下载一种半导体框架粘芯装置的技术资料

文档序号:37184474

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本申请公开了一种半导体框架粘芯装置,涉及芯片加工设备领域,包括承载板和输送机构一,承载板上安装有多个基片,还包括固定板和输送机构二,固定板上开设有多个安装孔,还包括移料机构,安装孔内设有用于承载芯片的承载机构,承载机构包括多个安装在安装孔内...
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