一种支撑杆高度辅助校准工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种支撑杆高度辅助校准工具，包括：支撑基座、U形标尺、移动校准杆、固定旋钮、指示标牌、水平仪及去胶机台工艺腔。其中，支撑基座中包括空心部；U形标尺固定于支撑基座上且包括具有多个刻度线的刻度尺部、顶部及位置范围标识部，U形标尺的开口与空心部对应；移动校准杆位于空心部和刻度尺部与位置范围标识部之间的空隙中；固定旋钮固定于移动校准杆上；指示标牌通过固定旋钮固定于移动校准杆上；水平仪固定于顶部顶端；去胶机台工艺腔包括多个支撑杆、加热板及底座，支撑杆固定于底座上，支撑杆贯穿加热板，支撑杆顶端与移动校准杆底部对应。本实用新型专利技术的辅助校准工具提高了校准效率以及校准准确率，降低了晶圆的报废率。废率。废率。

【技术实现步骤摘要】
一种支撑杆高度辅助校准工具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种支撑杆高度辅助校准工具。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，需要对蚀刻的去胶机台进行定期的维护保养，蚀刻的去胶机台在机台定期的维护保养中均要按期校准腔体里的支撑杆(lift pin)的高度。目前暂无合适的针对蚀刻的去胶机台中的支撑杆进行校准的辅助校准工具，传统方法是直接通过钢尺立于一旁，通过肉眼去比对并读取高度，而且每调节一次高度便需要重新再读取一次支撑杆的高度，无法实时观察到当前高度，校准十分不便；并且在支撑杆高度比加热板水平面低时(此时为负值)，由于通孔较小，钢尺无法伸入内部，更是无法读取其当前高度值。在这种情况下，无法正确校准支撑杆的高度，校准准确率低，这极有可能导致后续晶圆在传输过程中发生刮伤而造成经济损失以及机台复机超时等。如图1所示，为使用钢尺校准支撑杆的示意图，包括支撑杆01、加热板02、通孔021及钢尺03，在实际校准过程中，钢尺无法在竖直方向保持一定的水平，并且在在支撑杆高度比加热板水平面低时视野十分狭窄，对校准更是增加了不少难度，十分不便，校准速度较慢。
[0003]因此，急需一种校准效率高、校准准确率高的支撑杆高度辅助校准工具。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种支撑杆高度辅助校准工具，用于解决现有技术中支撑杆高度校准效率低、校准准确率低的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种支撑杆高度辅助校准工具，包括：/>[0006]支撑基座，中间位置包括空心部；
[0007]U形标尺，固定于所述支撑基座上，所述U形标尺的开口与所述空心部相对应，所述U形标尺包括依次连接的刻度尺部、顶部以及位置范围标识部，且所述刻度尺部设有多个相互平行的刻度线；
[0008]移动校准杆，位于所述空心部和所述U形标尺的所述刻度尺部与所述位置范围标识部之间的间隙中；
[0009]固定旋钮，固定于所述移动校准杆上；
[0010]指示标牌，通过所述固定旋钮固定于所述移动校准杆上；
[0011]水平仪，固定于所述U形标尺的所述顶部的位置的顶端；
[0012]去胶机台工艺腔，包括多个支撑杆、加热板及底座，所述支撑杆固定于所述底座上，所述加热板上开设有通孔，所述支撑杆通过所述通孔贯穿所述加热板，所述支撑杆顶端与所述移动校准杆底部相对应。
[0013]可选地，所述水平仪的长度尺寸范围为10mm～30mm；所述水平仪的截面尺寸范围为3mm～8mm。
[0014]可选地，所述U形标尺上所述刻度线的刻度范围为
‑
5mm～30mm。
[0015]可选地，所述位置范围标识部包括底部位置标识、中间位置标识及顶部位置标识。
[0016]可选地，所述U形标尺的所述顶部分别与所述刻度尺部及所述位置范围标识部垂直。
[0017]可选地，所述移动校准杆的截面形状包括圆柱形。
[0018]可选地，所述移动校准杆的高度的尺寸范围为30mm～80mm；所述移动校准杆的截面尺寸的范围为4mm～10mm。
[0019]可选地，所述指示标牌包括位于所述固定旋钮两侧的第一指示标牌及第二指示标牌，所述第一指示标牌指向所述U形标尺的所述刻度尺部；所述第二指示标牌指向所述U形标尺的所述位置范围标识部。
[0020]可选地，所述指示标牌的指示方向平行于所述刻度线。
[0021]可选地，所述移动校准杆沿垂直于所述刻度线的方向移动。
[0022]如上所述，本技术的支撑杆高度辅助校准工具，具有以下有益效果：通过设计所述辅助校准工具对所述去胶机台工艺腔中的所述支撑杆的高度进行校准，所述辅助校准工具包括所述支撑基座、所述U形标尺、所述移动校准杆、所述固定旋钮、所述指示标牌及所述水平仪，所述移动校准杆位于所述空心部及所述U形标尺的所述刻度尺部与所述位置范围标识部之间的间隙中，通过将所述辅助校准工具固定于所述支撑杆正上方，再利用所述水平仪的指示对所述辅助校准工具的位置进行调节，以确保所述辅助校准工具处于水平位置，利用所述移动校准杆与所述指示标牌相结合，所述移动校准杆控制所述支撑杆依次运动到底部位置、中间位置及顶部位置的各个校准位置，所述第一指示标牌指向所述刻度尺部以校准所述支撑杆的位置高度，所述第二指示标牌指向所述位置范围标识部以校准所述支撑杆的所处位置范围，提高了对所述支撑杆的校准效率，从之前的平均每批次10分钟缩短到6分钟每批次；通过所述辅助校准工具的使用，提高了校准成功率，避免了所述支撑杆低于所述加热板时校准视野狭窄从而校准准确率低，间接降低了对晶圆的报废率，且所述支撑基座设有所述空心部，所述U形标尺设有所述开口，在所述支撑杆的校准过程中，仅所述辅助校准工具中的所述移动校准杆的底部与所述支撑杆的顶部接触，继而实现了在不损坏所述支撑杆的情况下更加便捷并准确地校准所述支撑杆的高度。
附图说明
[0023]图1显示为使用钢尺校准支撑杆的示意图。
[0024]图2显示为本技术的支撑杆高度辅助校准工具的局部结构示意图。
[0025]图3显示为本技术的支撑杆高度辅助校准工具的校准支撑杆高度的状态示意图。
[0026]图4显示为本技术的支撑杆高度辅助校准工具的支撑杆处于底部位置的示意图。
[0027]图5显示为本技术的支撑杆高度辅助校准工具的支撑杆处于中间位置的示意图。
[0028]图6显示为本技术的支撑杆高度辅助校准工具的支撑杆处于顶部位置的示意图。
[0029]元件标号说明
[0030]01支撑杆
[0031]02加热板
[0032]021通孔
[0033]03钢尺
[0034]1支撑基座
[0035]11第一空心部
[0036]2U形标尺
[0037]21开口
[0038]22刻度尺部
[0039]221刻度线
[0040]23顶部
[0041]24位置范围标识部
[0042]241底部位置标识
[0043]242中间位置标识
[0044]243顶部位置标识
[0045]3移动校准杆
[0046]4固定旋钮
[0047]5指示标牌
[0048]51第一指示标牌
[0049]52第二指示标牌
[0050]6水平仪
[0051]7支撑杆
[0052]8加热板
[0053]81通孔
[0054]9底座
具体实施方式
[0055]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0056]请参阅图1至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种支撑杆高度辅助校准工具，其特征在于，包括：支撑基座，中间位置包括空心部；U形标尺，固定于所述支撑基座上，所述U形标尺的开口与所述空心部相对应，所述U形标尺包括依次连接的刻度尺部、顶部以及位置范围标识部，且所述刻度尺部设有多个相互平行的刻度线；移动校准杆，位于所述空心部和所述U形标尺的所述刻度尺部与所述位置范围标识部之间的间隙中；固定旋钮，固定于所述移动校准杆上；指示标牌，通过所述固定旋钮固定于所述移动校准杆上；水平仪，固定于所述U形标尺的所述顶部的顶端；去胶机台工艺腔，包括多个支撑杆、加热板及底座，所述支撑杆固定于所述底座上，所述加热板上设有通孔，所述支撑杆通过所述通孔贯穿所述加热板，所述支撑杆顶端位置与所述移动校准杆底部位置相对应。2.根据权利要求1所述的支撑杆高度辅助校准工具，其特征在于：所述水平仪的长度尺寸范围为10mm～30mm；所述水平仪的截面尺寸范围为3mm～8mm。3.根据权利要求1所述的支撑杆高度辅助校准工具，其特征在于：所述U形标尺上所述刻度线的刻度范围为
‑
5mm～30mm。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉堂，盘美虹，刘茂广，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：