一种适用于立式成膜设备的发热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，涉及半导体晶片制备技术领域，包括发热体、石墨电极和电连接件，发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在分隔套筒内形成气体流道，环形发热室与分隔套筒同轴嵌套设置，石墨电极的一端和发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件包括多段子电连接件，各子电连接件均呈直杆或直棒形，各子电连接件均由金属材料制成，多段子电连接件依次可拆卸连接。本实用新型专利技术提供的方案采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。提高成膜设备整体的稳定性。提高成膜设备整体的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于立式成膜设备的发热装置


[0001]本技术涉及半导体晶片制备
，特别是涉及一种适用于立式成膜设备的发热装置。

技术介绍

[0002]立式成膜设备进行半导体晶片制备，反应室内升至反应温度原料气体从上向下流动与晶片表面接触进行外延反应。气体流道外侧增加热场用于气体预热可有效提高成膜质量。采用电阻式热场可自主调节各部分发热体的功率，有利于工艺优化。
[0003]电阻式发热体采用金属电极与外部电源连接，传统一体式电极制作成折弯结构安装难度较高且加工复杂，采用一体式电极结构时，当需要对反应室内部进行维护清理时，还需要将一体式电极全部拆卸拿下才能够对反应室进行清理。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，以解决上述现有技术存在的问题，采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0006]本技术提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，包括发热体、石墨电极和电连接件，所述发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在所述分隔套筒内形成气体流道，所述环形发热室与所述分隔套筒同轴嵌套设置，所述石墨电极的一端和所述发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，所述电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于所述电极座上，所述电连接件包括多段子电连接件，各所述子电连接件均呈直杆或直棒形，各所述子电连接件均由金属材料制成，多段所述子电连接件依次可拆卸连接。
[0007]优选的，所述环形发热室内沿竖向布设有多个所述发热体，所述发热体呈环形，各所述发热体的两侧均连接有一个所述石墨电极，一个所述石墨电极对应设置有一个所述电极座，多个所述电极座均固定设置于石英环上，所述石英环固定设置于所述反应室的上部，所述石英环、所述环形发热室和所述分隔套筒均同轴。
[0008]优选的，多个所述子电连接件分别为电极棒、平板、连杆和电极柱，所述电极柱固定设置，所述电极柱的底部设置有电缆连接处，所述电极柱顶部与所述连杆铰接连接，所述平板与所述连杆通过紧定螺钉连接，所述电极棒的一端可拆卸连接于所述电极座上，所述平板顶端与所述电极棒远离所述电极座的一端可拆卸连接。
[0009]优选的，立式设备的外壁设置有多个电极盒，所述电极棒的一端位于所述立式设备的内部，另一端伸出所述立式设备后即伸进所述电极盒内，所述电极棒、所述平板、所述连杆和所述电极柱的连接处均位于所述电极盒内。
[0010]优选的，所述电极盒的侧端盖上设有冷却流道，所述侧端盖能够打开，所述电极盒上还设置有用于通入保护气体的进气口，所述电缆连接处位于所述电极盒的下方，所述电
缆连接处的外侧罩设有保护罩。
[0011]优选的，所述电极柱的底部穿过所述电极盒的底板，所述电极柱穿设于所述电极盒的底板的部分壁面外套设有绝缘陶瓷套。
[0012]优选的，所述保护罩上设置有散热风扇。
[0013]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0014]1、发热体与电源之间的连接采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。
[0015]2、金属电极远离发热体，区域内发热量较低。且通过向电极盒内充保护气体以及端盖上开设冷却流道来带走电极盒内的热量，降低温度，相较于传统金属电极内部冷却的形式，本方案采用外部冷却，使得电极结构简单且整体占用的安装空间较小，有利于多个反应室并排同步生产。
[0016]3、金属电极主体置于电极盒内，电极伸出端与电缆连接处用保护罩进行遮挡，确保工艺过程中的安全性。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为立式成膜设备反应室和周边电极盒内部结构剖视图；
[0019]图2为反应室电极盒与外部进气、冷却系统连接和内部电极连接处示意图；
[0020]图3为电极盒内外结构局部放大图；
[0021]图4为电极棒拆装时电极盒内结构示意图；
[0022]图5为石墨电极和金属电极连接局部放大图；
[0023]图中：1
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反应室；2
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保温组件；3
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石墨电极；4
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电极盒；5
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供电电源；6
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发热体；7
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保护气气源；8
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冷却系统；9
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进气法兰；10
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侧端盖；11
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冷却流道；12
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固定螺栓；13
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平板；14
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电极棒；15
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石英套；16
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连杆；17
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紧定螺钉；18
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电极柱；19
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绝缘陶瓷套；20
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固定法兰；21
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保护罩；22
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电缆连接处；23
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散热风扇；24
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石英环；25
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电极座；26
‑
石墨螺栓；27
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分隔套筒。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]本技术的目的是提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，以解决上述现有技术存在的问题，采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。
[0026]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0027]本技术提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，如图1～图5所示，包括发热体6、石墨电极3和电连接件，发热体6为电阻式发热体，发热体6设置于反应室1内的分隔套筒27外侧的环形发热室内，反应室1的内壁面与分隔套筒27之间的夹层即为环形发热室，在分隔套筒27内形成气体流道，发热体6用于对气体流道内的气流进行加热，环形发热室与分隔套筒27同轴嵌套设置，石墨电极3的一端和发热体6连接，另一端可拆卸设置于电极座25上，电极座25为是导电部件，用于将电连接件和石墨电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：包括发热体、石墨电极和电连接件，所述发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在所述分隔套筒内形成气体流道，所述环形发热室与所述分隔套筒同轴嵌套设置，所述石墨电极的一端和所述发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，所述电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于所述电极座上，所述电连接件包括多段子电连接件，各所述子电连接件均呈直杆或直棒形，各所述子电连接件均由金属材料制成，多段所述子电连接件依次可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：所述环形发热室内沿竖向布设有多个所述发热体，所述发热体呈环形，各所述发热体的两侧均连接有一个所述石墨电极，一个所述石墨电极对应设置有一个所述电极座，多个所述电极座均固定设置于石英环上，所述石英环固定设置于所述反应室的上部，所述石英环、所述环形发热室和所述分隔套筒均同轴。3.根据权利要求1所述的适用于立式成膜设备的发热装置，其特征在于：多个所述子电连接件分别为电极棒、平板、连杆和电极柱，所述电极柱固定设置，所述电极柱的底部设置有电缆连接处，所述电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐文立，沈磊，
申请(专利权)人：宁波恒普真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：