一种半导体框架粘芯装置制造方法及图纸

技术编号:37184474 阅读:35 留言:0更新日期:2023-04-20 22:48
本申请公开了一种半导体框架粘芯装置,涉及芯片加工设备领域,包括承载板和输送机构一,承载板上安装有多个基片,还包括固定板和输送机构二,固定板上开设有多个安装孔,还包括移料机构,安装孔内设有用于承载芯片的承载机构,承载机构包括多个安装在安装孔内的导向架,多个导向架围设成供芯片竖直插入并限制芯片水平移动的导向空间,导向架上滑动连接有挡块,挡块滑出导向空间以使芯片脱离导向空间并掉落在基片上;本申请通过通过驱动组件使挡块滑出导向空间,则导向空间的芯片能掉落在基片上,在整个工作过程中,导向空间可以防止芯片在下移过程中产生水平位移,改善芯片摆放在基片上容易出现误差的状况。片上容易出现误差的状况。片上容易出现误差的状况。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体框架粘芯装置


[0001]本申请涉及芯片加工设备领域,尤其是涉及一种半导体框架粘芯装置。

技术介绍

[0002]在芯片制作完成后,需要将芯片粘接在半导体框架上(及基片),基片承担芯片底座的角色,而将芯片粘接在基片上的过程称为粘芯。
[0003]相关技术中,在粘芯过程中,先在基片上涂上一层焊剂(焊剂具有粘性,在芯片焊接前,基片通过焊剂能牢牢地固定住芯片,防止芯片偏移),然后再通过机械臂将制作好的芯片摆放在基片上,检测芯片摆放在基片上的位置是否达标后,再送至焊接工序。
[0004]针对上述相关技术,由于芯片摆放在基片上的位置精度要求非常高,而通过机械臂吸取芯片时,一方面由于机械臂受程序控制,容易出现误差,且机械臂要达到高精度位移,成本较大,另一方面当芯片初始的摆放位置出现轻微误差后,机械臂依旧能吸取芯片,但将芯片摆放在基片上时,芯片的摆放位置会出现误差,从而导致芯片加工不达标,因此在相关技术中,需要设置检测机构,检测芯片摆放在基片上的位置是否达标,而通过增加检测机构,增加了芯片的加工工序,影响加工效率,另外通过检测机构也只本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体框架粘芯装置,包括承载板(2)和用于输送承载板(2)的输送机构一(1),所述承载板(2)上安装有多个基片(5),还包括用于对承载板(2)上的基片(5)上表面注射焊剂的注液机构(6),其特征在于:还包括固定板(3)和用于输送固定板(3)的输送机构二(4),所述固定板(3)上开设有多个安装孔(8),还包括移料机构(7),所述移料机构(7)用于将输送机构一(1)上的承载板(2)移送至固定板(3)下方并带动承载板(2)竖直上移以使多个基片(5)一一对应插入在多个安装孔(8)中,所述安装孔(8)内设有用于承载芯片(46)的承载机构,所述承载机构包括多个安装在安装孔(8)内的导向架(9),多个导向架(9)围设成供芯片(46)竖直插入并限制芯片(46)水平移动的导向空间(12),所述导向架(9)上滑动连接有挡块(13),所述挡块(13)能滑入或滑出所述导向空间(12),所述挡块(13)滑入所述导向空间(12)以限制所述芯片(46)脱离导向空间(12),所述挡块(13)滑出所述导向空间(12)以使芯片(46)脱离导向空间(12)并掉落在基片(5)上;所述挡块(13)通过驱动组件滑动。2.根据权利要求1所述的一种半导体框架粘芯装置,其特征在于:所述驱动组件包括推杆(15),所述推杆(15)沿竖直方向滑动连接在安装孔(8)内壁上,所述基片(5)竖直插入所述安装孔(8)以推动所述推杆(15)上移;所述推杆(15)竖直上移的过程中通过传动件带动挡块(13)滑出所述导向空间(12)。3.根据权利要求2所述的一种半导体框架粘芯装置,其特征在于:所述传动件包括活塞杆(19),所述导向架(9)内设有气腔(22),所述活塞杆(19)一端设置在所述气腔(22)中,所述活塞杆(19)另一端伸出所述气腔(22),所述导向架(9)上开设有供所述挡块(13)完全滑入的滑槽(14),所述滑槽(14)连通所述气腔(22),所述活塞杆(19)伸出所述气腔(22)的一端开设有位移槽(23),所述推杆(15)竖直上移以插入所述位移槽(23),所述位移槽(23)一侧设有导向面(24),所述导向面(24)供所述推杆(15)抵接并在推杆(15)竖直上移过程中使活塞杆(19)水平移动以使挡块(13)完全滑入滑槽(14);所述导向架(9)上设有用于复位所述活塞杆(19)的弹簧一(25)。4.根据权利要求3所述的一种半导体框架粘芯装置,其特征在于:所述安装孔(8...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱文锋朱文伟朱泽锋
申请(专利权)人:深圳市三联盛科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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