等离子清洗载具制造技术

本实用新型专利技术公开了等离子清洗载具，包括凸型底座，所述凸型底座的顶部卡接有与凸型底座配合使用的凹型载板，所述凹型载板底部的左右两侧均开设有燕尾槽，所述燕尾槽的内腔滑动连接有燕尾块，所述燕尾块的顶部固定连接有螺杆，本实用新型专利技术通过设置凸型底座、凹型载板、燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板、L型夹板和限位螺母，能够方便对晶圆进行固定限位，同时，燕尾槽、燕尾块、螺杆、矩形板和限位螺母的设置，能够方便L型夹板左右移动，从而达到对不同尺寸大小的晶圆进行固定限位的效果，通过设置以上结构，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题，从而能够满足客户的需求。从而能够满足客户的需求。从而能够满足客户的需求。

【技术实现步骤摘要】
等离子清洗载具


[0001]本技术涉及等离子清洗载具
，具体为等离子清洗载具。

技术介绍

[0002]在晶圆生产加工时，需要使用到等离子清洗机对其进行清洗，而现有的等离子清洗载具无法有效的对晶圆起到固定作用，易出现晃动的情况，从而让晶圆在清洗加工中出现瑕疵、甚至损坏，所以存在固定效果较差的缺陷，同时，无法满足客户的需求，为此我们提出等离子清洗载具，解决以上提出的问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供等离子清洗载具，具备载具在使用时，能够提供固定效果的优点，解决了原有载具在使用时，固定效果较差的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：等离子清洗载具，包括凸型底座，所述凸型底座的顶部卡接有与凸型底座配合使用的凹型载板，所述凹型载板底部的左右两侧均开设有燕尾槽，所述燕尾槽的内腔滑动连接有燕尾块，所述燕尾块的顶部固定连接有螺杆，所述螺杆的顶部贯穿凹型载板且延伸至凹型载板的外侧，所述凹型载板的外表面套设有矩形板，所述矩形板的一侧固定连接有L型夹板，所述螺杆的外表面螺纹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.等离子清洗载具，包括凸型底座(1)，其特征在于：所述凸型底座(1)的顶部卡接有与凸型底座(1)配合使用的凹型载板(2)，所述凹型载板(2)底部的左右两侧均开设有燕尾槽(3)，所述燕尾槽(3)的内腔滑动连接有燕尾块(4)，所述燕尾块(4)的顶部固定连接有螺杆(5)，所述螺杆(5)的顶部贯穿凹型载板(2)且延伸至凹型载板(2)的外侧，所述凹型载板(2)的外表面套设有矩形板(6)，所述矩形板(6)的一侧固定连接有L型夹板(7)，所述螺杆(5)的外表面螺纹连接有限位螺母(8)，所述燕尾块(4)的顶部并位于螺杆(5)的外侧固定连接有定位筒(9)，所述定位筒(9)的内表面滑动连接有导向杆(10)，所述导向杆(10)的顶部贯穿定位筒(9)且与矩形板(6)固定连接。2.根据权利要求1所述的等离子清洗载具，其特征在于：所述限位螺母(8)的底部固定连接有橡胶垫(11)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建梅，梁向魁，李传辉，
申请(专利权)人：苏州捷思克机电有限公司，
类型：新型
国别省市：