System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 晶棒检测装置和晶棒检测方法制造方法及图纸_技高网

晶棒检测装置和晶棒检测方法制造方法及图纸

技术编号:40959120 阅读:6 留言:0更新日期:2024-04-18 20:36
本发明专利技术公开了晶棒检测装置和晶棒检测方法,该晶棒检测装置包括机架,机架上安装有移动模组和预压机构,其中,预压机构用于压紧晶棒;移动模组上安装有第一驱动装置,第一驱动装置上安装有检测机构,第一驱动装置用于驱动检测机构做往复回转运动;移动模组用于控制第一驱动装置在X、Y、Z方向上移动,检测机构用于检测晶棒的至少一侧端面数据。本发明专利技术不仅能够实现自动检测晶棒中至少一侧端面的电性能(如第二数据和/或第一数据),从而避免检测晶棒的第二数据或第一数据所测点位不一致,而且能够连续性长时间对不同晶棒进行检测,有效提升晶棒至少一侧端面的检测效率,且降低出错率,从而大幅度提升生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏,更具体地,涉及晶棒检测装置和晶棒检测方法


技术介绍

1、目前生产车间整个流程为晶体成长完成后形成整根晶棒,根据一根完整的晶棒的具体形态将晶棒切割成长度不等的晶棒。

2、在晶棒制造过程中,需要对晶棒的相关数据(如电阻率和/或少子寿命)进行检测。目前整个检测流程采用人为方式对晶棒进行检测,如人工拿取检测仪,手动贴合晶棒端面进行检测,存在以下缺点:1、检测晶棒中相关数据所测点位存在不一致现象;2、人工测量无法连续性长时间操作,且人工测量的效率低,出错率高,会大大影响生产效率,因此,是本领域亟需解决的技术问题。


技术实现思路

1、有鉴于此,本专利技术提供了一种晶棒检测装置,用以解决了采用人工方式检测晶棒中相关数据所测点位存在不一致现象,以及检测效率低的问题。

2、一方面,本申请提供一种晶棒检测装置,包括机架,所述机架上安装有移动模组和预压机构,其中,所述预压机构用于压紧晶棒;

3、所述移动模组上安装有第一驱动装置,所述第一驱动装置上安装有检测机构,所述第一驱动装置用于驱动所述检测机构做往复回转运动;所述移动模组用于控制所述第一驱动装置在x、y、z方向上移动,所述检测机构用于检测所述晶棒的至少一侧端面。

4、另一方面,本申请提供一种晶棒检测方法,利用晶棒检测装置对晶棒的至少一个端面进行检测,所述晶棒检测装置包括上述任一项所述晶棒检测装置;

5、当所述晶棒流转至检测点,利用预压机构压紧所述晶棒,移动模组和第一驱动装置之间相互协同,将检测机构移动至所述晶棒一侧端面,检测所述晶棒一侧端面的第一数据,利用所述第一驱动装置对检测机构旋转第一角度,之后检测所述晶棒一侧端面的第二数据,当晶棒一侧端面中所述第一数据和所述第二数据检测合格,则松开所述预压机构,所述晶棒继续流转。

6、与现有技术相比,本专利技术提供的晶棒检测装置和晶棒检测方法,至少实现了如下的有益效果:

7、本专利技术提供的晶棒检测装置和晶棒检测方法,该晶棒检测装置包括机架,机架上安装有移动模组和预压机构,其中,预压机构用于压紧晶棒;移动模组上安装有第一驱动装置,第一驱动装置上安装有检测机构,第一驱动装置用于驱动检测机构做往复回转运动;移动模组用于控制第一驱动装置在x、y、z方向上移动,检测机构用于检测晶棒的至少一侧端面数据,采用上述方案,通过预压机构、移动模组、第一驱动装置和检测机构之间相互协同,不仅能够实现自动检测晶棒中至少一侧端面的电性能(如第二数据和/或第一数据),从而避免检测晶棒的第二数据或第一数据所测点位不一致,而且能够连续性长时间对不同晶棒进行检测,有效提升晶棒至少一侧端面的检测效率,且降低出错率,从而大幅度提升生产效率。

8、当然,实施本专利技术的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

9、通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述,本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶棒检测装置,其特征在于,包括机架,所述机架上安装有移动模组和预压机构,其中,所述预压机构用于压紧晶棒;

2.根据权利要求1所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述检测机构包括固定件,所述固定件为T形结构,所述固定件的相对两侧设置有第一子检测机构和第二子检测机构;

3.根据权利要求2所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述调整机构包括第一调整件和与所述第一调整件相连接的第二调整件,所述第二调整件内套接有第三调整件,所述检测件安装于所述第三调整件;

4.根据权利要求3所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述第一调整件包括依次连接的第一调整板、第二调整板和第三调整板,其中,所述第一调整板与所述第三调整板相对设置;

5.根据权利要求3所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述第三调整件上安装有感应件,所述感应件位于所述第三调整件远离所述缓冲机构一侧;

6.根据权利要求2所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述移动模组包括X轴移动模组、Y轴移动模组和Z轴移动模组,所述Y轴移动模组可滑动安装在X轴移动模组上,Z轴移动模组安装于所述Y轴移动模组;

7.根据权利要求6所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述预压机构包括相对设置的固定板和活动板,所述固定板远离所述活动板一侧安装有第二驱动装置,所述第二驱动装置通过第一连接件与所述活动板相连接,所述第二驱动装置用于驱动所述活动板沿由所述活动板指向所述固定板一侧的方向上做往复运动;

8.根据权利要求7所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述垫块的材质包括软性材料。

9.根据权利要求7所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述第一接触件与所述第二接触件之间具有夹角。

10.根据权利要求7所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述固定板和活动板之间还包括至少两个导向柱,沿由所述活动板指向所述固定板一侧的方向上,至少两个所述导向柱依次贯穿所述固定板和活动板。

11.根据权利要求7所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述机架包括支架和与所述支架相连接的承载件,所述支架和所述承载件均为中空结构;

12.根据权利要求11所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述支架与所述承载件之间通过调平件相连接,所述支架包括支架腿,所述支架腿底端安装有脚杯。

13.根据权利要求1所述的晶棒检测装置,其特征在于,还包括用于标定所述检测机构的标定机构;

14.一种晶棒检测方法,其特征在于,利用晶棒检测装置对晶棒的至少一个端面进行检测,所述晶棒检测装置包括权利要求1-13任一项所述晶棒检测装置;

15.根据权利要求14所述的晶棒检测方法,其特征在于,当所述晶棒一侧端面中所述第一数据和所述第二数据检测不合格,再利用所述移动模组和所述第一驱动装置之间相互协同,将检测机构移动至所述晶棒另一侧端面,检测所述晶棒另一侧端面的第一数据,利用所述第一驱动装置对所述检测机构旋转第一角度,之后检测所述晶棒另一侧端面的第二数据。

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【技术特征摘要】

1.一种晶棒检测装置,其特征在于,包括机架,所述机架上安装有移动模组和预压机构,其中,所述预压机构用于压紧晶棒;

2.根据权利要求1所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述检测机构包括固定件,所述固定件为t形结构,所述固定件的相对两侧设置有第一子检测机构和第二子检测机构;

3.根据权利要求2所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述调整机构包括第一调整件和与所述第一调整件相连接的第二调整件,所述第二调整件内套接有第三调整件,所述检测件安装于所述第三调整件;

4.根据权利要求3所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述第一调整件包括依次连接的第一调整板、第二调整板和第三调整板,其中,所述第一调整板与所述第三调整板相对设置;

5.根据权利要求3所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述第三调整件上安装有感应件,所述感应件位于所述第三调整件远离所述缓冲机构一侧;

6.根据权利要求2所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述移动模组包括x轴移动模组、y轴移动模组和z轴移动模组,所述y轴移动模组可滑动安装在x轴移动模组上,z轴移动模组安装于所述y轴移动模组;

7.根据权利要求6所述的晶棒检测装置,其特征在于,所述预压机构包括相对设置的固定板和活动板,所述固定板远离所述活动板一侧安装有第二驱动装置,所述第二驱动装置通过第一连接件与所述活动板相连接,所述第二驱动装置用于驱动所述活动板沿由所述活动板指向所述固定板一侧的方向上做往复运动;

【专利技术属性】
技术研发人员:刘玉宋东诸葛良程帅徐勇兵
申请(专利权)人:四川晶科能源有限公司
类型:发明
国别省市:

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