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本技术揭示了硅片晶棒滚磨机自动上下料装置,包括受驱动升降设置的接驳台、设置于接驳台内且同向驱动旋转的若干辊筒、设置于接驳台内部两侧相对夹持作用的一组夹板、设置于接驳台侧边的移动模组、以及安装于移动模组上且旋转驱动的限位杆;若干所述辊筒滚动定...该专利属于友上智能科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友上智能科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本技术揭示了硅片晶棒滚磨机自动上下料装置,包括受驱动升降设置的接驳台、设置于接驳台内且同向驱动旋转的若干辊筒、设置于接驳台内部两侧相对夹持作用的一组夹板、设置于接驳台侧边的移动模组、以及安装于移动模组上且旋转驱动的限位杆;若干所述辊筒滚动定...