。在炉室与真空泵之间加装过滤罐滤除掉氩气流中的氧化硅等挥发物，从而防止氧化硅等气体颗粒进入泵腔而造成真空泵的损坏。但是在停炉清理过滤罐挥发物时，由于过滤罐长时间处于高温状态，自然冷却耗时长。
2、因此，继续提供一种能够缩短冷却时间的单晶炉过滤罐及单晶炉。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种单晶炉过滤罐，包括：沿第一方向相对设置的罐盖与罐底，以及连接所述罐盖与罐底的罐体；
2、所述罐体包括内壁和外壁，所述罐体包括进气管道和出气管道，所述进气管道和出气管道均贯穿所述内壁和所述外壁，所述进气管道靠近所述罐盖设置，所述出气管道靠近所述罐底设置；
3、在所述内壁和所述外壁之间设有冷凝水管，所述冷凝水管贴合所述罐体内周缘且沿所述罐底指向所述罐盖的方向蛇形排布，所述冷凝水管避让所述进气管道和所述出气管道。
4、可选的，所述冷凝水管包括沿所述第一方向延伸的引流管道，所述出气管道贯穿所述引流管道；
5、所述进气管道与所述罐底的最小距离为h，所述引流管道沿第一方向上的长度为l，l＝h。
6、可选的，所述单晶炉过滤罐还包括进水管道，所述进水管道沿第二方向贯穿所述外壁，所述第二方
7、可选的，所述冷凝水管还包括多层子管道；所述子管道靠近所述罐底的一侧设有进水孔，和/或，所述子管道靠近所述罐盖的一侧设有出水孔；所述进水孔和所述出水孔在所述第一方向上的正投影无交叠，相邻所述子管道的进水口和出水孔至少部分重叠。
8、可选的，沿所述第一方向上，所述罐体包括相互连接的第一区和第二区，所述第一区的高度等于所述出气进气管道的外径；所述第二区的高度的等于所述引流管道的长度；
9、在所述第一区内，所述子管道与所述进气管道贴合；在所述第二区内，所述子管道与所述引流管道贴合。
10、可选的，取第一截面，所述第一截面沿第三方向延伸且经过所述引流管道的轴线，所述引流管道在所述第一截面上的正投影包括沿第三方向相对设置的第一端和第二端，所述第三方向与第一方向和第二方向相交；
11、在第二区内，所述冷凝水管包括第1层子管道至第n层子管道，偶数层所述子管道的出水孔设置在靠近所述第一端的一侧，偶数层所述子管道的进水孔设置在靠近所述第二端的一侧；
12、奇数层所述子管道的出水孔设置在靠近所述第二端的一侧，第1层子管道贴合罐底，所述第1层子管道的进水孔与所述引流管道的第一端连通，除所述第二区的第1层子管道外，奇数层所述子管道的进水孔设置在靠近所述第一端的一侧。
13、可选的，在第一区内，所述冷凝水管包括第1层至第m层子管道；
14、取第二截面，所述第二截面经过所述进气管道的轴线，所述第二截面将进气管道分为第一部和第二部；
15、奇数层所述子管道的进水孔设置在靠近所述第二部的一侧，奇数层所述子管道的出水孔设置在靠近所述第一部的一侧，第一区内第1层子管道的进水孔与第二区内的第n层子管道的出水孔连通；
16、偶数层所述子管道的出水孔设置在靠近所述第二部的一侧，偶数层所述子管道的进水孔设置在靠近所述第二一部的一侧，第m层子管道靠近所述罐盖，第m层子管道的出水孔还与贯穿所述外壁的出水管道连接。
17、可选的，沿第一方向上，所述子管道的宽度在40mm-60mm之间。
18、可选的，沿第一方向上，所述罐体的高度在2m-2.7m之间。
19、本技术还提供了一种单晶炉，包括炉体、真空泵以及连接于所述炉体和所述真空泵之间的过滤罐，所述过滤罐为上述任一所述的单晶炉过滤罐。
20、与现有技术相比，本技术提供的单晶炉过滤罐及单晶炉，至少实现了如下的有益效果：
21、本技术提供的单晶炉过滤罐包括：沿第一方向相对设置的罐盖与罐底，以及连接罐盖与罐底的罐体；罐体包括内壁和外壁，罐体包括进气管道和出气管道，进气管道和出气管道均贯穿内壁和外壁，进气管道靠近罐盖设置，出气管道靠近罐底设置；在内壁和外壁之间设有冷凝水管，冷凝水管贴合罐体内周缘且沿罐底指向罐盖的方向蛇形排布，冷凝水管避让进气管道和出气管道。通过采用在过滤罐内壁和外壁之间通循环冷却水方式对过滤罐进行冷却降温，达到充分降温与缩短冷却时间的目的。
22、当然，实施本技术的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
23、通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述，本技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
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1.一种单晶炉过滤罐，其特征在于，包括：沿第一方向相对设置的罐盖与罐底，以及连接所述罐盖与罐底的罐体；
2.根据权利要求1所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，所述冷凝水管包括沿所述第一方向延伸的引流管道，所述出气管道贯穿所述引流管道；
3.根据权利要求2所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，还包括进水管道，所述进水管道沿第二方向贯穿所述外壁，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述引流管道靠近所述罐盖的一端与所述进水管道连接；所述进水管道的管径在30mm-40mm之间。
4.根据权利要求2所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，所述冷凝水管还包括多层子管道；所述子管道靠近所述罐底的一侧设有进水孔，和/或，所述子管道靠近所述罐盖的一侧设有出水孔；所述进水孔和所述出水孔在所述第一方向上的正投影无交叠，相邻所述子管道的进水口和出水孔至少部分重叠。
5.根据权利要求4所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，沿所述第一方向上，所述罐体包括相互连接的第一区和第二区，所述第一区的高度等于所述进气管道的外径；所述第二区的高度等于所述引流管道的长度；
6.根据权利要求
7.根据权利要求6所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，在第一区内，所述冷凝水管包括第1层至第M层子管道；
8.根据权利要求4所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，沿第一方向上，所述子管道的宽度在40mm-60mm之间。
9.根据权利要求1所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，沿第一方向上，所述罐体的高度在2m-2.7m之间。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体、真空泵以及连接于所述炉体和所述真空泵之间的过滤罐，所述过滤罐为权利要求1-9中任一项所述的单晶炉过滤罐。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉过滤罐，其特征在于，包括：沿第一方向相对设置的罐盖与罐底，以及连接所述罐盖与罐底的罐体；
2.根据权利要求1所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，所述冷凝水管包括沿所述第一方向延伸的引流管道，所述出气管道贯穿所述引流管道；
3.根据权利要求2所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，还包括进水管道，所述进水管道沿第二方向贯穿所述外壁，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述引流管道靠近所述罐盖的一端与所述进水管道连接；所述进水管道的管径在30mm-40mm之间。
4.根据权利要求2所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，所述冷凝水管还包括多层子管道；所述子管道靠近所述罐底的一侧设有进水孔，和/或，所述子管道靠近所述罐盖的一侧设有出水孔；所述进水孔和所述出水孔在所述第一方向上的正投影无交叠，相邻所述子管道的进水口和出水孔至少部分重叠。
5.根据权利要求4所述的单晶炉过滤罐，其特征在于，沿所述第一方向上，所述罐体包...
【专利技术属性】
技术研发人员：王兴龙，宋丽平，龙昭钦，陈铭，
申请(专利权)人：四川晶科能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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