多层结构形成方法、配线基板和电子仪器的制造方法技术

本发明专利技术是用喷墨法形成稳定的多层结构的发明专利技术。该多层结构形成方法包括：由第１喷嘴向物体表面喷出含有第１感光性树脂的第１绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第１绝缘材料层的步骤（Ａ）；使上述第１绝缘材料层固化而得到第１绝缘层的步骤（Ｂ）；由第２喷嘴向上述第１绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第１绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤（Ｃ）；和使上述导电性材料层的图案活性化而在上述第１绝缘层上形成配线图案的步骤（Ｄ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用液滴喷出装置的多层结构形成方法，特别是涉及适宜于配线基板的制造和电子仪器的制造的多层结构形成方法。
技术介绍
使用由印刷法的添加法(Additive Process)制造配线基板和电路基板的方法备受关注。这是由于与重复薄膜涂布工序和光刻工序制造配线基板和电路基板的方法相比添加法工序的成本低。作为利用这样的添加法的技术之一周知由喷墨法形成导电性图案的技术(例如特许文献1)。专利文献1特开2004-6578号公报使用喷墨法配置树脂材料和导电性材料的液滴设绝缘层和其绝缘层上的配线图案的情况下，有时会发生配线图案的断线。
技术实现思路
鉴于上述课题，本专利技术的目的之一是使用喷墨法形成稳定的多层结构。本专利技术的多层结构形成方法使用液滴喷出装置。该多层结构的形成方法包括向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化，在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。由上述构成得到的效果之一是，由于在第1绝缘材料层固化后形成配线图案，所以不会发生配线图案的断线。根据本专利技术的实施方式，上述多层结构形成方法还包括使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(E)；向上述第1绝缘层和上述导电层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层和上述导电层的第2绝缘材料层的步骤(F)；和使上述第2绝缘材料层固化的步骤(G)。根据上述构成，由于使第1绝缘层的表面亲液化，所以在整个第1绝缘层上可以形成表面平坦的第2绝缘层。优选上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤。而且，上述步骤(E)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。由上述构成得到的效果之一是，仅用包括光照射的步骤就可以达成第1绝缘材料层的固化和第1绝缘层的亲液化。本专利技术的多层结构形成方法使用液滴喷出装置。该多层结构的形成方法包括向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤(C)；向上述第1绝缘层喷出含有第2感光性树脂的第2绝缘材料的液滴，形成覆盖上述第1绝缘层的第2绝缘材料层的步骤(D)；和使上述第2绝缘材料层固化的步骤(E)。根据上述构成，由于使第1绝缘层的表面亲液化，所以在第1绝缘层上可以形成厚度均匀的第2绝缘层。优选上述步骤(B)包括向上述第1绝缘材料层照射第1波长的光，使上述第1绝缘材料层固化的步骤。而且，上述步骤(C)包括向上述第1绝缘层的表面照射与上述第1波长不同的第2波长的光，使上述第1绝缘层的表面亲液化的步骤。由上述构成得到的效果之一是，仅用包括光照射的步骤就可以达成第1绝缘材料层的固化和第1绝缘层的亲液化。另外，本专利技术可以在各种方式中实现。例如，本专利技术可以在配线基板的制造方法和电子仪器的制造方法的方式中实现。附图说明图1是表示本实施方式的液滴喷出装置的模式图。图2(a)和(b)是表示液滴喷出装置中的喷墨头的模式图。图3是液滴喷出装置中的控制部的功能方块图。图4的(a)至(d)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。图5的(a)至(c)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。图6的(a)至(d)是说明本实施方式的配线基板的制造方法的图。图7是本实施方式的液晶显示装置的模式图。图8是表示本实施方式的移动电话机的模式图。图9是表示本实施方式的个人计算机的模式图。图中7-绝缘层，7A-第1绝缘材料，7B-第1绝缘材料层，8-导电层，8A-导电性材料，8B-导电性材料层，9-第1绝缘层，9A-第2绝缘材料，9B-第2绝缘材料层，10-配线基板，10A-基板，10B-基体，25-半导体元件，32-液晶面板，34-液晶显示装置，1、2、3-液滴喷出装置，104-第1位置控制装置，106-台架108-第2位置控制装置，112-控制部，114-喷墨头，118-喷嘴，140-光照射装置，500-移动电话机520-电光学装置，600-个人计算机，620-电光学装置具体实施方式(A.液滴喷出装置的整体构成)本实施方式的制造装置具有3个液滴喷出装置。3个液滴喷出装置是分别喷出绝缘材料7A(图1)、导电性材料8A、绝缘材料9A的装置。另外，如后所述，这些绝缘材料7A、导电性材料8A、绝缘材料9A都是液状材料的一种。图1所示的喷出装置1是基本的喷墨装置。更具体地说，液滴喷出装置1备有保持液状材料111的容器101、导管110、基础台架GS、喷头部103、台架106、第1位置控制装置104、第2位置控制装置108、控制部112、光照装置140和支持部104a。而且，其它2个液滴喷出装置2、3的结构和功能与液滴喷出装置1的结构和功能基本相同，因此，省略该2个液滴喷出装置2、3的结构和功能的说明。喷头部103保持喷墨头114(图2)。该喷墨头114根据来自控制部112的信号喷出液状材料111的液滴。另外，喷头部103中的喷墨头114由管道110与容器101连接着，因此，可以将液状的材料111从容器101供给喷墨头114。台架106提供用于固定基板10A的平面。另外，台架106具有用吸引力固定基板10A的位置的功能。这里，基板10A是由聚酰亚胺构成的挠性基板，其形状是带状。而且，基板10A的两端由未图示的一对卷筒所固定。第1位置控制装置104通过支持部104a被固定在由基础台架GS所定的高度的位置上。该第1位置控制装置104具有根据来自控制部112的信号使喷头部103沿X轴方向和与X轴方向垂直的Z轴方向移动的功能。另外，第1位置控制装置104还具有在旋转与Z轴平行的轴时旋转喷头部103的功能。这里，在本实施方式中，Z轴方向是与垂直方向(即，重力加速度方向)平行的方向。第2位置控制装置108根据来自控制部112的信号使台架106在基础台架GS上沿Y轴方向移动。这里，Y轴方向是与X轴方向和Z轴方向的双方垂直的方向。具有上述那样功能的第1位置控制装置104的构成和第2位置控制装置108的构成可以使用利用线性马达和伺服马达的公知的XY自动装置来实现。因此在此省略其详细的构成的说明。另外，在本说明书中，将第1位置控制装置104和第2位置控制装置108表记为“自动装置”或者“扫描部”。如上所述，通过第1位置控制装置104喷头部103沿X轴方向移动。而且，通过第2位置控制装置108，基板10A与台架106一起沿Y轴方向移动。其结果，相对于基板10A的喷墨头114的相对位置被改变。更具体地说，通过这些动作，喷头部103、喷墨头114或者喷嘴118(图2)相对于基板10A在Z轴方向上保持所定的距离，同时在X轴方向和Y轴方向上相对地移动，即，相对地扫描。所谓“相对移动”或者“相对扫描”是指喷出液状材料111的一侧和由那里的喷出物弹落的一侧(被喷出部)的至少一方相对于另一方相对移动。控制部112构成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层结构形成方法，是使用液滴喷出装置的多层结构的形成方法，其特征在于，包括：　　　　向物体表面喷出含有第１感光性树脂的第１绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第１绝缘材料层的步骤（Ａ）；　　　　使上述第１绝缘材料层固化而得到第１绝缘层的步骤（Ｂ）；　　　　向上述第１绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第１绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤（Ｃ）；和　　　　使上述导电性材料层的图案活性化，在上述第１绝缘层上形成配线图案的步骤（Ｄ）。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：新馆刚，桜田和昭，山田纯，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]