本发明专利技术实施例属于曝光机技术领域，具体涉及一种光罩存储装置。本发明专利技术实施例旨在解决相关技术中难以确定伸出的光罩的具体位置的技术问题。本发明专利技术实施例的光罩存储装置，包括机架和距离检测装置，机架上设置有存储空间，存储空间内用于存储多个光罩，多个光罩平行且间隔的设置；机架与水平面垂直的开口端上设置有连通至存储空间的开口；距离检测装置设置于开口端上，距离检测装置产生的检测信号与光罩垂直。本发明专利技术实施例所提供的光罩存储装置，能够确定伸出的光罩的具体位置，便于后续对伸出的光罩进行调整。光罩进行调整。光罩进行调整。
【技术实现步骤摘要】
光罩存储装置
[0001]本专利技术属于曝光机领域，尤其涉及一种光罩存储装置。
技术介绍
[0002]曝光机上设置有用于存储光罩的光罩存储装置。光罩存储装置包括机架，机架内设置有用于容纳光罩的具有开口的存储空间。光罩经开口放入存储空间内，或存储空间内的光罩经开口取出。
[0003]相关技术中，光罩存储装置还包括位移检测组件，位移检测组件设置于机架具有开口的端面上。位移检测组件包括光源、反射镜和接收器，光源和接收器间隔设置于开口的第一侧边，反射镜设置于开口与第一侧边相对的第二侧边上，光源发出的光经反射镜反射后由接收器接收，以形成检测光路。当光罩从存储空间的开口处伸出，阻挡检测光路，接收器接收到的光强明显下降。因此当接收器接收到的光强明显下降时，则确定光罩从存储空间内伸出。
[0004]然而，相关技术中的光罩存储装置，仅能确定光罩是否从存储空间内伸出，难以确定伸出的光罩的具体位置。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本专利技术实施例提供一种光罩存储装置，以解决难以确定伸出的光罩的具体位置的技术问题。
[0006]本专利技术实施例提供一种光罩存储装置，包括机架和距离检测装置，所述机架上设置有存储空间，所述存储空间内用于存储多个光罩，多个所述光罩平行且间隔的设置；所述机架与水平面垂直的开口端上设置有连通至所述存储空间的开口；所述距离检测装置设置于所述开口端上，所述距离传感器产生的检测信号与所述光罩垂直。
[0007]如此设置，存储空间内设置多个光罩，多个光罩平行且间隔的设置，机架上具有与水平面垂直的开口端，开口端上设置有连通存储空间的开口；距离检测装置设置在开口端上，距离检测装置产生的检测信号与伸出的光罩垂直，当光罩由开口伸出时，距离检测装置产生的检测信号在该光罩上发生反射，进而检测出该光罩沿垂直于光罩方向上的位置，以确定出该光罩在存储空间内的位置。
[0008]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述距离检测装置为多个，多个所述距离检测装置沿垂直于所述开口端的方向等间隔设置。
[0009]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述距离检测装置包括反射式光电传感器。
[0010]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述光罩存储装置还包括位移调整组件以及控制装置，所述控制装置与所述距离检测装置和所述位移调整组件电连接；所述控制装置用于在所述距离检测装置检测到所述光罩由所述开口伸出时，控制所述位移调整组件将对应的所述光罩移动至所述开口内。
[0011]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述位移调整组件包括与所述控制装置连接的多个直线驱动机构，每一所述直线驱动机构与所述光罩一一对应设置。
[0012]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述存储空间内设置有多个横梁组件，多个所述横梁组件沿垂直于所述光罩的方向间隔的设置；所述横梁组件包括平行且相对设置的第一横梁和第二横梁、以及滑设在所述第一横梁上的第一滑套和滑设在所述第二横梁上的第二滑套，所述第一滑套和所述第二滑套用于支撑所述光罩，所述直线驱动机构与所述第一滑套和所述第二滑套连接。
[0013]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述位移调整组件还包括位移测量机构，所述位移测量机构与所述第一滑套或所述第二滑套连接，所述位移测量机构用于测量所述第一滑套和所述第二滑套的移动距离。
[0014]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述直线驱动机构包括直线电机，所述直线电机包括定子和动子，所述定子固定连接于所述机架上，所述动子与所述第一滑套和所述第二滑套连接。
[0015]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述位移调整组件还包括第一限位块，所述第一限位块与所述机架连接；所述第一限位块用于与所述动子抵接，以对所述动子进行限位。
[0016]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述位移测量机构包括光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和读数头，所述标尺光栅沿所述定子的延伸方向设置，所述标尺光栅安装于所述机架上；所述读数头与所述标尺光栅配合，所述读数头与所述动子连接。
[0017]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述位移调整组件还包括第二限位块，所述第二限位块与所述机架连接；所述第二限位块用于与所述第一滑套或所述第二滑套抵接，以对所述第一滑套或所述第二滑套进行限位。
[0018]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述光罩存储装置还包括振动测量组件，所述振动测量组件安装于所述机架上，所述振动测量组件用于采集所述机架的振动频率。
[0019]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述振动检测组件为多个，所述机架呈长方体状，所述开口端位于所述机架的第一表面，所述机架中与所述第一表面相对的第二表面、以及与所述第一表面垂直且相对的第三表面和第四表面上均设置有所述振动检测组件，并且所述第三表面和所述第四表面与水平面垂直。
[0020]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述光罩存储装置还包括倾斜测量组件，所述倾斜测量组件与机架连接，所述倾斜测量组件用于检测所述机架的倾斜度。
[0021]在可以包括上述实施例的一些实施例中，所述倾斜测量组件包括支撑架、第一压力传感器、第二压力传感器、第三横梁和轮对，所述支撑件安装于所述机架上，所述支撑件上设置有容纳槽，所述容纳槽的底面水平设置，所述容纳槽具有第三侧壁和第四侧壁，第三侧壁和第四侧壁相对设置，第三侧壁和第四侧壁均与所述底面垂直；所述第一压力传感器安装于所述第三侧壁上，所述第二压力传感器安装于所述第四侧壁上；所述第三横梁与所述轮对均位于所述容纳槽内，所述轮对安装于所述第三横梁的下表面上，所述轮对沿所述底面滚动，所述第三横梁的两端分别与所述第一压力传感器和所述第二压力传感器抵接。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术实施例提供的光罩存储装置的剖视结构示意图；
[0024]图2为图1中光罩存储装置的A
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A向剖视结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例另一实现方式的光罩存储装置的结构示意图；
[0026]图4为图1中光罩存储装置的B
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B向剖视结构示意图；
[0027]图5为光罩由开口伸出存储空间的结构示意图；
[0028]图6为位移调整组件将光罩拉回存储空间内的结构示意图；
[0029]图7为取走光罩后位移调整组件复位的结构示意图；
[0030]图8为图1中倾斜测量组件的结构示意图；
[0031]图9为本专利技术实施例的光罩存储装置的结构框图；
[0032]图10为本专利技术实施例中振动测量组件测得的机架的振动频率变化曲线；
[0033]图11为本专利技术实施例中倾斜本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光罩存储装置，其特征在于，包括机架和距离检测装置，所述机架上设置有存储空间，所述存储空间内用于存储多个光罩，多个所述光罩平行且间隔的设置；所述机架与水平面垂直的开口端上设置有连通至所述存储空间的开口；所述距离检测装置设置于所述开口端上，所述距离检测装置产生的检测信号与所述光罩垂直。2.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述距离检测装置为多个，多个所述距离检测装置沿垂直于所述开口端的方向等间隔设置。3.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述距离检测装置包括反射式光电传感器。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的光罩存储装置，其特征在于，所述光罩存储装置还包括位移调整组件以及控制装置，所述控制装置与所述距离检测装置和所述位移调整组件电连接；所述控制装置用于在所述距离检测装置检测到所述光罩由所述开口伸出时，控制所述位移调整组件将对应的所述光罩移动至所述开口内。5.根据权利要求4所述的光罩存储装置，其特征在于，所述位移调整组件包括与所述控制装置连接的多个直线驱动机构，每一所述直线驱动机构与所述光罩一一对应设置。6.根据权利要求5所述的光罩存储装置，其特征在于，所述存储空间内设置有多个横梁组件，多个所述横梁组件沿垂直于所述光罩的方向间隔的设置；所述横梁组件包括平行且相对设置的第一横梁和第二横梁、以及滑设在所述第一横梁上的第一滑套和滑设在所述第二横梁上的第二滑套，所述第一滑套和所述第二滑套用于支撑所述光罩，所述直线驱动机构与所述第一滑套和所述第二滑套连接。7.根据权利要求6所述的光罩存储装置，其特征在于，所述位移调整组件还包括位移测量机构，所述位移测量机构与所述第一滑套或所述第二滑套连接，所述位移测量机构用于测量所述第一滑套和所述第二滑套的移动距离。8.根据权利要求7所述的光罩存储装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括直线电机，所述直线电机包括定子和动子，所述定子固定连接于所述机架上，所述动子与所述第一滑套和所述第二滑套连接。9.根据权利要求8所述的光罩存储装置，其特征在于，所述位移调整组件还包括第一限位块，所述第一限位块...
【专利技术属性】
技术研发人员：张松，梁学玉，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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