光罩吸取器制造技术

本公开是关于一种光罩吸取器，所述光罩吸取器包括：承载平台、负压发生机构、以及至少两个吸盘。本公开通过滑动吸盘，使得两个工作面共面的吸盘分别移动至与目标器件上的目标位置对应的位置处，并通过负压发生机构产生传递至吸盘处的负压将目标器件吸附，使吸盘与目标器件紧密贴合，即可通过吸盘固定目标器件并通过移动吸盘实现目标器件的拿取和放置，减少人体与目标器件之间的直接接触，避免了操作者受操作空间限制而拿取目标器件的操作发生变形的可能，减小了操作者受伤的可能的同时减小了目标器件掉落受损的可能。目标器件掉落受损的可能。目标器件掉落受损的可能。

【技术实现步骤摘要】
光罩吸取器


[0001]本公开涉及半导体的
，尤其涉及一种光罩吸取器。

技术介绍

[0002]当前，光刻机在进行曝光时，通过机台内的传输系统进行光罩的交换、取出和放入，当机器发生故障时，机台内的光罩无法通过系统自动传出，需要人工拿取。人工拿取时需要把手臂等部位伸入设备内部，设备内部可操作空间和可观察空间均较小，通过人工拿取光罩存在光罩脱落或损伤的风险。

技术实现思路

[0003]以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0004]为克服相关技术中存在的问题，本公开提供了一种光罩吸取器。
[0005]本公开实施例提供了一种光罩吸取器，所述光罩吸取器包括：承载平台、负压发生机构、以及至少两个吸盘；承载平台用于连接负压发生机构，并用于固定支撑所述吸盘；负压发生机构用于产生负压并将产生的负压传递至所述吸盘的工作面；所述吸盘至少有两个且能够相对所述承载平台滑动，且至少两个所述吸盘的滑动方向相对或向背设置，至少两个所述吸盘的工作面共面。
[0006]根据本公开的一些实施例，所述承载平台包括用于支撑并固定所述负压发生机构的支撑座以及用于支撑并固定所述吸盘的支撑臂，所述支撑臂滑动连接于支撑座上。
[0007]根据本公开的一些实施例，所述支撑臂包括与所述支撑座滑动连接的摆臂以及与所述摆臂铰接的转臂，所述吸盘与所述转臂连接并能够相对于所述转臂转动，所述吸盘的转动轴线至少平行于所述转臂的转动轴线。
[0008]根据本公开的一些实施例，所述摆臂的一端与所述支撑座滑动连接，所述摆臂的另一端与所述转臂的一端铰接，所述吸盘转动连接于所述转臂的另一端。
[0009]根据本公开的一些实施例，所述吸盘的转动轴线与所述吸盘的重心位于同一竖直面。
[0010]根据本公开的一些实施例，所述摆臂上固定连接有用于驱动所述转臂绕定轴360
°
转动的驱动组件。
[0011]根据本公开的一些实施例，所述摆臂上固定连接有用于驱动所述转臂保持目标姿态的转动锁止组件；或，所述驱动组件驱动所述转臂保持目标姿态。
[0012]根据本公开的一些实施例，所述承载平台上固定连接有用于驱动所述摆臂滑移的动力组件。
[0013]根据本公开的一些实施例，所述承载平台上固定连接有用于驱动所述摆臂停留在目标位置的固定组件；或，所述动力组件驱动所述摆臂停留在目标位置。
[0014]根据本公开的一些实施例，所述负压发生机构包括负压发生器以及软管，所述软
管连通所述负压发生器与所述吸盘。
[0015]根据本公开的一些实施例，所述负压发生机构还包括操作柄，所述操作柄的两端分别连接所述负压发生器和所述承载平台。
[0016]根据本公开的一些实施例，所述操作柄中空设置，所述软管穿过所述操作柄与所述负压发生器连接；或，所述操作柄的两端分别连通所述软管和所述负压发生器。
[0017]根据本公开的一些实施例，所述承载平台内部开设有用于容纳所述软管的容纳腔，至少部分所述软管以弯折姿态和/或压缩姿态位于所述容纳腔内部。
[0018]根据本公开的一些实施例，所述承载平台上设有用于与目标器件通信定位的信号模组，所述信号模组至少用于获取所述目标器件的位置信息并与自身位置信息比对。
[0019]根据本公开的一些实施例，所述信号模组包括用于连接在所述目标器件上并用于发出所述目标器件的位置信号的定位芯片，以及用于接收并比对所述目标器件的位置信号的处理单元。
[0020]本公开的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：通过滑动吸盘，使得两个工作面共面的吸盘分别移动至与目标器件上的目标位置对应的位置处，并通过负压发生机构产生传递至吸盘处的负压将目标器件吸附，使吸盘与目标器件紧密贴合，即可通过吸盘固定目标器件并通过移动吸盘实现目标器件的拿取和放置，减少人体与目标器件之间的直接接触，避免了操作者受操作空间限制而拿取目标器件的操作发生变形的可能，减小了操作者受伤的可能的同时减小了目标器件掉落受损的可能。
[0021]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。
附图说明
[0022]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。
[0023]图1是根据一示例性实施例示出的光罩结构的示意图。
[0024]图2是根据一示例性实施例示出的承载平台结构的示意图。
[0025]图3是根据一示例性实施例示出的支撑臂结构的示意图。
[0026]图4是根据一示例性实施例示出的软管底端位置的示意图。
[0027]图5是根据一示例性实施例示出的容纳腔位置的示意图。
[0028]附图标记
[0029]1、负压发生机构；11、负压发生器；12、软管；13、操作柄；2、承载平台；21、支撑座；22、滑槽；23、容纳腔；24、信号模组；3、支撑臂、31、摆臂；32、转臂；4、吸盘；5、图案区；51、非图案区；52、定位芯片；53、真空吸孔；6、动力组件；61、固定组件；7、滑块；8、驱动组件；81、转动锁止组件。
具体实施方式
[0030]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有
做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
[0031]如
技术介绍
所言，当前，光刻机在进行曝光时，通过机台内的传输系统进行光罩的交换、取出和放入，当机器发生故障时，机台内的光罩无法通过系统自动传出，需要人工拿取。人工拿取时需要把手臂等部位伸入设备内部，设备内部可操作空间和可观察空间均较小，通过人工拿取光罩存在光罩脱落或损伤的风险。
[0032]基于此本公开提供了一种光罩吸取器，通过滑动吸盘，使得两个工作面共面的吸盘分别移动至与目标器件上的目标位置对应的位置处，并通过负压发生机构产生传递至吸盘处的负压将目标器件吸附，使吸盘与目标器件紧密贴合，即可通过吸盘固定目标器件并通过移动吸盘实现目标器件的拿取和放置，减少人体与目标器件之间的直接接触，避免了操作者受操作空间限制而拿取目标器件的操作发生变形的可能，减小了操作者受伤的可能的同时减小了目标器件掉落受损的可能。
[0033]本公开示例性的实施例中提供一种光罩吸取器，如图1所示，图1是根据一示例性实施例示出的光罩结构的示意图；图2是根据一示例性实施例示出的承载平台结构的示意图；图3是根据一示例性实施例示出的支撑臂结构的示意图；图4是根据一示例性实施例示出的软管底端位置的示意图；图5是根据一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩吸取器，其特征在于，所述光罩吸取器包括：承载平台、负压发生机构、以及至少两个吸盘；承载平台用于连接负压发生机构，并用于固定支撑所述吸盘；负压发生机构用于产生负压并将产生的负压传递至所述吸盘的工作面；所述吸盘至少有两个且能够相对所述承载平台滑动，且至少两个所述吸盘的滑动方向相对或向背设置，至少两个所述吸盘的工作面共面。2.根据权利要求1所述的光罩吸取器，其特征在于，所述承载平台包括用于支撑并固定所述负压发生机构的支撑座以及用于支撑并固定所述吸盘的支撑臂，所述支撑臂滑动连接于支撑座上。3.根据权利要求2所述的光罩吸取器，其特征在于，所述支撑臂包括与所述支撑座滑动连接的摆臂以及与所述摆臂铰接的转臂，所述吸盘与所述转臂连接并能够相对于所述转臂转动，所述吸盘的转动轴线至少平行于所述转臂的转动轴线。4.根据权利要求3所述的光罩吸取器，其特征在于，所述摆臂的一端与所述支撑座滑动连接，所述摆臂的另一端与所述转臂的一端铰接，所述吸盘转动连接于所述转臂的另一端。5.根据权利要求4所述的光罩吸取器，其特征在于，所述吸盘的转动轴线与所述吸盘的重心位于同一竖直面。6.根据权利要求3所述的光罩吸取器，其特征在于，所述摆臂上固定连接有用于驱动所述转臂绕定轴360
°
转动的驱动组件。7.根据权利要求6所述的光罩吸取器，其特征在于，所述摆臂上固定连接有用于驱动所述转臂保持目标姿态的转动锁止组件；或，所述驱动组件驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：戎习磊，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：