稳定性高的单晶炉支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种稳定性高的单晶炉支架，包括支架本体，所述支架本体上开设有一承载槽，所述单晶炉本体安装在承载槽内部，所述支架本体上设置有多组固定组件，所述固定组件包括安装槽，多组所述安装槽以承载槽圆心为轴心呈圆周阵列分布，每个所述安装槽内部均设置有连接支杆，所述连接支杆底部上设置有承载板，所述连接支杆与承载板通过转动轴转动连接在支架本体内部。通过支架本体、承载槽、固定组件、安装槽、连接支杆、承载板之间的配合，单晶炉本体受重力因素与承载板抵接时，此刻连接支杆便会以转动轴为轴心，向靠近单晶炉本体一侧转动，使得多组连接支杆远离承载板的一端与单晶炉本体抵接，将单晶炉本体固定，使用效果好。使用效果好。使用效果好。

【技术实现步骤摘要】
稳定性高的单晶炉支架


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种稳定性高的单晶炉支架。

技术介绍

[0002]单晶硅的生产过程中，首先需要用真空泵对单晶炉进行抽真空，使单晶炉保持在一种高真空状态下，排除多余的有害气体，然后再充入惰性气体作为保护气体。之后利用单晶炉内的石墨加热器对放置于石英坩埚内的块状多晶硅料进行加热融化，完成单晶硅的生产，在单晶硅的生产过程中，要持续不断的对单晶炉抽真空，并持续的充入惰性保护气体，
[0003]现有技术的不足之处在于：单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉在使用时一般会通过支架配合使用，然而现有的单晶炉支架在使用时，稳定性不足，从而影响工作使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种稳定性高的单晶炉支架，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种稳定性高的单晶炉支架，包括支架本体，所述支架本体上开设有一承载槽，所述单晶炉本体安装在承载槽内部，所述支架本体上设置有多组固定组件，所述固定组件包括安装槽，多组所述安装槽以承载槽圆心为轴心呈圆周阵列分布，每个所述安装槽内部均设置有连接支杆，所述连接支杆底部上设置有承载板，所述连接支杆与承载板通过转动轴转动连接在支架本体内部。
[0006]进一步地，每个所述连接支杆顶部上均设置有缓冲组件。
[0007]进一步地，所述缓冲组件包括固定板以及抵接板，所述固定板与连接支杆固定连接，所述固定板上开设有限位槽，所述抵接板上设置有限位板，所述限位板滑动设置在限位槽内，所述抵接板与固定板之间设置有多组缓冲弹簧。
[0008]进一步地，所述支架本体底部设置有多组支撑筒。
[0009]进一步地，每个所述支撑筒内均滑动设置有一支撑柱，每个所述支撑柱底部上均设有移动轮，多个所述支撑柱之间设置有一驱动板，所述驱动板与支架本体之间设置有液压伸缩杆。
[0010]进一步地，所述支架本体侧壁上设置有驱动杆。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该稳定性高的单晶炉支架，通过支架本体、承载槽、固定组件、安装槽、连接支杆、承载板之间的配合，单晶炉本体受重力因素与承载板抵接时，此刻连接支杆便会以转动轴为轴心，向靠近单晶炉本体一侧转动，从而使得多组连接支杆远离承载板的一端与单晶炉本体抵接，从而将单晶炉本体固定，使用效果好。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所
需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为本技术实施例提供的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术实施例提供的承载槽开设位置结构示意图；
[0015]图3为本技术实施例提供的固定组件局部结构示意图；
[0016]图4为本技术实施例提供的液压伸缩杆安装位置结构示意图；
[0017]图5为本技术实施例提供的缓冲组件结构示意图；
[0018]图6为图2中A区域放大结构示意图。
[0019]附图标记说明：1、支架本体；2、承载槽；3、固定组件；301、安装槽；302、连接支杆；303、承载板；304、转动轴；4、单晶炉本体；5、缓冲组件；501、抵接板；502、固定板；503、限位槽；504、限位板；505、缓冲弹簧；6、支撑筒；7、液压伸缩杆；8、驱动板；9、支撑柱；10、移动轮；11、驱动杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
6，本技术提供一种技术方案：一种稳定性高的单晶炉支架，包括支架本体1，支架本体1上开设有一承载槽2，单晶炉本体4安装在承载槽2内部，支架本体1上设置有多组固定组件3，固定组件3包括安装槽301，多组安装槽301以承载槽2圆心为轴心呈圆周阵列分布，每个安装槽301内部均设置有连接支杆302，连接支杆302底部上设置有承载板303，连接支杆302与承载板303通过转动轴304转动连接在支架本体1内部。
[0022]具体的，该稳定性高的单晶炉支架，其中包括支架本体1，支架本体1上开设有一承载槽2，单晶炉本体4安装在承载槽2内部，其中承载槽2与炉体形状相适配，从而便于单晶炉本体4的安装，支架本体1上设置有多组固定组件3，通过多组固定组件3将单晶炉本体4固定，从而提高单晶炉本体4安装的稳定性，使用效果好；其中固定组件3包括安装槽301，其中安装槽301竖直开设在支架本体1上，多组安装槽301以承载槽2圆心为轴心呈圆周阵列分布，每个安装槽301内部均设置有连接支杆302，连接支杆302底部上设置有承载板303，更具体的，当连接支杆302与支架本体1顶部垂直时，此刻承载板303与承载槽2之间有夹角，其夹角的度数可以为5
°
至10
°
，连接支杆302与承载板303通过转动轴304转动连接在支架本体1内部，当单晶炉本体4受重力因素与承载板303抵接时，此刻连接支杆302便会以转动轴304为轴心，向靠近单晶炉本体4一侧转动，从而使得多组连接支杆302远离承载板303的一端与单晶炉本体4抵接，从而将单晶炉本体4固定，使用效果好。
[0023]每个连接支杆302顶部上均设置有缓冲组件5，缓冲组件5包括固定板502以及抵接板501，固定板502与连接支杆302固定连接，固定板502上开设有限位槽503，抵接板501上设置有限位板504，限位板504滑动设置在限位槽503内，抵接板501与固定板502之间设置有多组缓冲弹簧505。
[0024]优选的，其中每个连接支杆302顶部上均设置有缓冲组件5，通过设置缓冲组件5，
可以起到缓冲效果，起到进一步将单晶炉本体4固定的效果，其中缓冲组件5包括固定板502以及抵接板501，固定板502与连接支杆302固定连接，固定板502上开设有限位槽503，抵接板501上设置有限位板504，限位板504滑动设置在限位槽503内，抵接板501与固定板502之间设置有多组缓冲弹簧505，缓冲弹簧505的弹力驱使抵接板501远离固定板502，在固定单晶炉本体4时，缓冲弹簧505的弹力驱使抵接板501与单晶炉本体4抵接，且抵接板501上有一定弧度，便于与单晶炉本体4贴合，使用效果好。
[0025]支架本体1底部设置有多组支撑筒6，在支架本体1底部设置有多组支撑筒6，起到支撑作用。
[0026]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种稳定性高的单晶炉支架，包括支架本体(1)以及单晶炉本体(4)，其特征在于：所述支架本体(1)上开设有一承载槽(2)，所述单晶炉本体(4)安装在承载槽(2)内部；所述支架本体(1)上设置有多组固定组件(3)，所述固定组件(3)包括安装槽(301)，多组所述安装槽(301)以承载槽(2)圆心为轴心呈圆周阵列分布；每个所述安装槽(301)内部均设置有连接支杆(302)，所述连接支杆(302)底部上设置有承载板(303)，所述连接支杆(302)与承载板(303)通过转动轴(304)转动连接在支架本体(1)内部。2.根据权利要求1所述的一种稳定性高的单晶炉支架，其特征在于：每个所述连接支杆(302)顶部上均设置有缓冲组件(5)。3.根据权利要求2所述的一种稳定性高的单晶炉支架，其特征在于：所述缓冲组件(5)包括固定板(502)以及抵接板(501)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀辉，黄富炎，徐银军，毛宋燕，阮华良，刘浩杰，
申请(专利权)人：绍兴市上虞区成达机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：