校准用的被识别部件和用其制造诸装置的制造方法制造方法及图纸

一种形成方法，校准用的被识别部件，作为设在决定位置的对象物，而形成图像识别用的标识（２６）的校准用的被识别部件（１２），是具有形成为柱状、将前端面（２９ａ）作了镜面加工的部件主体（２５）、在部件主体（２５）的前端面（２９ａ）的略中央部形成的凹状的标识（２６）。另外，本发明专利技术还提供了具有其的头机构和电子机器及液晶显示装置的制造方法，有机ＥＬ装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，ＰＤＰ装置的制造方法，电泳显示装置的制造方法，滤色器的制造方法，有机ＥＬ的制造方法，衬垫形成方法，金属配线形成方法，透镜形成方法，保护膜形成方法和光扩散体形成方法。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是涉及形成在决定位置的对象物设置的图像识别用的标识的校准用的被识别部件、具有其的头机构和电子机器及使用上述头机构的液晶显示装置的制造方法，有机EL装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，PDP装置的制造方法，电泳显示装置的制造方法，滤色器的制造方法，有机EL的制造方法，衬垫形成方法，金属配线形成方法，透镜形成方法，保护膜形成方法和光扩散体形成方法的专利技术。
技术介绍
过去，作为这种校准用的被识别部件，例如在基板等，利用印刷在其角部及拐角部的标识等。另外，对由喷墨头代表的液滴排出头，在搭载其的托架决定位置时，虽然要求决定规定位置的精度，但以往没有进行由图像识别决定位置的方法。然而，此种液滴排出头，由于从喷嘴列能够精确地并且有选择地喷出微小的液滴，因而在液晶显示装置及有机EL显示装置等的滤色器的制造上可以应用的同时，也可期待其对各种电子仪器及光学仪器等的制造装置的应用。考虑到这样的应用技术，液滴排出头(喷嘴列)位置决定精度，进而搭载其的托架位置决定精度成为重要因素，图像识别的技术成为必要。例如，为了识别托架位置，应用上述基板的识别技术时，在托架的一部分(角部)及标识和它们的背景之间难取得好的对比度，就有产生误识别的担心。另外，在图像识别的识别照相机移动时，就会产生搭载在托架的液滴排出头成为障碍等的问题。本专利技术是以提供下述的部件和方法为课题的构造简单且可以可靠地识别图像的校准用的被识别部件、具有其的头机构和电子机器及使用上述头机构的液晶显示装置的制造方法，有机EL装置的制造方法，电子放射装置的制造方法，PDP装置的制造方法，电泳显示装置的制造方法，滤色器的制造方法，有机EL的制造方法，衬垫形成方法，金属配线形成方法，透镜形成方法，保护膜形成方法和光扩散体形成方法。
技术实现思路
本专利技术的校准用的被识别部件是，设置在决定位置对象物上，形成图像识别用的标识的校准用的被识别部件，其特征在于具有形成为柱状并且镜面加工了前端面的部件主体，和在部件主体的前端面的略中央部形成的凹状标识。由该构成，在略中央部形成凹状的标识的部件主体的前端面，由于被作镜面加工，图像识别在前端面的凹状标识为暗色、镜面加工部分通过光的反射图像识别为亮色，两者的对比度(亮暗)变明显。因此，能够防止图像识别时的误识别，特别是在进行图形识别时，能够防止不能识别(NG)的情形。另外，由于部件主体形成为柱状，能够充分取得设置其的决定位置对象物和识别照相机的离开距离，能够回避设在决定位置对象物的其它部件和识别照相机相互干扰。进而，由于通过在研磨等的镜面加工的面内形成凹状的标识的简单的构造能够得到明显的对比度，因而能够简单地形成校准标识。这时，部件主体形成为略圆柱状、略椭圆柱状或略角柱状，标识以微小的孔加工而形成是理想的。由该构成，在圆形、椭圆形或多角形的白色的略中央部图像识别暗色的标识，特别是在图形识别中，可靠的识别成为可能。另外，由于以微小的孔加工形成标识，能够高精度且简单地形成标识。在这样的时候，部件主体的前端面，形成为在图像识别标识的识别照相机的视野内纳入的大小是理想的。由该构成，在图形识别中，为特别有效且可靠的识别成为可能。本专利技术的头机构，具有隔离开上述本专利技术的两个校准用被识别部件而设置的托架，和搭载在托架的液滴排出头是理想的。由该构成，在液滴排出头向托架的位置决定，及托架向装入这些构件的装置的位置决定时，能够贴切且高精度地进行托架的位置识别。特别是，在托架由于隔离开两个被识别部件而设置，使托架不仅在其X轴方向和Y轴方向的位置而且在θ轴方向(倾斜角度)，也能够高精度地识别位置。另外，作为液滴排出头，还有在压电元件上施以电压利用其变形喷出液滴的方式，及通过加热器瞬时加热液滴，利用其蒸发(体积膨胀)喷出液滴的方式等，无论那种都可以。这时，两个被识别部件的标识，配置在与液滴排出头的喷嘴形成面略平行的平面内是理想的。由该构成，在使用识别照相机进行托架的位置识别时，液滴排出头的位置识别也与此连续进行成为可能。从而，加上托架的位置识别，在有必要进行液滴排出头的位置识别的时候，能够高效率且迅速地进行识别作业。这时，托架形成为略方形，两个被识别部件位于托架的长边方向的略中间位置，且离开短边方向设置是理想的。由该构成，由向托架或识别照相机的一方向的移动，由于能够识别两个被识别部件，则能够迅速地进行识别作业。这时，液滴排出头，其喷嘴面侧从托架突出，被识别部件，其部件主体的前端面配设在位于与液滴排出头的喷嘴形成面略同一平面内是理想的。由该构成，对液滴排出头和为图像识别而相对移动的照相机，能够有效地防止其相互干扰。另外，除了托架的位置识别，在有必要进行液滴排出头的位置识别的时候，没有必要变更识别照相机的焦点位置。本专利技术的电子机器，其特征在于具有上述的本专利技术的头机构，和图像识别两个被识别部件的两个标识的识别照相机，和使头机构和识别照相机相对移动的移动装置。由该构成，通过由移动装置相对移动头机构和识别照相机，识别照相机的视野即使窄，也能够贴切地图像识别离开的两个被识别部件的两个标识。另外，在这里述说的电子机器，搭载以打印机为代表的液滴排出头(喷墨头)的各种电子机器当然包括液滴排出头可以适用的，例如液晶、有机EL、电子放射(FED)、PDP、电泳(E墨)等的显示装置的元件制造装置以外，还含有各种的电子仪器及光学仪器等的制造装置。即，该电子仪器意味着能得到，通过液滴排出头，使液体及微小的小囊等打点状地喷出的各种装置。这时，进一步具有保持头机构的保持装置，保持装置通过由移动装置带动的识别照相机向X轴方向和Y轴方向其中之一的方向的相对移动，将两个标识分别能够取入到视野内地来保持头机构是理想的。由该构成，对头机构(托架)的图像识别，能够由识别照相机向X轴方向和Y轴方向其中之一的方向的单纯相对移动来进行，则能够可靠且迅速地进行图像识别。另外，在图形识别中，能够防止其不能识别(NG)的情形。这时，基于识别照相机的识别结果，进一步具有修正头机构的位置的修正装置是理想的。由该构成，接着头机构(托架)的位置识别，基于其识别结果，能够连续高效率地进行头机构(托架)的位置修正。另外，兼用移动装置和修正装置也成为可能。本专利技术的液晶显示装置的制造方法是，使用上述本专利技术的头机构，在滤色器的基板上形成多数滤清单元的液晶显示装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的滤清材料，通过头机构将多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地喷出滤清材料而形成多个滤清单元。本专利技术的有机EL装置的制造方法是，使用上述本专利技术的头机构，在基板上的多数的像素分别形成EL发光层的有机EL装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的发光材料，通过头机构使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地喷出发光材料地形成多数EL发光层。本专利技术的电子放射装置的制造方法是，使用上述本专利技术的头机构，在电极上形成多个荧光体的电子放射装置的制造方法，其特征在于，在多个液滴排出头导入各种颜色的荧光材料，通过头机构使多个液滴排出头相对于基板进行扫描，有选择地喷出荧光材料而形成多个荧光体。本专利技术的PDP装置的制造方法是，使用上述本专利技术的头机构，在背面基板上的多个凹部分别形成荧光体的PDP装置的制造方法，其特征在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种校准用被识别部件，是设置在决定位置对象物上，形成图像识别用的标识，其特征在于：具有形成为略柱状并将前端面作了镜面加工的部件主体，和在所述部件主体的前端面的略中央部形成的凹状的所述标识。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村真一，山田善昭，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]