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本实用新型属于加水设备技术领域，特别涉及一种专用于硅片湿制程智能型搬运机器人的加水设备，包括支架、设于所述支架上的移动机构和由所述移动机构驱动的送水管道，所述送水管道包括相连的水平管和注水管，所述注水管用来向下往搬运机器人水箱加水，所述移动...
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