【技术实现步骤摘要】
一种LED芯片巨量转移方法
[0001]本专利技术涉及LED芯片转移
,特别是涉及一种LED芯片巨量转移方法。
技术介绍
[0002]在Mini
‑
LED和Micro
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LED的制程工艺中,LED芯片的巨量转移具有极大的意义,传统工艺中,芯片在转接板上的顶面高度不平齐,容易在芯片转移过程中引发虚焊等产品问题;
[0003]针对上述问题,现有技术在转接板的表面设置有胶粘表层,将芯片置于胶粘表层上后,利用压重结构压芯片顶面,使各芯片陷于胶粘表层中,达到所有芯片顶面高度平齐的目的,同时在压重结构的底面设置弹性膜以保护芯片的方案。
[0004]上述方案中,存在的技术问题为:芯片在受压时,其顶面(弹性膜)和底面(胶粘表层)均处于柔软环境,压重结构按照预设压力或预设高度下压时,如图1和图2所示,芯片受压下行时并不能保持完全竖直向下,有可能因受压不均衡、胶体柔软性局部的不同导致其位置发生偏移,这种偏移可能是高度上的,也可能是横向位置上的,例如图1和图2中所示的虚线位置为芯片本应移动 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED芯片巨量转移方法,其特征在于,包括:转接板,所述转接板上根据待转移芯片位置分布开设有调节槽,所述调节槽内设置有调节板;模型块,所述模型块的形状与待转移芯片的形状相匹配;以及压重结构;将模型块置于调节板上,用压重结构压在模型块上,所述调节板被下压,使得各个模型块的顶面平齐,固定调节板在调节槽中的位置;将待转移的芯片置于各自对应的所述调节板上,将所述转接板上的各芯片的电极与基板上的焊盘对位并焊接固定。2.根据权利要求1所述的LED芯片巨量转移方法,其特征在于,固定调节板在调节槽中的位置包括:在调节槽内设置定位胶,所述定位胶为UV胶,压重结构下压时调节板挤压UV胶向下移动,调节板位移完成后,固化所述定位胶。3.根据权利要求1所述的LED芯片巨量转移方法,其特征在于,在将待转移的芯片置于调节板上之前,对调节板在调节槽中的位置进行检测。4.根据权利要求3所述的LED芯片巨量转移方法,其特征在于,通过测距器检测调节板在调节槽中的位置。5.根据权利要求4所述的LED芯片巨量转移方法,其特征在于,还包括:检测板,所述检测板设置有测距器,所述测距器的位置分布与待检测的调节板的位置分布相匹配;将检测板平行置于...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄招凤,陈罡彪,游燚,陈学志,
申请(专利权)人:深圳市易天半导体设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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