【技术实现步骤摘要】
本技术属于生产运输，尤其涉及一种硅片晶棒滚磨机自动上下料装置。
技术介绍
1、先进制程半导体代工厂对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，人工搬送已经无法满足生产的需要，同时考虑操作安全、产品良率及产能效率等因素的影响，对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，传统的由移动机器人送入硅片晶棒至滚磨机后还要再进行位置调整，每个硅片晶棒重达80-150公斤，滚磨车间的上下料工序劳动强度大，利用移动机器人抓手进行硅片晶棒的位置导正，最后送入滚磨机里进行加工。硅片晶棒进入滚磨机的位置有严格要求，但移动机器人的调整的角度精度有限，硅片晶棒过大的重量导致其调整精度存在操作不便情况。因此，有必要提供一种滚磨机自动上下料装置来解决以上问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，从而实现硅片晶棒自动上下料作业，下料前调整定位姿态，并进行尺寸信息检测，为送入滚磨机前做好定位准备。为了达到上述目的，本技术技术方案如下：
2、硅片晶棒滚磨机自动上下料装置...
【技术保护点】
1.硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，其特征在于：包括受驱动升降设置的接驳台、设置于接驳台内且同向驱动旋转的若干辊筒、设置于接驳台内部两侧相对夹持作用的一组夹板、设置于接驳台侧边的移动模组、以及安装于移动模组上且旋转驱动的限位杆；若干所述辊筒滚动定位承载有硅片晶棒的载具至接驳台的设定端，所述限位杆上设置有抵靠硅片晶棒端面的接触传感器，所述移动模组上设置有用于检测限位杆位移距离的长度测量传感器。
2.根据权利要求1所述的硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，其特征在于：所述接驳台安装于工作箱上，所述工作箱内设置有容置空间，所述容置空间内设置有驱动接驳台升降的升降驱动装置
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【技术特征摘要】
1.硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，其特征在于：包括受驱动升降设置的接驳台、设置于接驳台内且同向驱动旋转的若干辊筒、设置于接驳台内部两侧相对夹持作用的一组夹板、设置于接驳台侧边的移动模组、以及安装于移动模组上且旋转驱动的限位杆；若干所述辊筒滚动定位承载有硅片晶棒的载具至接驳台的设定端，所述限位杆上设置有抵靠硅片晶棒端面的接触传感器，所述移动模组上设置有用于检测限位杆位移距离的长度测量传感器。
2.根据权利要求1所述的硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，其特征在于：所述接驳台安装于工作箱上，所述工作箱内设置有容置空间，所述容置空间内设置有驱动接驳台升降的升降驱动装置。
3.根据权利要求1所述的硅片晶棒滚磨机自动上下料装置，其特征在于：所述接驳台包括两侧间隔设置的支撑板，两侧的所述支撑板之间设置有若干等距间隔布置的若干辊筒，一侧支撑板的内部设置有驱动若干辊筒旋转的同步驱动装置。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟秋振，王致壬，许家玮，
申请(专利权)人：友上智能科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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