【技术实现步骤摘要】
衬底处理方法及衬底处理装置
[0001]本专利技术涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。
技术介绍
[0002]专利文献1所记载的衬底处理装置具备处理槽、衬底保持部、流体供给部、及控制部。处理槽贮存用来对衬底进行处理的处理液。衬底保持部将衬底保持在处理槽的处理液内。流体供给部对处理槽供给流体。流体是气体。控制部控制流体供给部。控制部以如下方式控制流体供给部，即，在对贮存着浸渍有衬底的处理液的处理槽开始供给流体后至对贮存着浸渍有衬底的处理液的处理槽结束供给流体的期间，使流体供给部变更流体的供给。
[0003][
技术介绍
文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2020
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47885号公报
技术实现思路
[0006][专利技术要解决的问题][0007]然而，专利文献1所记载的衬底处理装置中，处理液是磷酸。即，处理液为酸性。
[0008]但且说，本案的专利技术人关于处理液为碱性时，处理液中的溶存氧浓度对衬底的处理带来影响的可能性，获得了新的见解。由此，本案专...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种衬底处理方法，通过衬底处理装置来执行，该衬底处理装置具备处理槽、及配置在所述处理槽的内部的气泡供给管，且所述衬底处理方法包括：浸渍工序，将衬底浸渍于所述处理槽中所贮存的碱性处理液中；以及气泡供给工序，在所述衬底浸渍于所述碱性处理液中的状态下，从所述衬底的下方对所述碱性处理液，从设置在所述气泡供给管的多个气泡孔的各者供给气泡。2.根据权利要求1所述的衬底处理方法，其中所述衬底处理装置还具备在所述处理槽的内部配置在所述气泡供给管的下方的板，所述衬底处理方法还包括处理液导入工序，即，在所述碱性处理液贮存在所述处理槽中的状态下，从设置在所述板的多个处理液孔向上方对所述处理槽导入碱性处理液。3.根据权利要求1或2所述的衬底处理方法，所述衬底处理装置具备多个所述气泡供给管，所述衬底处理方法还包括气泡调节工序，即，针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡。4.根据权利要求3所述的衬底处理方法，其中在所述气泡供给工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对所述气泡供给管供给气体，而从所述气泡孔对所述碱性处理液供给所述气泡，在所述气泡调节工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对用于调节所述气泡的控制对象进行控制，而针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡，所述控制对象包括所述气体的流量、所述气体的供给时序、及所述气体的供给期间中的至少一者。5.根据权利要求4所述的衬底处理方法，其中在所述气泡调节工序中，根据表示将所述衬底浸渍于所述碱性处理液之前的所述衬底的处理量的物理量，而针对每个所述气泡供给管来对所述控制对象进行控制。6.根据权利要求3所述的衬底处理方法，其中在所述气泡供给工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对所述气泡供给管供给气体，而从所述气泡孔对所述碱性处理液供给所述气泡，在所述气泡调节工序中，使用通过对学习数据进行学习来构建的学习完毕模型，而针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡，所述学习数据包括浸渍前处理信息与浸渍后处理信息，所述浸渍前处理信息是表示浸渍于所述碱性处理液之前的学习对象衬底的处理量的物理量的信息，所述浸渍后处理信息是表示浸渍于所述碱性处理液中并从所述碱性处理液中提起后的所述学习对象衬底的处理量的物理量的信息，所述学习数据在所述学习对象衬底浸渍于所述碱性处理液中的情况下，还包括表示所述气体的流量的流量信息、表示所述气体的供给时序的时序信息、及表示所述气体的供给期间的期间信息中的至少1个信息，在所述气泡调节工序中，将输入信息输入至所述学习完毕模型，并从所述学习完毕模型获取输出信息，所述输入信息包括表示浸渍于所述碱性处理液之前的所述衬底的处理量的物理量的
信息，所述输出信息包括表示控制对象的信息，所述控制对象在所述衬底浸渍于所述碱性处理液中的情况下，包括所述气体的流量、所述气体的供给时序、及所述气体的供给期间中的至少一者，所述气泡调节工序中，根据所述输出信息来调节所述气泡。7.根据权利要求3所述的衬底处理方法，其中在所述气泡供给工序中，通过针对每个所述气泡供给管来对所述气泡供给管供给气体，而从所述气泡孔对所述碱性处理液供给所述气泡，在所述气泡调节工序中，使用通过对学习数据进行学习来构建的学习完毕模型，而针对每个所述气泡供给管来调节所述气泡，所述学习数据包括浸渍前处理信息与浸渍后处理信息，所述浸渍前处理信息是表示浸渍于所述碱性处理液之前的学习对象衬底的处理量的物理量的信息，所述浸渍后处理信息是表示浸渍于所述碱性处理液中并从所述碱性处理液中提起后的所述学习对象衬底的处理量的物理量的信息，所述学习数据在所述学习对象衬底浸渍于所述碱性处理液中的情况下，还包括表示所述气体的流量的流量信息、表示所述气体的供给时序的时序信息、及表示所述气体的供给期间的期间信息中的至少1个信息，在所述气泡调节工序中，将输入信息输入至所述学习完毕模型，并从所述学习完毕模型获取输出信息，所述输入信息包括表示浸渍于所述碱性处理液之前的所述衬底的处理量的物理量的信息、及表示控制对象的信息，所述控制对象在所述衬底浸渍于所述碱性处理液中的情况下，包括所述气体的流量、所述气体的供给时序、及所述气体的供给期间中的至少一者，所述输出信息包括表示所述输入信息的聚类结果的信息，在所述气泡调节工序中，根据所述输出信息来对所述控制对象进行控制。8.根据权利要求1、2、4、5、6或7所述的衬底处理方法，其中所述气泡供给管具有亲水性。9.根据权利要求8所述的衬底处理方法，其中所述气泡供给管的原材料是石英或聚醚醚酮。10.一种衬底处理装置，具备：处理槽，贮存碱性处理液；衬底保持部，保持衬底并将所述衬底浸渍于所述处理槽中所贮存的所述碱性处理液中；以及气泡供给管，具有多个气泡孔并且配置在所述处理槽的内部，在所述衬底浸渍于所述碱性处理液中的状态下，从所述衬底的下方对所述碱性处理液，从所述多个气泡孔的各者供给气泡。11.根据权利要求10所述的衬底...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊豆田崇，田尻博纪，折坂昌幸，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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