【技术实现步骤摘要】
热处理装置
[0001]本公开涉及热处理装置。
技术介绍
[0002]在专利文献1中公开有加热处理装置，该加热处理装置构成为使从用于导入气体的导入部朝向排出部的气流在热板的上空沿着热板的表面向一个方向产生。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2001
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185471号公报
技术实现思路
[0006]技术要解决的问题
[0007]本公开提供对于兼顾有效率地收集升华物和减少对膜厚分布的影响有用的热处理装置和热处理方法。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一技术方案的热处理装置包括加热部、腔室、排气部、分隔部以及切换部。加热部支承形成有处理液的膜的基板并对其进行加热。腔室以包围支承于加热部的基板的方式配置。排气部从腔室内的空间经由位于加热部的周围的排出口排出气体。分隔部将腔室内的空间分隔为加热部上的基板暴露的第1空间和位于第1空间的上方的第2空间。切换部切换利用排气部经由第1空间使气体排出的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种热处理装置，其特征在于，该热处理装置包括：加热部，其支承形成有处理液的膜的基板并对其进行加热；腔室，其以包围支承于所述加热部的所述基板的方式配置；排气部，其从所述腔室内的空间经由位于所述加热部的周围的排出口排出气体；分隔部，其将所述腔室内的空间分隔为所述加热部上的所述基板暴露的第1空间和位于所述第1空间的上方的第2空间；以及切换部，其切换利用所述排气部经由所述第1空间使气体排出的第1状态和利用所述排气部经由所述第2空间使气体排出的第2状态。2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括控制部，该控制部在所述加热部对所述基板的加热的执行过程中控制所述切换部，以从所述第2状态切换至所述第1状态。3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，所述排出口包括向所述第1空间开口的第1排出口和向所述第2空间开口的第2排出口，所述切换部具有封堵构件，该封堵构件构成为在所述第1状态下开放与所述第1排出口连接的第1流路且封堵与所述第2排出口连接的第2流路，并构成为在所述第2状态下封堵所述第1流路且开放所述第2流路。4.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括流路调整部，该流路调整部具有内壁，该内壁配置在所述第1空间的所述加热部的周围，将所述第1空间分隔为包含所述加热部的容纳空间和包含所述排出口的调整空间，在所述内壁形成有连接所述容纳空间和所述调整空间并沿着所述内壁延伸的方向排列的多个排出孔。5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述流路调整部还具有第2内壁，该第2内壁将所述调整空间分隔为包含所述内壁的缓冲空间和包含所述排出口的排出空间，在所述第2内壁形成有连接所述缓冲空间和所述排出空间并沿着所述第2内壁延伸的方向排列的多个第2排出孔。6.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，在从上方观察所述加热部时，在与连结所述加热部的中心和所述排出口的中心的方向正交的宽度方向上，所述内壁的长度大于所述加热部上的所述基板的长度。7.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：久我恭弘，大岛和彦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：新型
国别省市：
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