一种晶圆存放框制造技术

本发明专利技术提供一种晶圆存放框，属于半导体硅晶圆生产辅助器具技术领域，晶圆存放框包括：一对相互平行的侧板，且侧板的内壁开设有成对设置的条形槽，两块侧板之间的下方设有支撑板。支撑板的后端转动连接于两块侧板的一端，转动的轴线垂直于侧板，支撑板前端的两侧设有垂直于侧板的连接轴，支撑板两侧的连接轴上均滑动设有卡块，通过卡块抵接于侧板的内壁，以使支撑板固定。存放框不仅方便晶圆的装取，而且能有效防止晶圆掉落。且能有效防止晶圆掉落。且能有效防止晶圆掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆存放框


[0001]本专利技术属于半导体硅晶圆生产辅助器具
，尤其涉及一种晶圆存放框。

技术介绍

[0002]晶圆生产过程中在腐蚀、清洗、涂覆玻璃粉等环节都需要利用存放架对晶圆进行间隔放置。如申请号为202020773634.1的技术专利公开了用于晶圆清洗的片架，其利用成对设置的至少一对放置槽对晶圆进行固定，从其说明书附图中可直接得出，该片架存放晶圆之后，所有的晶圆将处于相同高度位置，虽然放置槽之间具有间隔，但是为了一个片架能放置多片晶圆，其放置槽之间的间隔尺寸并不会太大，晶圆通常会呈现密集的放置状态，不便于晶圆取出。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术不足，本专利技术提供一种晶圆存放框，不仅方便晶圆的装取，而且能有效防止晶圆掉落。
[0004]为了实现本专利技术的目的，拟采用以下方案：一种晶圆存放框，包括：一对相互平行的侧板，且侧板的内壁开设有成对设置的条形槽，两块侧板之间的下方设有支撑板。
[0005]支撑板的后端转动连接于两块侧板的一端，转动的轴线垂直于侧板，支撑板前端的两侧设有垂直于侧板的连接轴，支撑板两侧的连接轴上均滑动设有卡块，通过卡块抵接于侧板的内壁，以使支撑板固定。
[0006]进一步的，两块侧板均开设有弧形孔，支撑板两侧的连接轴分别穿设于对应侧的弧形孔内。
[0007]进一步的，连接轴均套设有弹簧，弹簧位于支撑板与卡块之间，用于向卡块提供向侧板的压力。
[0008]进一步的，卡块朝向支撑板的一侧均设有伸缩杆，伸缩杆的端部穿设于支撑板内，且两根伸缩杆的端部之间具有间隔，伸缩杆的端部均开设有矩形孔，矩形孔的延伸方向与支撑板的长度方向一致，支撑板的前端面穿设有锁块，且锁块沿支撑板的长度方向移动设置，锁块的前端呈V型结构，且V型结构两侧的实体部位分别穿设于两根伸缩杆的矩形孔内，V型结构内部的两个斜面分别与矩形孔的内壁滑动接触。
[0009]进一步的，侧板内壁对应卡块压紧的位置均具有排列设置的齿纹，齿纹的延伸方向平行于侧板的底面。
[0010]进一步的，两块侧板的底部连接于同一块底板，底板为镂空结构，两块侧板的两端各通过一把手相连。
[0011]进一步的，侧板的上方均设有压杆，压杆的两端均通过支杆转动连接于侧板的外端面，压杆朝向侧板的外侧设有摆杆，摆杆的端部通过球铰接结构连接于一拉杆的上端，拉杆的下端分别与支撑板两侧的连接轴相连。
[0012]进一步的，侧板的外壁沿拉杆的布置方向开设有限位槽，拉杆设于限位槽内，且拉杆与限位槽的三个内壁之间均有间隔。
[0013]进一步的，拉杆的下端具有连接孔，且连接孔的两端呈喇叭状，连接轴穿过连接孔。
[0014]本专利技术的有益效果在于：1、通过转动支撑板，可使其相对于侧板的底面倾斜，以使不同条形槽内放置的晶圆呈阶梯状布置，从而方便晶圆的装入及取出。
[0015]2、利用压杆对条形槽内的晶圆压紧，可防止晶圆从存放框中掉落，并且通过支撑板与压杆的同时配合，可使晶圆整体呈现圆柱体的结构，其外壁为整齐结构状态，以方便压杆对所有晶圆进行压紧限位，防止部分晶圆在存放框内晃动。
附图说明
[0016]本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本专利技术的范围。
[0017]图1示出了本申请的一种优选实施例的整体结构示意图。
[0018]图2示出了图1中A处的局部放大图。
[0019]图3示出了图1中B处的局部放大图。
[0020]图4示出了图1中C处的局部放大图。
[0021]图5示出了伸缩杆及锁块在支撑板内的局部结构剖视图。
[0022]图6示出了本申请存放晶圆时的状态示意图。
[0023]图7示出了本申请存放晶圆时的沿连接轴的剖视图。
[0024]图8示出了图7中D处的局部放大图。
[0025]图9示出了图7中E处的局部放大图。
[0026]图10示出了本申请装取晶圆时的状态示意图。
[0027]图11示出了本申请装取晶圆时的沿连接轴的剖视图。
[0028]图中标记：侧板
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1、条形槽
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11、弧形孔
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12、齿纹
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13、底板
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14、把手
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15、限位槽
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16、支撑板
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2、连接轴
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21、限位螺钉
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22、卡块
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3、伸缩杆
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31、矩形孔
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311、弹簧
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4、锁块
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5、压杆
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6、支杆
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61、摆杆
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62、拉杆
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7、71
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连接孔。
具体实施方式
[0029]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本专利技术的实施方式进行详细说明，但本专利技术所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0030]实施例1如图1所示，一种晶圆存放框，包括：一对相互平行的侧板1，且侧板1的内壁开设有成对设置的条形槽11，用于放置晶圆，两块侧板1之间的下方设有支撑板2。
[0031]具体的，如图1所示，支撑板2的后端转动连接于两块侧板1的一端，转动的轴线垂直于侧板1，通过转动支撑板2，可使其相对于侧板1的底面倾斜，以使不同条形槽11内放置的晶圆呈阶梯状布置，从而方便晶圆的装入及取出，支撑板2前端的两侧设有垂直于侧板1
的连接轴21，支撑板2两侧的连接轴21上均滑动设有卡块3，通过卡块3抵接于侧板1的内壁，以使支撑板2固定，从而方便对晶圆进行固定支撑。
[0032]更具体的，两块侧板1的底部连接于同一块底板14，底板14为镂空结构，以减轻晶圆存放框的整体重量，而且方便液体排出，两块侧板1的两端各通过一把手15相连，把手15不仅使晶圆存放框具备了方便持握的结构，而且还提高了两块侧板1之间的结构稳定性。
[0033]优选的，如图1、图2所示，两块侧板1均开设有弧形孔12，弧形孔12的圆弧轴线与支撑板2的转动轴线重合，支撑板2两侧的连接轴21分别穿设于对应侧的弧形孔12内，当支撑板2转动时，连接轴21在弧形孔12内移动，以提高支撑板2的安装及转动时的稳定性。
[0034]进一步优选的，如图2、图3所示，连接轴21均套设有弹簧4，弹簧4位于支撑板2与卡块3之间，用于向卡块3提供向侧板1的压力，从而使卡块3可稳定的压紧在侧板1上，向支撑板2移动卡块3，即可使卡块3从侧板1上松开。
[0035]优选的，如图3、图5所示，卡块3朝向支撑板2的一侧均设有伸缩杆31，伸缩杆31的端部穿设于支撑板2内，且两根伸缩杆31的端部之间具有间隔，伸缩杆31的端部均开设有矩形孔311，矩形孔311的延伸方向与支撑板2的长度方向一致，支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆存放框，包括：一对相互平行的侧板（1），且侧板（1）的内壁开设有成对设置的条形槽（11），两块侧板（1）之间的下方设有支撑板（2），其特征在于，支撑板（2）的后端转动连接于两块侧板（1）的一端，转动的轴线垂直于侧板（1），支撑板（2）前端的两侧设有垂直于侧板（1）的连接轴（21），支撑板（2）两侧的连接轴（21）上均滑动设有卡块（3），通过卡块（3）抵接于侧板（1）的内壁，以使支撑板（2）固定。2.根据权利要求1所述的晶圆存放框，其特征在于，两块侧板（1）均开设有弧形孔（12），支撑板（2）两侧的连接轴（21）分别穿设于对应侧的弧形孔（12）内。3.根据权利要求1所述的晶圆存放框，其特征在于，连接轴（21）均套设有弹簧（4），弹簧（4）位于支撑板（2）与卡块（3）之间，用于向卡块（3）提供向侧板（1）的压力。4.根据权利要求3所述的晶圆存放框，其特征在于，卡块（3）朝向支撑板（2）的一侧均设有伸缩杆（31），伸缩杆（31）的端部穿设于支撑板（2）内，且两根伸缩杆（31）的端部之间具有间隔，伸缩杆（31）的端部均开设有矩形孔（311），矩形孔（311）的延伸方向与支撑板（2）的长度方向一致，支撑板（2）的前端面穿设有锁块（5），且锁块（5）沿支撑板（2）的长度方向移动设置，锁块（5）的前端呈V型结构，且V...

【专利技术属性】
技术研发人员：李健儿，冯永，胡仲波，敬春云，蒋红全，
申请(专利权)人：四川上特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：