一种晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶体生长炉，包括炉体、热场、感应线圈、大炉盖、小炉盖和升降模组，炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定，升降模组与框架固定。装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。使大炉盖随小炉盖同时移动。使大炉盖随小炉盖同时移动。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉


[0001]本技术涉及晶体生长
，特别是涉及一种晶体生长炉。

技术介绍

[0002]感应炉广泛的应用于晶体生长领域，其主要结构包括炉体、炉盖、感应电源、真空系统、气体系统和冷却系统。其中炉体内包含热场和感应线圈，热场内包含晶体生长所需的原料。
[0003]现有感应炉为上部手工装卸料，使用时需开启上炉盖后手工装卸料，其缺点是取放料困难，同时手工取放料的结构会增大无效设计空间，降低炉内空间的利用率。另一方面，现有感应炉的感应线圈电极由炉体侧面引出，维护时需要断开感应线圈与感应线圈电极的连接，然后从上部提拉感应线圈至炉外进行维护，此过程工序较多，降低了感应线圈的可维护性。
[0004]针对上述晶体生长炉取放料难及线圈维护难的问题，需要设计一种新的晶体生长炉。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种晶体生长炉，采用大小盖下出料式感应炉，通过可升降式小炉盖解决了取放料困难的问题，通过可随小炉盖同时升降的大炉盖并设计感应线圈电极由大炉盖下方引出，使感应线圈在不与感应线圈电极分离的情况下随大炉盖移动，从而提升了感应线圈的维护便利性。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种晶体生长炉，包括
[0007]炉体，所述炉体可拆卸的安装在框架上，所述炉体内设置有热场和感应线圈；以及
[0008]热场，所述热场安装在热场支撑柱上，晶体生长所需原料放置于所述热场内；以及
[0009]小炉盖，所述热场支撑柱放置在所述小炉盖上；以及
[0010]感应线圈，所述感应线圈设置于所述热场的外周，所述感应线圈安装在线圈支撑柱上，感应线圈电极与所述感应线圈联接；以及
[0011]大炉盖，所述线圈支撑柱放置在所述大炉盖上，所述感应线圈电极由所述大炉盖引出；以及
[0012]升降模组，所述大炉盖和小炉盖活动安装在所述升降模组上，所述升降模组用于带动所述大炉盖和小炉盖在所述炉体和框架之间上下移动。
[0013]炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定。升降模组与框架固定。
[0014]装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。
[0015]检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。
[0016]在其中一个实施例中，所述大炉盖的顶部通过连接螺钉可拆卸的安装在所述炉体的底部。
[0017]在其中一个实施例中，所述小炉盖设置于所述大炉盖的底部，所述小炉盖的外径大于所述大炉盖的内径且小于所述大炉盖的外径。
[0018]在其中一个实施例中，所述小炉盖上与所述大炉盖的底部接触的位置安装有密封O型圈一。
[0019]在其中一个实施例中，所述大炉盖的外径大于所述炉体的内腔直径，所述大炉盖上与所述炉体的底部边缘接触的位置安装有密封O型圈二。
[0020]在其中一个实施例中，所述升降模组包括托架、直线导轨、传动丝杠和升降电机，直线导轨包括导轨和滑块，传动丝杠包括丝杠和螺母，托架与直线导轨的滑块和传动丝杠的螺母固定连接，直线导轨和传动丝杠固定连接在框架上，传动丝杠与升降电机动力连接。通过传动丝杠将升降电机的旋转运动转换为传动丝杆螺母的直线运动从而带动托架上下运动。
[0021]装卸料时，升降模组带动小炉盖降到最低位。此时可通过工装或人工将热场从小炉盖上取下。
[0022]检修感应线圈时，需松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖降低到最底位。检查线圈表面涂层是否有剥落或损坏，若有可通过修补剂在线修复。感应线圈需修理时，将感应线圈与感应线圈电极脱开，此时可通过工装或人工将感应线圈从大盖上取下进行修理。
[0023]本技术相对于现有技术取得了以下有益技术效果：
[0024]本技术中的晶体生长炉，包括炉体、热场、感应线圈、大炉盖、小炉盖和升降模组，炉体固定在框架上，热场放置在热场支撑柱上，热场支撑柱放置在小炉盖上，可随小炉盖移动，感应线圈固定在线圈支撑柱上，线圈支撑柱放置在大炉盖上，电极由大炉盖引出，可随大炉盖移动。大炉盖与炉体以连接螺钉固定，升降模组与框架固定。装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动。检修感应线圈时，可松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为现有技术中晶体生长炉的结构示意图；
[0027]图2为本技术实施例中晶体生长炉的整体结构示意图；
[0028]图3为装卸料时，升降模组带动小炉盖实现小炉盖和热场的往复运动示意图；
[0029]图4为检修感应线圈时，松开连接螺钉，使大炉盖随小炉盖同时移动示意图；
[0030]其中，1框架；2升降模组；3密封O型圈一；4密封O型圈二；5连接螺钉；6炉体；7感应线圈电极；8热场；9感应线圈；10线圈支撑柱；11热场支撑柱；12大炉盖；13小炉盖；14上炉盖升降机构；15上炉盖；16密封圈；17取料平台；18托架；19直线导轨；20传动丝杠；21升降电机。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]本技术的目的是提供一种晶体生长炉，采用大小盖下出料式感应炉，通过可升降式小炉盖解决了取放料困难的问题，通过可随小炉盖同时升降的大炉盖并设计感应线圈电极由大炉盖下方引出，使感应线圈在不与感应线圈电极分离的情况下随大炉盖移动，从而提升了感应线圈的维护便利性。
[0033]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0034]如图2
‑
图4所示，本技术提供一种晶体生长炉晶体生长炉，包括
[0035]炉体6，炉体6可拆卸的安装在框架1上，炉体6内设置有热场8和感应线圈9；以及
[0036]热场8，热场8安装在热场支撑柱11上，晶体生长所需原料放置于热场8内；以及
[0037]小炉盖13，热场支撑柱11放置在小炉盖13上；以及
[0038]感应线圈9，感应线圈9设置于热场8的外周，感应线圈9安装在线圈支撑柱10上，感应线圈电极7与感应线圈9联接；以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体可拆卸的安装在框架上，所述炉体内设置有热场和感应线圈；以及热场，所述热场安装在热场支撑柱上，晶体生长所需原料放置于所述热场内；以及小炉盖，所述热场支撑柱放置在所述小炉盖上；以及感应线圈，所述感应线圈设置于所述热场的外周，所述感应线圈安装在线圈支撑柱上，感应线圈电极与所述感应线圈联接；以及大炉盖，所述线圈支撑柱放置在所述大炉盖上，所述感应线圈电极由所述大炉盖引出；以及升降模组，所述大炉盖和小炉盖活动安装在所述升降模组上，所述升降模组用于带动所述大炉盖和小炉盖在所述炉体和框架之间上下移动。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于：所述大炉盖的顶部通过连接螺钉可拆卸的安装在所述炉体的底部。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐文立，胡建宇，杜霆，
申请(专利权)人：宁波恒普真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：