【技术实现步骤摘要】
一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备
[0001]本技术涉及加水设备
，特别涉及一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备。
技术介绍
[0002]因半导体产业中，芯片制造工艺中的硅片湿制程需求，硅片在湿制程加工过程中需浸泡在水中，且该制程中的水介质需要定期更换，目前FAB中多为人工手动加水，增加了工厂的人力成本，降低了生产效率。
[0003]普通的加水设备就只是在水龙头上加个电磁阀，实现一定的自动控制，但是为了够到移动机器人的水箱，水龙头一定会伸出一段距离，容易被工人或移动机器人在行走时碰到。
[0004]因此有必要提供一种新的专用加水设备来解决以上问题。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的是为了提供一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，既能完成对硅片湿制程智能型搬运机器人的水箱的注水，又能在不工作时隐藏注水管。
[0006]本技术通过如下技术方案实现上述目的：
[0007]一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，包括支架、设于所...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，其特征在于：包括支架、设于所述支架上的移动机构和由所述移动机构驱动的送水管道，所述送水管道包括相连的水平管和注水管，所述注水管用来向下往搬运机器人水箱加水，所述移动机构用来驱动所述送水管道沿着所述水平管的轴向伸缩，所述送水管道上设有用来控制所述送水管道中加水的电磁阀。2.根据权利要求1所述的专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，其特征在于：所述移动机构包括用来固定所述送水管道的移动架以及驱动所述移动架水平移动的气缸，所述电磁阀设于所述移动架的上方。3.根据权利要求1所述的专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，其特征在于：所述支架上设有的控制箱，所述控制箱上设有用来控制所述电磁阀的运行和所述送水管道的伸出的启动按钮、用来关闭设备的关机按钮、用来紧急停止所述电磁阀的急停按钮以及用来显示设备状态的人机交互界面。4....
【专利技术属性】
技术研发人员：王致壬，钟秋振，关慷慨，
申请(专利权)人：友上智能科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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