一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法制造方法及图纸

技术编号:37602814 阅读:13 留言:0更新日期:2023-05-18 11:53
本发明专利技术公开了一种多晶铸锭多次加料装置,设置于炉体上,包括加料桶及观察窗座,观察窗座设置于炉体上,观察窗座与炉体内的氩气导流筒连通,观察窗座的侧面开有通孔,加料桶通过管道连接至观察窗座的通孔上,实现加料桶与观察窗座的连通;加料桶的上端设有桶盖,加料桶上端一侧设有进出气管,进出气管上设有压力表,加料桶的下端设有管道,管道上由上至下设有上阀门、下阀门,加料桶内设有防卡料装置;该加料装置及投料方法可多次加料,对熔硅液面扰动小,适应各种类型硅料,降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法


[0001]本专利技术涉及一种加料装置及投料方法,具体涉及一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法,属于多晶硅铸锭领域。

技术介绍

[0002]多晶装料使用的有形状不规则的块状料、碎料、碎片料、颗粒料、粉末料,由于料之间存在缝隙,体积密度较小,即使料况搭配理想的情况下,体积密度也只有真密度的70%左右。近年来,不少多晶铸锭工艺大量使用颗粒料、粉末料,导致装料重量、坩埚利用率下降,降低了生产产量,提高了铸锭成本。
[0003]目前装料是将料装入炉内后进行工艺流程,中途不再加料,随着颗粒料和粉末料重量的下降,坩埚成本增加了,投料量下降也会导致良率下降,如果在硅料熔化后在坩埚中再次增加适当的硅料,则可以提高坩埚的利用率和单次产能,降低铸锭成本。
[0004]现有的加料装置容易扰动熔硅液面,冲刷氮化硅涂层,造成粘埚风险,CN217948337U公开了一种多晶硅铸锭炉二次加料装置,包括储料仓和出料管,还包括缓冲仓和加强板,储料仓的底部通过出料阀与出料管连接,出料管的底部与缓冲仓连接,储料仓的外周设置夹套,出料管由顶部到底部逐渐变宽,出料管的外周套设有加强板,缓冲仓的外周套设有振动环,缓冲仓的底部设有分配板,分配板上设有均匀分布的分配孔,该加料装置,能够有效减缓硅料的下料速度,避免硅原料速度过快将坩埚中的硅溶液溅出,但是其结构复杂,对铸锭炉改动大,成本高,且对原料粒径大小限制大,比如无法满足硅泥铸锭提纯加料工艺需求,即使是粒径适中的硅料,在加料过程中也容易堵塞。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题是,针对以上现有技术存在的缺点,提出一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法,该加料装置及投料方法可多次加料,对熔硅液面扰动小,适应各种类型硅料,降低成本。
[0006]为了解决以上技术问题,本专利技术提供一种多晶铸锭多次加料装置,设置于炉体上,包括加料桶及观察窗座,观察窗座设置于炉体上,观察窗座与炉体内的氩气导流筒连通,观察窗座的侧面开有通孔,加料桶通过管道连接至观察窗座的通孔上,实现加料桶与观察窗座的连通;加料桶的上端设有桶盖,加料桶上端一侧设有进出气管,进出气管上设有压力表,加料桶的下端设有管道,管道上由上至下设有上阀门、下阀门,加料桶内设有防卡料装置。
[0007]本专利技术进一步限定的技术方案为:前述多晶铸锭多次加料装置中,观察窗座包括连接座、连接管及观察窗,连接管的一端设有观察窗,另一端通过连接座与炉体内的氩气导流筒连通,连接管的内径与氩气导流筒的内径相同,连接管的侧面设有通孔。
[0008]技术效果,本专利技术通过连接座将观察窗连接与氩气导流筒上,安装拆卸方便,同时
连接管的尺寸与氩气导流筒的内径相同,连接管口径大,对硅料种类兼容性好,包括小块料,粉末料在内的,不堵料。
[0009]前述多晶铸锭多次加料装置中,卡料装置为一根聚四氟乙烯材质的棒子,防卡料装置穿透桶盖可上下活动设置于加料桶内。
[0010]技术效果,聚四氟乙烯材质的棒子不会对硅料产生影响,不受腐蚀等延长使用寿命,可活动便于对加料桶内的装料进行疏通,使用方便,成本低廉。
[0011]前述多晶铸锭多次加料装置中,防卡料装置的上端向外延伸形成定位盘,防卡料装置设置于未装料的加料桶内时,防卡料装置的底端伸入管道内,不超过管道上阀门的位置。
[0012]技术效果,防卡料装置的上端向外延伸形成定位盘,避免防卡料装置掉落在加料桶内,防卡料装置在放入加料桶内其底端伸入管道内,但不超过上阀门,防卡料装置长度保证对装料进行最大程度的有效疏通,同时不会损坏管道上的阀门。
[0013]前述多晶铸锭多次加料装置中,桶盖上设有把手。
[0014]技术效果,有把手装料时使用方便,提高效率。
[0015]本专利技术还设计一种多晶铸锭的投料方法,使用上述多次加料装置进行投料,具体包括以下步骤:S1、装料a. 向加料桶内装入硅料;b. 盖上桶盖,将加料桶一侧的进出气管与抽气泵连接进行抽气,抽到压力表0

1Mpa,时间3

5min; S2、加料

熔化阶段调节铸锭炉顶部加热器及侧部加热器的功率,顶部加热器的功率:侧部加热器的功率=2:3;原先一般投料时顶部加热器的功率:侧部加热器的功率=3:7,由于顶部要多次加料,且料聚集在顶部,所以提高顶部加热器的功率,侧部需要熔化的少可以减弱,不浪费,降低成本。
[0016]②
通过炉体上的观察窗座查看石英坩埚内硅料是否熔化,在硅料未化完前通过加料桶准备加料;

先检查进出气管上的压力表,然后打开下阀门,再打开上阀门;

硅料在重力的作用下通过管道进入氩气导流筒,若加料出现不顺畅的情况,上下活动防卡料装置进行疏导,加入的硅料堆积在装料时未熔完的硅料上方;

根据情况一次或多次进行加完加料桶内的硅料;
ꢀ⑥
根据铸锭工艺加料需求重复以上步骤完成投料任务。
[0017]本专利技术进一步限定的技术方案为:前述多晶铸锭的投料方法中,在S2加料时步骤

中检查压力表时,压力在0

1Mpa之间,再打开下阀门。
[0018]技术效果,检查压力表控制压力在0

1Mpa之间时再打开下阀门,因为炉内是充氩气低压高温状态,避免加料装置内的空气进入炉内,造成产品、热场氧化。
[0019]本专利技术的有益效果是:
目前大量使用颗粒料,粉末料,体密度比原来块状料、碎料、碎片料小使得装料重量下降,在没有多次加料技术的情况下,成本增加了,坩埚成本增加了(做800KG用一个埚,现在做700KG就消耗了一个埚);装料量下降导致铸锭生产的硅锭高度下降,去掉头尾后,中间可用部分减少,即造成良率下降;本专利技术采用了加料装置,配合投料工艺能在工艺过程中多次加料,可以在使用便宜料降低成本的前提下,又能确保装料的重量,提高坩埚的利用率,降低成本,提高产量。
[0020]在加料时对铸锭炉工艺进行调节,原先一般投料时顶部加热器的功率:侧部加热器的功率=3:7,由于顶部要多次加料,且料聚集在顶部,所以提高顶部加热器的功率,侧部需要熔化的少可以减弱,不浪费,降低成本。
[0021]在加料时步骤

加入的硅料堆积在装料时未熔完的硅料上方,注意不要硅料堆积,顶住盖板,顶住盖板就说明料装的太多了,而且化料时候,容易硅残留到盖板,高温下渗入盖板,造成盖板寿命下降,所以控制加料不要顶住盖板。
[0022]本专利技术没有对铸锭炉中的坩埚直接输料,而是与铸锭炉内的氩气导流筒连通,来实现输料,输料管设置于高温铸锭炉中,容易损坏,本专利技术利用铸锭炉原先的结构来实现输料,简单方便,且延长使用寿命,降低成本。
[0023]本专利技术在加料桶上设有进出气管,并在进出气管,其用于与抽气泵连接进行抽气,把里面空气抽出来,避免硅料进入炉体,造成对炉体的氧化等损害。
[00本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭多次加料装置,设置于炉体上,其特征在于:包括加料桶(5)及观察窗座(8),所述观察窗座(8)设置于炉体(9)上,所述观察窗座(8)与炉体(9)内的氩气导流筒(10)连通,所述观察窗座(8)的侧面开有通孔,所述加料桶(5)通过管道(51)连接至所述观察窗座(8)的通孔上,实现加料桶(5)与观察窗座(8)的连通;所述加料桶(5)的上端设有桶盖(1),所述加料桶(5)上端一侧设有进出气管(3),所述进出气管(3)上设有压力表(2),所述加料桶(5)的下端设有管道(51),所述管道(51)上由上至下设有上阀门(6)、下阀门(7),所述加料桶(5)内设有防卡料装置(4)。2.根据权利要求1所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述观察窗座(8)包括连接座(81)、连接管(82)及观察窗(83),所述连接管(82)的一端设有所述观察窗(83),另一端通过所述连接座(82)与炉体(9)内的氩气导流筒(10)连通,所述连接管(82)的内径与所述氩气导流筒(10)的内径相同,所述连接管(82)的侧面设有所述通孔。3.根据权利要求1所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述防卡料装置(4)为一根聚四氟乙烯材质的棒子,所述防卡料装置(4)穿透所述桶盖(1)可上下活动设置于所述加料桶(5)内。4.根据权利要求3所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述防卡料装置(4)的上端向外延伸形成定位盘,所述防卡料装置(4)设置于未装料的加料桶(5)内时,所述防卡料装置(4)的底端伸入管道(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:严东王艺澄王军磊
申请(专利权)人:云南美科新能源发展有限公司
类型:发明
国别省市:

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