【技术实现步骤摘要】
一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法
[0001]本专利技术涉及一种加料装置及投料方法,具体涉及一种多晶铸锭多次加料装置及投料方法,属于多晶硅铸锭领域。
技术介绍
[0002]多晶装料使用的有形状不规则的块状料、碎料、碎片料、颗粒料、粉末料,由于料之间存在缝隙,体积密度较小,即使料况搭配理想的情况下,体积密度也只有真密度的70%左右。近年来,不少多晶铸锭工艺大量使用颗粒料、粉末料,导致装料重量、坩埚利用率下降,降低了生产产量,提高了铸锭成本。
[0003]目前装料是将料装入炉内后进行工艺流程,中途不再加料,随着颗粒料和粉末料重量的下降,坩埚成本增加了,投料量下降也会导致良率下降,如果在硅料熔化后在坩埚中再次增加适当的硅料,则可以提高坩埚的利用率和单次产能,降低铸锭成本。
[0004]现有的加料装置容易扰动熔硅液面,冲刷氮化硅涂层,造成粘埚风险,CN217948337U公开了一种多晶硅铸锭炉二次加料装置,包括储料仓和出料管,还包括缓冲仓和加强板,储料仓的底部通过出料阀与出料管连接,出料管的底部与缓冲仓连接,储料仓 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭多次加料装置,设置于炉体上,其特征在于:包括加料桶(5)及观察窗座(8),所述观察窗座(8)设置于炉体(9)上,所述观察窗座(8)与炉体(9)内的氩气导流筒(10)连通,所述观察窗座(8)的侧面开有通孔,所述加料桶(5)通过管道(51)连接至所述观察窗座(8)的通孔上,实现加料桶(5)与观察窗座(8)的连通;所述加料桶(5)的上端设有桶盖(1),所述加料桶(5)上端一侧设有进出气管(3),所述进出气管(3)上设有压力表(2),所述加料桶(5)的下端设有管道(51),所述管道(51)上由上至下设有上阀门(6)、下阀门(7),所述加料桶(5)内设有防卡料装置(4)。2.根据权利要求1所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述观察窗座(8)包括连接座(81)、连接管(82)及观察窗(83),所述连接管(82)的一端设有所述观察窗(83),另一端通过所述连接座(82)与炉体(9)内的氩气导流筒(10)连通,所述连接管(82)的内径与所述氩气导流筒(10)的内径相同,所述连接管(82)的侧面设有所述通孔。3.根据权利要求1所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述防卡料装置(4)为一根聚四氟乙烯材质的棒子,所述防卡料装置(4)穿透所述桶盖(1)可上下活动设置于所述加料桶(5)内。4.根据权利要求3所述的多晶铸锭多次加料装置,其特征在于:所述防卡料装置(4)的上端向外延伸形成定位盘,所述防卡料装置(4)设置于未装料的加料桶(5)内时,所述防卡料装置(4)的底端伸入管道(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:严东,王艺澄,王军磊,
申请(专利权)人:云南美科新能源发展有限公司,
类型:发明
国别省市:
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